一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法

    公开(公告)号:CN101325139A

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200810116163.0

    申请日:2008-07-04

    IPC分类号: H01J9/39 H01J9/00 H01J7/18

    摘要: 本发明提供了一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法,属于真空吸气元件制备领域。首先将带双孔的陶瓷片洗净烘干;分别制备粘结剂、钛膏、吸气剂膏。取涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋丝作为加热丝。用钛膏将陶瓷片单面均匀涂敷并通过两个小孔固定螺旋加热丝,真空烧结制成加热体。将吸气剂涂敷在带有陶瓷片的加热体上制成吸气元件坯件,将此坯件进行真空烧结,降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。本发明解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术,从而有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层,彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题,使吸气元件整体强度增强,满足了特殊电真空器件对吸气元件强度性能的苛刻要求。

    一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法

    公开(公告)号:CN101290851A

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200810114966.2

    申请日:2008-06-13

    IPC分类号: H01J7/18 H01J9/39 B22F3/00

    摘要: 本发明提供了一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法,属于电真空吸气元件制造技术领域。制备工艺为:以Ti粉和Mo粉为原料在混料机上混合,将混合均匀的原料粉末与粘结剂按体积比混合并在混炼机上混炼,冷却后破碎成注射喂料,再进行注射成型,对注射成型的坯件采用二步脱脂工艺处理,先对注射成型坯件进行溶剂脱脂,再进行真空热脱脂,最终对脱脂后的坯件进行真空烧结,制备成真空吸气元件。本发明的优点在于:可以制备出形状复杂、尺寸精度高的吸气元件以满足各类电真空器件不同形状的空间对吸气元件复杂形状及尺寸精度的要求。产品孔径、孔隙度控制均匀,吸气元件的孔隙度可达到50%以上。