公开(公告)号：CN118870816A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410409231.1

申请日：2024-04-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李泰坤 ,  姜敏圭 ,  金成俊 ,  李雄燮 ,  赵恩锡 ,  崔钟允 ,  黄铉圭

IPC: H10B41/27 ,  H10B41/35 ,  H10B41/50 ,  H10B43/27 ,  H10B43/35 ,  H10B43/50 ,  H10B43/40 ,  H10B41/41 ,  H10B12/00

Abstract: 提供了半导体装置和数据存储系统。半导体装置包括：第一半导体结构，其包括衬底、电路元件和电路互连线；和第二半导体结构，其在第一半导体结构上。第二半导体结构包括：板层；多个栅电极，其在第一方向上彼此间隔开并堆叠在板层上，栅电极包括下选择栅电极、存储器栅电极和上选择栅电极；沟道结构，其穿过下选择栅电极和存储器栅电极并在第一方向上延伸；立柱结构，其穿过上选择栅电极并连接到沟道结构；上栅极电介质层，其围绕立柱结构并在水平方向上凹陷到上选择栅电极中，上栅极电介质层在立柱结构中的每一个的外侧上；和上隔离区域，其在立柱结构之间，穿过上选择栅电极并在第二方向上延伸。立柱结构中的每一个包括上沟道层和上填充绝缘层。