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公开(公告)号：CN115966483A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211236007.4
申请日：2022-10-10
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种半导体测量设备包括：照明单元，其包括光源和设置在从光源发射的光的传播路径上的偏振器；光学单元，其被配置为将经过偏振器的光引导为入射到样品上，以及将从样品反射的光传输至图像传感器；以及控制器，其被配置为处理由图像传感器输出的原始图像，以确定样品的光入射在其上的区中包括的结构的关键尺寸。控制器获取二维图像。控制器将对应于选择的波长的二维图像正交地分解为多个基图像，生成包括对应于多个基图像的多个权重的一维数据，并且使用一维数据确定结构的关键尺寸中的选择的关键尺寸。
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