公开(公告)号：CN110605657B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN201910079571.1

申请日：2019-01-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李龙熙 ,  韩昇澈 ,  李羲宽 ,  徐钟辉

IPC: B24B37/00 ,  B24B37/34

Abstract: 提供了调节器和包括该调节器的化学机械抛光(CMP)设备。所述化学机械抛光设备(CMP)的调节器包括：调节部件，对抛光垫进行抛光；臂，使调节部件旋转；以及柔性连接器，使调节部件与臂连接，柔性连接器是可移动的以使调节部件关于臂相对移动。

公开(公告)号：CN110605657A

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201910079571.1

申请日：2019-01-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李龙熙 ,  韩昇澈 ,  李羲宽 ,  徐钟辉

IPC: B24B37/00 ,  B24B37/34

Abstract: 提供了调节器和包括该调节器的化学机械抛光(CMP)设备。所述化学机械抛光设备(CMP)的调节器包括：调节部件，对抛光垫进行抛光；臂，使调节部件旋转；以及柔性连接器，使调节部件与臂连接，柔性连接器是可移动的以使调节部件关于臂相对移动。

公开(公告)号：CN115596997A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202210803377.5

申请日：2022-07-07

Applicant: 三星电子株式会社(KR)

Inventor： 金珉煐 ,  金光俊 ,  边景燮 ,  安炳俊 ,  李羲宽 ,  郑炳灿 ,  崔亨虎

IPC: F17C13/06 ,  F17C13/00

Abstract: 一种端盖夹持器可包括基础块和保持块。基础块可为被配置为向可位于气瓶的喷嘴处的端盖提供用于将端盖与喷嘴连接/将端盖从喷嘴分离的扭矩。角度修正槽可形成在基础块的朝着端盖取向的第一表面。保持块可以可旋转的方式容纳在角度修正槽中，以保持端盖。保持块可以选择性地与基础块形成点接触，以将基础块的扭矩传递至端盖。因此，保持块可相对于竖直轴线或水平轴线倾斜地准确地保持端盖。

公开(公告)号：CN116013807A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211258508.2

申请日：2022-10-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 苏真镐 ,  金光俊 ,  安致建 ,  李羲宽 ,  崔亨虎 ,  李俊衡

IPC: H01L21/67

Abstract: 气瓶自动化系统可以包括：传送路径，其将带入到气瓶自动化系统中的气瓶中的气体自动地供应到半导体处理线；以及气缸式传感器，其通过沿着传送路径移动来检查传送路径是否异常，其中，气缸式传感器包括：气缸盖，其包括端盖紧固构件和耦合到端盖紧固构件的端盖，并且气缸盖具有第一检测传感器，第一检测传感器设置在端盖紧固构件上以检测施加到端盖的力和力矩中的一个；以及气缸本体，其连接到气缸盖并且具有第二检测传感器，第二检测传感器包括安装在其上的加速度传感器和倾斜度传感器中的至少一个。