公开(公告)号：CN100520423C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610007917.X

申请日：2006-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李秀浩 ,  申定根 ,  申永植 ,  朴宜美 ,  郑和俊

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：检测单元，该检测单元具有用于检测所述基板的检测部和用于支持所述基板的检测台架以及用于移动所述检测台架的台架驱动部；设置在所述检测单元入口区域的供应单元，该供应单元具有用于支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板的多个供应台架；设置在所述检测单元出口区域的排出单元，该排出单元具有用于支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板的多个排出台架。

公开(公告)号：CN1912640A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200610007917.X

申请日：2006-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李秀浩 ,  申定根 ,  申永植 ,  朴宜美 ,  郑和俊

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：检测单元，该检测单元具有用于检测所述基板的检测部和用于支持所述基板的检测台架以及用于移动所述检测台架的台架驱动部；设置在所述检测单元入口区域的供应单元，该供应单元具有用于支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板的多个供应台架；设置在所述检测单元出口区域的排出单元，该排出单元具有用于支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板的多个排出台架。