公开(公告)号：CN106981487A

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201610884201.1

申请日：2016-10-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李道善 ,  李到玹 ,  金哲性 ,  玄尚镇 ,  李俊坤

IPC: H01L27/092 ,  H01L21/8238

CPC classification number: H01L23/535 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76855 ,  H01L21/76856 ,  H01L21/76862 ,  H01L21/76864 ,  H01L21/76868 ,  H01L21/76876 ,  H01L23/485 ,  H01L23/53209 ,  H01L27/0886 ,  H01L29/0649 ,  H01L29/41791 ,  H01L29/785 ,  H01L27/0924 ,  H01L21/823821 ,  H01L21/823871

Abstract: 本发明可以提供一种集成电路器件，该集成电路器件包括：基板，具有至少一个鳍形有源区，该至少一个鳍形有源区在第一方向上延伸；栅线，在第二方向上在该至少一个鳍形有源区上延伸，第二方向与第一方向交叉；导电区域，在该至少一个鳍形有源区的在栅线的一侧的一部分上；以及接触插塞，在第三方向上从导电区域延伸，第三方向垂直于基板的主平面。接触插塞可以包括金属插塞、在导电区域上的导电的阻挡膜以及在导电区域和导电的阻挡膜之间的金属硅化物膜，该导电的阻挡膜围绕金属插塞的侧壁和底表面，该导电的阻挡膜包括富N的金属氮化物膜。

公开(公告)号：CN106981487B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201610884201.1

申请日：2016-10-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李道善 ,  李到玹 ,  金哲性 ,  玄尚镇 ,  李俊坤

IPC: H01L27/092 ,  H01L21/8238

Abstract: 本发明可以提供一种集成电路器件，该集成电路器件包括：基板，具有至少一个鳍形有源区，该至少一个鳍形有源区在第一方向上延伸；栅线，在第二方向上在该至少一个鳍形有源区上延伸，第二方向与第一方向交叉；导电区域，在该至少一个鳍形有源区的在栅线的一侧的一部分上；以及接触插塞，在第三方向上从导电区域延伸，第三方向垂直于基板的主平面。接触插塞可以包括金属插塞、在导电区域上的导电的阻挡膜以及在导电区域和导电的阻挡膜之间的金属硅化物膜，该导电的阻挡膜围绕金属插塞的侧壁和底表面，该导电的阻挡膜包括富N的金属氮化物膜。