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公开(公告)号：CN110867405A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201910734464.8
申请日：2019-08-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘、晶圆蚀刻装置和晶圆温度控制装置。根据实施例的静电吸盘包括：固定板，其上固定有晶圆；静电板，其位于固定板下方并且被构造为产生静电力以将晶圆固定于固定板上；多个加热元件，其位于静电板下方，并且被分离以局部地控制静电板的温度；以及冷却板，其位于多个分离的加热元件下方，并且被构造发散通过所述多个分离的加热元件传递的热量。
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