使用三维沟道的半导体器件

    公开(公告)号:CN105633161B

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN201510611794.X

    申请日:2015-09-23

    Abstract: 本发明涉及一种半导体器件,该半导体器件包括第一鳍、与第一鳍分离的第二鳍、以及位于第一鳍和第二鳍上的栅极。栅极与第一鳍和第二鳍交叉。第一鳍包括位于栅极两侧的第一掺杂区。第一掺杂区配置为具有施加至其上的第一电压。第二鳍包括位于栅极两侧的第二掺杂区。第二掺杂区配置为具有施加至其上的第二电压。第二电压不同于第一电压。

    集成电路器件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110620149A

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201910384004.7

    申请日:2019-05-09

    Abstract: 本发明公开一种集成电路器件,该集成电路器件包括:块衬底,包括第一导电类型阱和第二导电类型漂移区;堆叠图案,设置在块衬底上并且包括在第二导电类型漂移区上的掩埋绝缘图案和在掩埋绝缘图案上的半导体主体图案;栅极绝缘层,在第一导电类型阱的上表面上以及在堆叠图案的侧壁和上表面上;以及栅电极,在栅极绝缘层上。栅电极包括与第一导电类型阱相对的第一栅极部分以及与第二导电类型漂移区相对的第二栅极部分,其中栅极绝缘层在第一栅极部分与第一导电类型阱之间,栅极绝缘层和堆叠图案在第二栅极部分与第二导电类型漂移区之间。

    集成电路器件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110620149B

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN201910384004.7

    申请日:2019-05-09

    Abstract: 本发明公开一种集成电路器件,该集成电路器件包括:块衬底,包括第一导电类型阱和第二导电类型漂移区;堆叠图案,设置在块衬底上并且包括在第二导电类型漂移区上的掩埋绝缘图案和在掩埋绝缘图案上的半导体主体图案;栅极绝缘层,在第一导电类型阱的上表面上以及在堆叠图案的侧壁和上表面上;以及栅电极,在栅极绝缘层上。栅电极包括与第一导电类型阱相对的第一栅极部分以及与第二导电类型漂移区相对的第二栅极部分,其中栅极绝缘层在第一栅极部分与第一导电类型阱之间,栅极绝缘层和堆叠图案在第二栅极部分与第二导电类型漂移区之间。

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