公开(公告)号：CN104576432A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410497853.0

申请日：2014-09-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金相荣 ,  卢坰洙 ,  文豪正 ,  辛弈 ,  郑淳宁

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明提供了具有X射线吸收滤波器的X射线系统、半导体封装和托盘。X射线源被设置，检测器邻近于X射线源设置。测试样品支架设置在X射线源和检测器之间。滤波器设置在X射线源和测试样品支架之间。滤波器具有板状半导体、粒状半导体或其组合。

公开(公告)号：CN110136862B

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN201910504815.6

申请日：2014-09-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金相荣 ,  卢坰洙 ,  文豪正 ,  辛弈 ,  郑淳宁

IPC: G21K1/10 ,  G01N23/04 ,  H01L21/66 ,  H01L23/49

Abstract: 本发明提供了具有X射线吸收滤波器的X射线系统、半导体封装和托盘。X射线源被设置，检测器邻近于X射线源设置。测试样品支架设置在X射线源和检测器之间。滤波器设置在X射线源和测试样品支架之间。滤波器具有板状半导体、粒状半导体或其组合。

公开(公告)号：CN110136862A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910504815.6

申请日：2014-09-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金相荣 ,  卢坰洙 ,  文豪正 ,  辛弈 ,  郑淳宁

IPC: G21K1/10 ,  G01N23/04 ,  H01L21/66 ,  H01L23/49

Abstract: 本发明提供了具有X射线吸收滤波器的X射线系统、半导体封装和托盘。X射线源被设置，检测器邻近于X射线源设置。测试样品支架设置在X射线源和检测器之间。滤波器设置在X射线源和测试样品支架之间。滤波器具有板状半导体、粒状半导体或其组合。

公开(公告)号：CN104576432B

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201410497853.0

申请日：2014-09-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金相荣 ,  卢坰洙 ,  文豪正 ,  辛弈 ,  郑淳宁

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明提供了具有X射线吸收滤波器的X射线系统、半导体封装和托盘。X射线源被设置，检测器邻近于X射线源设置。测试样品支架设置在X射线源和检测器之间。滤波器设置在X射线源和测试样品支架之间。滤波器具有板状半导体、粒状半导体或其组合。