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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101086953A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710096488.2
申请日：2007-04-19
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01J37/32165 , H01J37/32091 , H01J37/32183
Abstract: 公开了一种半导体基底处理装置。所述半导体基底处理装置能够将具有相同频率的RF能量提供到上电极和下电极，以产生不同程度的均匀性，并且控制RF能量的能量比，从而提高半导体基底的处理均匀性。所述装置包括：真空室，用于容纳半导体基底；上电极和下电极，置于所述真空室中；RF能量供应器，用于将具有相同频率的RF能量提供到上电极和下电极；控制器，用于控制从RF能量供应器供应到上电极和下电极的RF能量的能量比。
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公开(公告)号：CN1217174C
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN02129761.4
申请日：2002-08-13
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种用于检测平行光管的装置，所述平行光管包括由第一和第二光纤构成的引线，相对于该引线共轴设置的GRIN透镜，和以单个部件方式支撑引线和GRIN透镜的玻璃管，以便检测平行光管的光学性质。所述装置包括检测台；设在检测台上的夹紧部分，夹紧待检测的平行光管；光供给部分，向第一光纤发送预定的光信号；与第二光纤相连的光接收部分，接收进入第一光纤之后从第二光纤返回的光信号；测量部分，计算进入第一光纤之预定光信号的值和从第二光纤返回之光信号的值；以及图像显示部分，显示从测量部分得到的值。采用这种结构，可以部分地检测平行光管，从而增大平行光管的产品可靠性。
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公开(公告)号：CN1438470A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN02151439.9
申请日：2002-11-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种准直仪检测装置，所述准直仪包括尾光缆，光纤与尾光缆连接，对光信号进行发送；与尾光缆同轴的渐变折射透镜；容纳并支撑尾光缆和渐变折射透镜的玻璃管，和保护玻璃管的金属套管；所述检测装置包括：检测台；夹具设置在检测台上，用于对有待检测的准直仪进行夹固；第一摄像机在夹具的上方，其轴线垂直于准直仪的长度延伸，并对在其长度延伸方向的准直仪进行摄像；与检测台上的准直仪同轴的第二摄像机，对在垂直于其轴线的准直仪进行摄像；和与第一摄像机和第二摄像机连接的显示部分，显示从第一摄像机和第二摄像机发送的图像。结合这种配置，提出一种对准直仪进行检测的装置，可以有效地实现准直仪的检测，提高准直仪的可靠性。
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公开(公告)号：CN1244795C
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN02151439.9
申请日：2002-11-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种准直仪检测装置，所述准直仪包括尾光缆，光纤与尾光缆连接，对光信号进行发送；与尾光缆同轴的渐变折射透镜；容纳并支撑尾光缆和渐变折射透镜的玻璃管，和保护玻璃管的金属套管；所述检测装置包括：检测台；夹具设置在检测台上，用于对有待检测的准直仪进行夹固；第一摄像机在夹具的上方，其轴线垂直于准直仪的长度延伸，并对在其长度延伸方向的准直仪进行摄像；与检测台上的准直仪同轴的第二摄像机，对在垂直于其轴线的准直仪进行摄像；和与第一摄像机和第二摄像机连接的显示部分，显示从第一摄像机和第二摄像机发送的图像。结合这种配置，提出一种对准直仪进行检测的装置，可以有效地实现准直仪的检测，提高准直仪的可靠性。
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公开(公告)号：CN1439868A
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：CN02129761.4
申请日：2002-08-13
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种用于检测平行光管的装置，所述平行光管包括由第一和第二光纤构成的引线，相对于该引线共轴设置的GRIN透镜，和以单个部件方式支撑引线和GRIN透镜的玻璃管，以便检测平行光管的光学性质。所述装置包括检测台；设在检测台上的夹紧部分，夹紧待检测的平行光管；光供给部分，向第一光纤发送预定的光信号；与第二光纤相连的光接收部分，接收进入第一光纤之后从第二光纤返回的光信号；测量部分，计算进入第一光纤之预定光信号的值和从第二光纤返回之光信号的值；以及图像显示部分，显示从测量部分得到的值。采用这种结构，可以部分地检测平行光管，从而增大平行光管的产品可靠性。
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