一种具有真空长效润滑性能碳薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN107653438B

    公开(公告)日:2020-03-20

    申请号:CN201710872155.8

    申请日:2017-09-25

    IPC分类号: C23C14/06 C23C14/35 C23C14/02

    摘要: 本发明提供了一种具有真空长效润滑性能碳薄膜的制备方法,是采用具有特殊纳米形貌和高催化特性的金属Cu为靶材,以氩气为溅射气体,以甲烷为反应气源,利用碳氢气源在靶材表面形成石墨烯前躯体,进而溅射制备具有石墨烯纳米结构镶嵌的碳薄膜材料。由于石墨烯自身具有优异的力学强度和弹性变形能力,碳膜中的石墨烯中呈有序纳米结构可以起到增强剂的作用,大幅改善碳薄膜的力学性能,尤其是缓解非晶碳膜自身高的内应力,赋予其优异的韧性和真空环境下超低的摩擦系数及长寿命。鉴于其真空超低摩擦、长寿命、高硬度、高化学稳定等综合性能优势,本发明技术可广泛应用于航空、航天等各领域真空环境下使用的运动部件的表面润滑处理。