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公开(公告)号：CN119905482A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202311363252.6
申请日：2023-10-19
Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司
Inventor： 刘晓钰
IPC: H01L23/528 , H01L23/532 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种后道金属互连层结构及制造方法，后道金属互连层结构包括：设于衬底上并位于同层的多个突出的金属连线；设于任意两个相邻的所述金属连线之间的介质保护壳层，所述保护壳层内具有空腔，所述空腔中填充有气凝胶层，所述气凝胶层和所述保护壳层共同形成所述金属连线间的介电层。本发明通过采用介电常数接近空气的气凝胶层作为金属连线间的隔离介质层，不但可以利用气凝胶层具有的极低介电常数有效降低后道金属互连层的金属连线间的电容，并能同时利用气凝胶层具有的极高耐压性能提供足够的机械强度，避免整个金属互连层结构发生坍塌。
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公开(公告)号：CN119902414A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202311404596.7
申请日：2023-10-26
Applicant: 芯恩(青岛)集成电路有限公司
Inventor： 金楠特
IPC: G03F7/20 , G06Q10/0633
Abstract: 本发明提供了一种曝光剂量修正派件方法、系统、装置及计算机可读存储介质，包括根据刻蚀机台的空闲情况选取曝光剂量修正流程信息，所述曝光剂量修正流程信息包括子工艺配方和分配装配信息，将所述子工艺配方传输给光刻机台，将待处理批次的晶圆分派给所述光刻机台，所述光刻机台根据所述子工艺配方对待处理批次的晶圆进行光刻，以得到光刻后晶圆，根据所述分配装配信息将所述光刻后晶圆分配到所述刻蚀机台的相应腔室进行刻蚀，不需要工艺工程师人为卡控下货，减少了成本。
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公开(公告)号：CN115118895B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202210907267.3
申请日：2022-07-29
Applicant: 上海齐感电子信息科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种视觉系统，包括图像传感器，用于采集原始图像，当第n帧原始图像和第n‑1帧原始图像中同一像素点的初始电压信号存在变化，对像素点的模拟信号进行模数转换，得到像素点的数字信号，以及向事件计数模块发送触发信号。事件计数模块用于在原始图像的曝光时间内，通过统计来自图像传感器的触发信号的个数，确定原始图像中初始电压信号存在变化的目标像素点的数量。图像处理模块，用于当目标像素点的数量与原始图像的像素点总数的比值大于设定阈值时，以同步传输方式输出原始图像的各个像素点的数字信号；反之，输出原始图像中的目标像素点的数字信号。本发明提供的视觉系统用以在保证图像分辨率和图像质量的前提下降低数据传输带宽。
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公开(公告)号：CN115440631B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202211216750.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司 , 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
Inventor： 康晓旭
IPC: H01L21/67 , H01L21/324
Abstract: 本发明提供了一种退火方法以及应用所述退火方法的退火装置。所述退火方法包括通过所述主控部控制所述退火部提供退火介质并作用于所述第一区的一个子区后，再控制所述退火介质作用于所述第二区的一个子区，然后重复所述步骤S1直至所述退火介质对所述第一区和所述第二区完成退火处理，使得所述退火介质在不同区域往复作用，有效降低了热积累效应。
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公开(公告)号：CN114882818B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202210422150.6
申请日：2022-04-21
Applicant: 芯翼信息科技(上海)有限公司 , 芯翼信息科技(南京)有限公司
IPC: G09G3/18
Abstract: 本发明提供了一种基于片外电容线性电荷泵的超低功耗开环LCD驱动电路，该驱动电路能够降低功耗，提高驱动电路的平均工作效率，该驱动电路包括：分频器、升压电路模块、电压选择器、偏压发生器、缓冲器和选择器矩阵；分频器，接入时钟源，分频器用于将所述时钟源进行分频，输出分频后的时钟信号；升压电路模块，输出升压电压，升压电路模块中的相位时钟产生模块将分频后的时钟信号转换为四路相位差固定的时钟信号，电压选择器，输出目标电压；偏压发生器，用于利用目标电压输出一组偏置电压；缓冲器，用于对一组偏置电压进行缓冲，得到一组缓冲电压；选择器矩阵，用于通过数字控制选择从缓冲器所输出的一组缓冲电压选择目标缓冲电压，并输出所述目标缓冲电压至液晶显示屏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114709806B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202210297071.7
申请日：2022-03-24
Applicant: 芯翼信息科技(上海)有限公司 , 芯翼信息科技(南京)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种防倒灌的接口电路，包括供电模块、防倒灌逻辑发生模块、栅跟踪模块、输出驱动级晶体管和芯片工作电路，在芯片进入省电模式后，所述防倒灌逻辑发生模块将逻辑高电平输送至所述栅跟踪模块；所述栅跟踪模块在接收所述逻辑高电平后，输出第一高电平至所述输出驱动级晶体管的控制端；所述输出驱动级晶体管的控制端接收所述第一高电平后断开所述供电模块与所述芯片工作电路的电流通道。实现了防倒灌功能，避免了误唤醒芯片，保证芯片工作状态的稳定性，提高了芯片电源的安全性和使用寿命。
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公开(公告)号：CN119824393A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202510258676.9
申请日：2025-03-06
Applicant: 蓝河科技(绍兴)有限公司
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种气体注入装置和水平流气相沉积设备，气体注入装置包括：顶板；支撑套体，设置于顶板底部，部分侧壁露出；顶部匀热机构，围设于支撑套体的露出侧壁，并位于顶板底部所在的一侧；旋转供气组件，包括：第一旋转密封组件，底部以动密封方式设于顶板的顶部，连接支撑套体，以带动顶部匀热机构转动；第二旋转密封组件，底部设于第一旋转密封组件顶部；进气装置，贯穿支撑套体和第一旋转密封组件，并设于第二旋转密封组件，用于向工艺腔室内提供工艺气体，以及在第二旋转密封组件驱动下相对支撑套体转动，有利于衬底表面的温度均匀性和气体浓度均匀性。
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公开(公告)号：CN119812062A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510110342.7
申请日：2025-01-23
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供了基板边缘检测设备，涉及半导体加工技术领域。包括基台以及设置在所述基台上的承载组件、照明单元、反射镜单元和拍摄单元；所述承载组件用于放置基板，并带动所述基板运行；所述照明单元靠近所述承载组件设置，所述照明单元用于照明所述基板；所述反射镜单元靠近所述照明单元设置，所述反射镜单元用于将所述基板上的光线反射至所述拍摄单元；所述拍摄单元对应所述反射镜单元设置，所述拍摄单元用于对所述基板进行光学成像。本发明中的反射镜为全反射镜，光线通过反射镜只进行一次反射，能够提升反射镜单元对光源的利用率，避免了能源的浪费。
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公开(公告)号：CN119805701A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510169626.3
申请日：2025-02-14
Applicant: 格兰菲智能科技股份有限公司
Inventor： 李丹彤
Abstract: 本发明提供一种自动调焦方法及镜头模组、成像装置，包括：控制镜头以从初扫位置沿预设方向逐步运动，并计算第一对比度；判断第一对比度是否满足第一预设条件；设置复扫位置；控制镜头从复扫位置沿预设方向的反方向逐步运动，并计算第二对比度；判断第二对比度是否满足第二预设条件；若满足，则将该第二对比度所对应的镜头位置作为目标成像位置。通过计算第一对比度并判断是否满足第一预设条件能够快速确定成像焦距范围，计算第二对比度并判断是否满足第二预设条件能够快速确定目标成像位置。由于调焦过程无需遍历全部镜头位置，且能根据场景灵活调整步长，不仅能够有效减少调焦耗时，还能够适用于各类场景，解决了如何实现高效自动调焦的问题。
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公开(公告)号：CN119792025A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510265705.4
申请日：2025-03-07
Applicant: 上海玺摩光电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种康复训练机器人，包括：沿竖直方向可移动设置的支撑主体；承托件，设于支撑主体，用于承托下颌；传感器组件，设于承托件，以检测承托件的受力大小，同时检测吞咽肌肉的肌电值；机械臂，具有固定端、带动臂和活动端，带动臂一端与固定端连接，另一端与活动端连接；固定端设于支撑主体；带动臂运动以使活动端可相对于支撑主体移动；轮盘，可转动的设于活动端，轮盘上具有多个沿轮盘周向分布的适配部；康复组件，可拆卸设于适配部，当轮盘转动时可切换康复组件与承托件配合完成康复训练。本发明能提供个性化的训练方案，同时能够实现多种疗法联合使用，多种疗法同时进行，使康复训练机器人实现全自动的智能化训练。
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