半导体存储器及其制造方法

    公开(公告)号:CN109712658B

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN201811247747.1

    申请日:2018-10-25

    Abstract: 一种半导体存储器包括在基板的第一区域中的第一存储单元阵列和在基板的第二区域中的第二存储单元阵列。第一存储单元阵列包括单元串,并且每个单元串包括在垂直于基板的方向上堆叠的非易失性存储单元。第二存储单元阵列包括易失性存储单元,并且每个易失性存储单元包括选择晶体管和电容器。电容器包括:至少一个接触,与选择晶体管电连接并具有与每个单元串的第一高度相对应的第二高度;以及至少一个第二接触,被供应有接地电压,具有对应于每个单元串的第一高度的第三高度,与所述至少一个第一接触相邻,并与所述至少一个第一接触电分离。

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