公开(公告)号：CN101334360A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810127748.2

申请日：2008-02-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 洪显基 ,  李宰硕 ,  李阳求 ,  李宪定 ,  朴正大 ,  朴善喜

IPC: G01N21/31

CPC classification number: G01N21/77 ,  G01N31/22

Abstract: 本发明提供用于检测空气中的金属浓度的方法，包括混合溶液，其包含被溶剂溶解的金属，并且试剂与溶解在溶剂中的金属离子结合，并参考溶剂和试剂的混合物与溶液与试剂的混合物之间的吸收率的差异。还提供了一种用于执行在此描述的过程的装置。

公开(公告)号：CN101236913A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200710303593.9

申请日：2007-12-24

Applicant: 三星电子株式会社 ,  檀国大学校产学协力团

Inventor： 李宰硕 ,  任兴彬 ,  柳元景 ,  蔡胜基 ,  李阳求 ,  李宪定

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/94

CPC classification number: G01N21/94 ,  G01N21/718 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68785

Abstract: 本发明提供一种用于分析晶片上污染物的设备和方法。该设备包括：晶片夹具，用于支撑在其上布置有待分析的污染物的晶片；激光切割器件，用于向晶片辐射激光以从晶片提取分离的样本；分析盒，用于收集通过辐射所述激光从晶片的表面分离的样本；以及与分析盒连接的分析器件，用于从收集的分离样本分析污染物。