喷墨打印头及其制造方法

    公开(公告)号:CN1775528A

    公开(公告)日:2006-05-24

    申请号:CN200510124800.5

    申请日:2005-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种喷墨打印头及其制造方法。所述喷墨打印头包括:具有供墨孔的衬底;在所述衬底上围绕所述供墨孔形成的层间介电层;形成于所述层间介电层上的至少一个金属层;和抗湿气部分,其形成于所述供墨孔和所述至少一金属层之间来防止所述供墨孔中的墨水湿气接触所述至少一个金属层。因为可以防止湿气穿透具有吸收特性的层进入金属互连层、逻辑区或压力驱动部分,所以所述喷墨打印头及其制造方法能够防止比如层间脱层、电短路、电路故障和金属互连层的腐蚀的问题。因此,有可能增加喷墨打印头的寿命和可靠性,及增加产率和通过增加成品率来减小制造成本。

    喷墨打印头及其制造方法

    公开(公告)号:CN1636732A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410102142.5

    申请日:2004-12-20

    Inventor: 闵在植 河龙雄

    CPC classification number: B41J2/1603 B41J2/1646

    Abstract: 本发明公开了一种传热型喷墨打印头及其制造方法。制造该喷墨打印头的方法包括如下操作步骤:在基板上顺序地叠置发热层和电极层;通过在电极层和发热层的顶表面上顺序叠置第一保护层和第二保护层而在电极层和发热层的顶表面上叠置保护层;以及在保护层的顶表面上叠置墨腔隔件和喷嘴板以形成墨腔,其中在第一保护层形成过程中生成的诸如“针孔”的缺陷通过在第一保护层上施加等离子体而去除,并且在去除叠置第一保护层时产生的任何缺陷之后,第二保护层叠置在第一保护层的顶表面上。

    喷墨打印头及其制造方法

    公开(公告)号:CN1331674C

    公开(公告)日:2007-08-15

    申请号:CN200410102142.5

    申请日:2004-12-20

    Inventor: 闵在植 河龙雄

    CPC classification number: B41J2/1603 B41J2/1646

    Abstract: 本发明公开了一种传热型喷墨打印头及其制造方法。制造该喷墨打印头的方法包括如下操作步骤:在基板上顺序地叠置发热层和电极层;通过在电极层和发热层的顶表面上顺序叠置第一保护层和第二保护层而在电极层和发热层的顶表面上叠置保护层;以及在保护层的顶表面上叠置墨腔隔件和喷嘴板以形成墨腔,其中在第一保护层形成过程中生成的诸如“针孔”的缺陷通过在第一保护层上施加等离子体而去除,并且在去除叠置第一保护层时产生的任何缺陷之后,第二保护层叠置在第一保护层的顶表面上。

    制造整体式喷墨打印头的方法

    公开(公告)号:CN1302931C

    公开(公告)日:2007-03-07

    申请号:CN200410011813.7

    申请日:2004-09-23

    CPC classification number: B41J2/1626 B41J2/1603 B41J2/1631

    Abstract: 一种制造整体式喷墨打印头的方法包括:在一基底上形成加热器和用于向该加热器供给电流的电极;通过向基底上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其进行图案化处理,形成环绕在油墨通道周围的通道形成层;至少利用两次光刻,通过反复向具有通道形成层的基底上涂敷正型光致抗蚀剂并且对其构图处理,在由通道形成层环绕起来的空间中形成具有平整顶表面的牺牲层;通过向通道形成层和牺牲层上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其构图,形成具有喷嘴的喷嘴层;从基底的底表面对该基底进行蚀刻来进行打孔,并且形成油墨供给孔;以及去除牺牲层。由于牺牲层的顶表面被平整化,所以可轻易控制油墨通道的形状和尺寸,由此提高油墨通道的均一度。

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