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公开(公告)号：CN1514938A
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：CN02809900.1
申请日：2002-05-27
申请人： 爱德万测试株式会社
CPC分类号： G01R1/07307 , G01R1/07342 , G01R3/00 , Y10T29/49155 , Y10T29/49174 , Y10T29/49204
摘要： 一种探测卡的制造方法，其特征在于，包括使特有过冷却液体温度域，具有所定形状的若干个非晶质合金层形成于所定基板的阶段，使非晶质合金层加热至过冷却液体温度域的阶段、使非晶质合金层冷却至比过冷却液体温度域较低温度的阶段，以及在使非晶质合金层冷却至比过冷却液体温度域较低温度的状态，将所定基板的最少部分去除的阶段。
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公开(公告)号：CN1469289A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03137192.2
申请日：2003-06-09
申请人： 爱德万测试株式会社
发明人： 高桑真树
IPC分类号： G06F17/60
摘要： 提供一种制造装置预约管理系统，可使制造装置的工作效率平均化，并符合市场的供求动向而使制造装置有效地发挥作用，是一种进行管理制造装置的利用的预约的制造装置预约管理系统，具备有在每次预约存储制造装置的利用期间的利用预定数据库，从预约者取得包括指示可开始制造的时间及制造结束期限的指定期间，以及制造所需的生产能力预约的预约取得部，参照利用预定数据库，抽出在指定期间内可提供生产能力的制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出部、将利用可能期间抽出部抽出的制造装置的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库的利用预定更新部。
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公开(公告)号：CN116897290A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202280017795.X
申请日：2022-05-18
申请人： 爱德万测试株式会社
IPC分类号： G01R31/26
摘要： 本发明提供一种试验装置，其包含：发光控制部，使成为试验对象的多个发光元件发光；光测定部，接收来自多个发光元件的光，并测定所接收的光的波长；及判定部，基于光测定部测得的来自多个发光元件的光的波长的强度分布，判定多个发光元件中的至少1个发光元件是否存在异常。试验装置可还包含：光源；光学系统，将来自光源的光照射到多个发光元件；及电测定部，测定将多个发光元件各自被照射的光进行光电转换所得的光电信号；且光测定部可经由光学系统接收来自多个发光元件的光。
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公开(公告)号：CN114966352A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202111613077.2
申请日：2021-12-27
申请人： 爱德万测试株式会社
IPC分类号： G01R31/26
摘要： 本发明所要解决的问题在于，利用以下方法无法一并检查复数个LED的光学特性，所述方法是使成为检查对象的一对LED中的一个发光，并以另一个受光，使用通过光电效应所输出的电流的电流值，来检查LED的光学特性。为了解决上述问题，本发明提供一种试验装置，具备：电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个发光元件各自的端子；光源部，其对复数个发光元件一并照射光；电性测定部，其测定光电信号，所述光电信号是复数个发光元件分别对从光源部照射的光进行光电转换后而得的；发光控制部，其使成为发光处理的对象的至少一个发光元件发光；光测定部，其对成为发光处理的对象的至少一个发光元件发出的光进行测定；及判定部，其基于电性测定部的测定结果及光测定部的测定结果，来判定复数个发光元件各自的良否。
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公开(公告)号：CN112752979A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201980062862.8
申请日：2019-03-26
申请人： 爱德万测试株式会社
摘要： 为了解决解析从测量系统得到的信息来管理测量系统这一问题，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是试验装置对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并抽出测量值的偏差；以及，管理部，其基于测量值的偏差来检测试验装置的异常。另外，为了解决上述问题，提供一种解析方法。另外，为了解决上述问题，提供一种解析程序。
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公开(公告)号：CN112752977A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201980062668.X
申请日：2019-03-26
申请人： 爱德万测试株式会社
摘要： 提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；机器学习部，其使用复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置；以及，解析部，其从复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外，提供一种解析方法。另外，提供一种解析程序。
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公开(公告)号：CN104950244B
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201410495996.8
申请日：2014-09-24
申请人： 爱德万测试株式会社
CPC分类号： G01R1/0416 , G01R1/0441 , G01R1/0466 , G01R31/043 , G01R31/2891 , G01R31/2893 , Y10T403/32557
摘要： 本发明提供一种固定单元、固定工具、分选装置及测试装置，其中的固定单元是包括在具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部的被固定单元中与间隙部相嵌合的嵌合针脚的固定单元；嵌合针脚包括：固定针脚，插入间隙部并与第一壁面相接触；移动针脚，插入间隙部并抵压于第二壁面上；以及基体，固定固定针脚；移动针脚具有以移动的中心轴为中心的圆弧状的底部，该底部相对于基体上设置的凹部被可滑动地嵌合。使被测器件与测试用插座准确电连接。固定单元在包括具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部的被固定单元上切实地嵌合。
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公开(公告)号：CN104280578B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201410328858.0
申请日：2014-07-11
申请人： 爱德万测试株式会社
CPC分类号： H04B10/0731 , H04B10/801
摘要： 本发明提供一种器件接口装置、测试装置及测试方法，所述器件接口装置搭载具有光接口的被测器件，并包括：器件搭载部，搭载被测器件；光连接器，与被测器件所具有的光接口相连接；以及光信号检测部，在将器件搭载部上搭载的被测器件的光接口与光连接器相连接之前，对从光接口及光连接器的至少一方输出的光信号进行检测。测试装置容易执行对具有光接口的被测器件的测试。
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公开(公告)号：CN106098519A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610096405.9
申请日：2016-02-22
申请人： 爱德万测试株式会社
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3045 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/043 , H01J2237/0435 , H01J2237/15 , H01J2237/2025 , H01J2237/20285 , H01J2237/30455 , H01J2237/31766 , H01J2237/31774 , H01J37/3174
摘要： 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。
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公开(公告)号：CN102565657B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201110403993.3
申请日：2011-12-07
申请人： 爱德万测试株式会社
发明人： 天沼圣司
CPC分类号： G01R31/2637 , G01R31/261
摘要： 本发明提供一种测试装置，用于对被测试器件进行测试，其可以防止过剩电流流入到被测试器件中。所述测试装置具有：用于产生向所述被测试器件供给电源电压的电源部；设置在从所述电源部至所述被测试器件的路径中的感应负载部；相对于所述感应负载部而言与所述被测试器件并联连接的第一半导体开关；以及在切断对所述被测试器件供给的电源电压的情况下，导通所述第一半导体开关的控制部。
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