公开(公告)号：CN115988872A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202210802234.2

申请日：2022-07-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金孝燮 ,  安濬爀 ,  李明东 ,  金熙中 ,  李基硕 ,  李志勋 ,  黄有商

IPC: H10B12/00 ,  H10B61/00 ,  H10B63/00 ,  H10B63/10

Abstract: 提供了一种半导体存储器装置，所述半导体存储器装置包括：第一杂质区，位于基底中；第一位线，跨越基底并且连接到第一杂质区；位线接触件，位于第一位线与第一杂质区之间；以及接触欧姆层，位于位线接触件与第一杂质区之间，其中，位线接触件的底表面的宽度大于接触欧姆层的底表面的宽度。

公开(公告)号：CN116896869A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310026104.9

申请日：2023-01-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金孝燮 ,  李基硕 ,  李明东 ,  金钟珉 ,  金熙中 ,  李志勋 ,  李泓濬

IPC: H10B12/00 ,  H10B61/00 ,  H10B63/10 ,  H10B63/00

Abstract: 提供了半导体存储器装置。所述半导体存储器装置包括：器件隔离图案，设置在基底上以提供第一有源部分和第二有源部分；第一存储节点垫，设置在第一有源部分上；第二存储节点垫，设置在第二有源部分上；垫分离图案，设置在第一存储节点垫与第二存储节点垫之间；字线，设置在基底中以与第一有源部分和第二有源部分交叉；位线，设置在垫分离图案上并与字线交叉；缓冲层，设置在垫分离图案上；以及掩模多晶硅图案，置于缓冲层与位线之间，其中，掩模多晶硅图案的侧表面与位线的侧表面基本对齐，并且掩模多晶硅图案与垫分离图案竖直地叠置。