公开(公告)号：CN117781180A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311239715.8

申请日：2023-09-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 佐佐卓志 ,  吴炅桓 ,  金浩均

IPC: F17D1/14 ,  F17D3/01 ,  F17D5/00

Abstract: 液体供应系统包括：液体供应单元；液体加压器，其连接到液体供应单元；压缩机，其连接到液体加压器；泵，其位于液体加压器的后端以允许液体流动；流入控制阀，其位于液体供应单元和液体加压器之间；以及流出控制阀，其位于液体加压器与泵之间，其中，液体加压器被配置为将溶解气体浓度低于从液体供应单元供应的液体的溶解气体浓度的液体供应至泵。

公开(公告)号：CN115963699A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211043815.9

申请日：2022-08-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 佐佐卓志 ,  吴炅桓 ,  李相昊 ,  许硕 ,  金浩均 ,  李周炯

IPC: G03F7/16 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027

Abstract: 公开了一种光刻胶供应系统，包括：泵，包括存储光刻胶的第一管膜和过滤光刻胶的过滤器；第二管膜，存储光刻胶并设置在泵的外部，其中，第二管膜将光刻胶传输到第一管膜；存储单元，存储光刻胶，其中，存储单元将光刻胶提供给第二管膜；以及管膜驱动单元，与第一管膜连接。管膜驱动单元调节第一管膜的内部容积并对第一管膜的柔性外壁施加压力以将光刻胶从第一管膜传输到安装在腔室中的喷嘴。存储在第一管膜中的光刻胶的至少一部分传输到第二管膜。