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公开(公告)号:CN102177429A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN200980140278.6
申请日:2009-09-30
Applicant: 拓普康株式会社
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/95607 , G01N21/9501 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明提供一种晶片的图案检查方法及装置,具备以下步骤:输入作为检查对象的晶片的图案或芯片的检查图像,比较所输入的检查图像与预先存储的参考图像,根据比较图像的差异量,判断晶片或芯片的良否。当检查中良品率下降至规定的阈值以下时,利用偏离的图案或芯片的图像再次进行学习处理,制成新的参考图像。通过学习处理中学习图案后,寻找均匀的图案,若为均匀的图案部分,则通过图案匹配检查以外的间距检查等检查进行晶片的检查,或利用均匀的图案部分同时进行图案匹配检查和间距检查,决定图案匹配检查的灵敏度,以所决定的灵敏度检查晶片全面的图案或芯片。
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公开(公告)号:CN101677761A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200880017229.9
申请日:2008-05-15
Applicant: 拓普康株式会社
CPC classification number: G01B9/0203 , A61B3/0091 , A61B3/102 , A61B3/152 , G01B9/02044 , G01B9/02077 , G01B9/02083 , G01B9/02091 , G01B2290/65
Abstract: 本发明提供一种光图像测量装置,防止在测量OCT图像时被检眼追踪信号光的扫描的轨迹。眼底观察装置(1)将低相干光(L0)分割成信号光(LS)和参照光(LR),根据经由被检眼(E)的信号光(LS)和经由参照镜(174)的参照光(LR)来生成并检测干涉光(LC),根据该检测结果来形成眼底(Ef)的断层图像。眼底观察装置(1)具备扫描信号光(LS)的扫描单元(141)和呈现固视标的LCD(140)以及光学系统。眼底观察装置(1)在扫描了信号光(LS)并且呈现了固视标的状态下取得眼底(Ef)的图像,根据该图像来判定固视是否适当。由此,实现被检眼(E)的固视的可靠性,防止在取得OCT图像时被检眼(E)追踪信号光(LS)的扫描的轨迹。
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公开(公告)号:CN101467874A
公开(公告)日:2009-07-01
申请号:CN200810185591.9
申请日:2008-12-17
Applicant: 拓普康株式会社
IPC: A61B3/00
CPC classification number: A61B3/103 , A61B3/0083 , A61B3/165
Abstract: 本发明提供一种眼科装置,具有:检查单元,包括对被检眼实施不同的检查的多个检查部;以及驱动部,使检查单元沿着左右方向以及前后方向移动。该眼科装置控制驱动部,以在将检查单元的检查对象从一个眼睛切换成另一个眼睛时,使检查单元后退与位于一个眼睛的检查位置的检查部的工作距离对应的后退距离。检查单元后退与工作距离对应的距离。因此,可以缩短检查时间、并防止检查部接触到被检者的情况而提高安全性。
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公开(公告)号:CN100500082C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN03154354.5
申请日:2003-08-21
Applicant: 拓普康株式会社
IPC: A61B3/13
CPC classification number: A61B3/132 , G02B21/0012 , G02B21/082
Abstract: 提供一种能在所观察像上获得明亮和宽范围红反射的手术用显微镜。另外,提供一种适合于观察视网膜和玻璃体的手术用显微镜。提供由两个偏转镜组成的一对偏转元件,作为用于对从光源引导到观察光学系统光轴附近的照明光进行偏转,并通过物镜将其引导到待手术眼睛的偏转装置。该偏转镜被设置成将该光轴夹在其间,并且同时从各相对侧相对该光轴以基本上相同的倾角将照明光引导到待手术眼睛。此外,一立体改变器可插到该观察光轴上,从而可改变右观察光通量与左观察光通量的光轴的相对位置。
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公开(公告)号:CN100347583C
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200410005208.9
申请日:2004-02-17
Applicant: 拓普康株式会社
Abstract: 本发明提供了对应于被手术眼观察方法的变换,通过连动地进行操作以改进操作性的手术用显微镜。其中当控制电路(60)识别探测装置(65)操作时,控制驱动装置(5)使手术者用显微镜6上升,控制驱动机构(64)将光学单元(21)移动到倒像器接通位置,变更光源(63)的亮灯位置以使照明光束相对于观察光轴(O)构成小的角度,控制螺线管(62)移动立体角变换器(14)使之配置于光路上。
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公开(公告)号:CN1573409A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410048560.0
申请日:2004-06-08
Applicant: 拓普康株式会社
Inventor: 北岛延昭
CPC classification number: A61B3/132 , A61B3/156 , G02B21/0012
Abstract: 本发明是在眼科用手术显微镜中,为了得到合适的视野,具有对物透镜、通过对物透镜的观察光学系统、相对于被检查眼睛的照明光学系统,而且,在将前置透镜可插入卸下地设置在被检查眼睛与对物透镜之间时,上述照明光由于前置透镜的两个弯曲面的反射产生两个反射像,对观察产生障碍,因此,通过使前置透镜相对于观察轴倾斜作为变更反射像的手段、或者设置对可观察照明光学系统的反射像的区域进行遮光的遮光装置。
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公开(公告)号:CN1572232A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410048559.8
申请日:2004-06-08
Applicant: 拓普康株式会社
CPC classification number: A61B3/132
Abstract: 提供了能恰当地除去观察图像中产生的像散与色差的观察设备,通过操作控制板(100)的顶角设定旋钮(111)输入接触棱镜(60)的顶角(θ),操作安装角设定旋钮(112)输入此棱镜的安装角度。控制装置(641)基于识别的观察倍率和输入的顶角(θ)决定左右观察光学系统(13a,13b)的像散校正量,再基于输入的安装角度决定此两系统的像散的轴角度。然后分别控制可变正交柱面透镜的旋转驱动装(65L,65R),分别转动此两系统的柱面透镜(61A,61D)以设定所决定的轴角度与校正量。
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公开(公告)号:CN1504162A
公开(公告)日:2004-06-16
申请号:CN200310119556.4
申请日:2003-12-04
Applicant: 拓普康株式会社
Inventor: 林健史
CPC classification number: A61B3/0325 , A61B3/032 , A61B3/036 , A61B3/152
Abstract: 本发明提供了一种眼睛检测装置。该眼睛检测装置(1)包含:显示视标(S)的视标板(43);把视标(S)投影到被检测眼睛(E)上的视标投影光学系统(14);生成交叉柱面测试中使用的一对视标提示状态的可变交叉柱面(49);生成作为识别信息的标识符(56a1)、(56b1)的灯(55)和液晶画面(56);用于把标识符(56a1)、(56b1)分别与所述一对视标提示状态合成,向被检测眼睛(E)提示的分色镜(44)。本发明通过提高视标或视标提示状态的识别能力,消除被检测者的混乱,谋求眼睛检测时间的缩短,并且提高眼睛检测的可靠性。
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公开(公告)号:CN1141615C
公开(公告)日:2004-03-10
申请号:CN98105493.5
申请日:1993-10-27
Applicant: 拓普康株式会社
CPC classification number: G01C15/004 , G01C15/002
Abstract: 本发明是一种照射激光束的激光照射装置,它由发射激光束的激光源、投射激光束的投射装置、沿扫描方向旋转所述激光束投射装置的扫描装置、反射激光束的反射装置、检测从该反射装置反射回来的激光束的激光检测装置和控制旋转装置使激光束的扫描与检测装置相应而停止在反射装置上的控制装置构成。本发明的装置能提高对象物上激光束的实际能量,具有容易辩认的效果。
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