一种具有真空长效润滑性能碳薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN107653438B

    公开(公告)日:2020-03-20

    申请号:CN201710872155.8

    申请日:2017-09-25

    Abstract: 本发明提供了一种具有真空长效润滑性能碳薄膜的制备方法,是采用具有特殊纳米形貌和高催化特性的金属Cu为靶材,以氩气为溅射气体,以甲烷为反应气源,利用碳氢气源在靶材表面形成石墨烯前躯体,进而溅射制备具有石墨烯纳米结构镶嵌的碳薄膜材料。由于石墨烯自身具有优异的力学强度和弹性变形能力,碳膜中的石墨烯中呈有序纳米结构可以起到增强剂的作用,大幅改善碳薄膜的力学性能,尤其是缓解非晶碳膜自身高的内应力,赋予其优异的韧性和真空环境下超低的摩擦系数及长寿命。鉴于其真空超低摩擦、长寿命、高硬度、高化学稳定等综合性能优势,本发明技术可广泛应用于航空、航天等各领域真空环境下使用的运动部件的表面润滑处理。

    一种纳米多层结构碳基薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108611613B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201810590511.1

    申请日:2018-06-09

    Abstract: 本发明公开了一种碳基纳米多层结构薄膜的制备方法,是采用直流反应磁控溅射沉积技术,以单金属靶为溅射靶材,甲烷‑氩气的混合气体为反应气源,利用自形成效应在碳基薄膜中自发形成碳富集层和金属富集层层层交替排列的纳米多层结构的碳基薄膜。本发明在直流电源的诱导下使反应气源产生离化,使甲烷和氩气产生具有电子、离子、自由基等各种基团的等离子体气氛,利用靶中毒效应控制金属晶粒的尺寸大小和取向,通过低能离子轰击生长表面,促进离子之间的扩散和迁移,在基底上自形成具有碳富集层和金属富集层交替排列的纳米多层碳基薄膜,增强了碳基薄膜的机械性能。本发明沉积过程简单,成膜均匀,重复性好等特点,极大地扩展了碳基薄膜潜在的应用前景。

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