用于在电子组件制造中进行热处理的处理室的机电幕帘

    公开(公告)号:CN112312661A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010708375.9

    申请日:2020-07-22

    Inventor: P.维尔德

    Abstract: 本发明公开了用于在电子组件制造中进行热处理的处理室的机电幕帘。用于在电子组件的制造中进行热处理的处理室包括:用于送入和/或移出电子组件的至少一个开口;用于供应保护气体的装置;其特征在于,在开口处布置有可控保护装置,以减少保护气体从处理室逸出;并且设有能够控制所述保护装置的控制装置,从而在电子组件通过开口时,使得开口的开口横截面与电子组件的横截面对应。

    用于在电子组件制造中执行热处理的处理室的机电门帘

    公开(公告)号:CN116868020A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202180092792.8

    申请日:2021-12-06

    Inventor: P·威尔德

    Abstract: 本发明涉及一种处理室(10),用于在电子组件(30)的制造中执行热处理,包括以下:至少一个开口(20),用于引入和/或移除电子组件(30);装置(40),用于供应气体;可控保护装置(50),布置在开口(20)上以便减少气体从处理室的泄漏,其中可控保护装置(50)包括作为整体件的第一可动元件(50A),其覆盖开口的总宽度与电子组件的宽度之间的宽度;装置,用于检测与电子组件(30)的尺寸相关的数据;和控制器(60),能够基于与电子组件(30)的尺寸相关的数据来控制保护装置(50),使得当电子组件(30)通过开口(20)时,在电子组件和第一可动元件(50A)之间恒定地维持限定的间距。

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