Patent search ap:("三星电子株式会社") AND inv:"吴锡旻" Page 1

1.

发明公开
球设置系统、球置于基板上的方法和半导体装置制造方法无效

公开(公告)号：CN113257711A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110156486.8

申请日：2021-02-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴锡旻 , 徐湖源 , 徐喜柱

IPC: H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/56 , H05K1/18

Abstract: 本申请提供了一种球设置系统和用于将球设置在基板上的方法。球设置系统包括球吸附装置和提供球引导孔的球导板。球吸附装置包括：吸附板，其提供在第一方向上延伸的吸附孔；以及在第一方向上延伸的销，所述销的一部分插入吸附孔中。球导板在第一方向上位于吸附板以外。

Patent Agency Ranking