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公开(公告)号:CN109671796B
公开(公告)日:2022-12-20
申请号:CN201811605620.2
申请日:2018-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种柔性日盲型紫外光探测器及其制作方法,包括下电极、氮化铝膜层及上电极,所述下电极包括铝基底,所述氮化铝膜层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层,所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次形成于所述下电极上,所述上电极形成于所述第二氮化铝膜层上,所述第一氮化铝膜层由所述铝基底的表面经过氮化处理而形成。该柔性日盲型紫外光探测器中的氮化铝膜层与基底之间的结合力较强。
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公开(公告)号:CN109738105B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN201811544198.4
申请日:2018-12-17
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明提供一种监测冲击波强度的皮肤电子器件,将压电传感系统、数据采集系统、无线传输系统、电源、可拉伸导线等封装在封装结构内,这一抗冲击设计,有效增加了这些部件的抗冲击能力。各个部件之间采用可拉伸导线进行连接,提高了该皮肤电子器件的可拉伸性能及穿着舒适性。本发明的监测冲击波强度的皮肤电子器件可实时监测用户所受冲击波强度,节省了伤情判定时间,可用于化工厂、爆炸现场搜救、战场及易发生爆炸的其他高危作业场合。
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公开(公告)号:CN114544046A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202111581041.0
申请日:2021-12-22
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本申请涉及一种压力传感器,包括硅片和柔性薄膜,硅片的一侧设置至少一力敏电阻,柔性薄膜包覆硅片,柔性薄膜的厚度大于或等于硅片的厚度。本申请还涉及一种压力传感器的制备方法,提供硅片,硅片的一侧设置至少一力敏电阻;形成包覆硅片的柔性薄膜,得到压力传感器。本申请将硅片制成的力敏元件包埋于柔性薄膜中,可以提高器件的柔性,减少器件本身对监测环境的压力干扰,可实现对接触界面压力的精准监测。
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公开(公告)号:CN114539776A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202111641734.4
申请日:2021-12-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C08L83/04 , C08L75/04 , C08K9/10 , C08K3/22 , C08K3/24 , C08J7/06 , C08J7/12 , C23C14/20 , C23C14/35 , C23C28/02 , C25D5/56 , H01B3/02 , H01B3/10 , H01B13/00
Abstract: 介电弹性体金属化材料及制备方法,该方法包括如下步骤:在无机非金属颗粒外包覆多巴胺活性层;配置形成介电弹性体薄膜的介电弹性体材料溶液,将包覆有所述多巴胺活性层的无机非金属颗粒分散于所述介电弹性体材料溶液内,并对所述介电弹性体材料溶液进行固化,形成介电弹性体薄膜;对所述介电弹性体薄膜的表面进行亲水化处理;采用磁控溅射的方式,在经过亲水化处理的所述介电弹性体薄膜的表面形成第一金属层;采用电镀工艺在所述第一金属层的表面形成第二金属层。由该该介电弹性体金属化材料的制备方法制作而成的介电弹性体金属化材料,其介电常数较高,介电损耗较小,金属层与介电弹性材料之间的结合力较大。
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公开(公告)号:CN110994167B
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN201911222171.8
申请日:2019-12-03
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种耐高温柔性阵列天线及其制作方法,该天线以柔性云母片为基板,在基板上布设多个天线单元,并通过导线层将多个天线单元电性相连。每一天线单元包括金属粘合层、基片及金属图层,基片通过金属粘合层固定在柔性云母片上,金属图层设置于基片远离金属粘合层的一侧上,金属粘合层与金属图层电性相连。该耐高温柔性阵列天线在能够耐受较高温度的同时,还能够易于与其它物体共形,大幅度减少使用空间。
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公开(公告)号:CN110767472B
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN201810829730.0
申请日:2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括:提供一柔性金属衬底;以金属单质作为靶材,采用磁过滤多弧离子镀方法在柔性金属衬底上沉积形成金属薄膜;以钛酸锶作为靶材,采用磁控溅射方法在金属薄膜上沉积形成钛酸锶预制层;对沉积有金属薄膜和钛酸锶预制层的柔性金属衬底进行热处理,使金属薄膜中的金属原子向钛酸锶预制层扩散,得到陶瓷薄膜,陶瓷薄膜包括依次贴合于金属薄膜的金属原子掺杂钛酸锶的扩散固溶层和钛酸锶层。通过该制备方法实现了储能薄膜柔性化,同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度,可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号:CN109554678B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201811604531.6
申请日:2018-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 一种柔性氮化铝薄膜及其制作方法,包括铝基底及氮化铝膜层,所述氮化铝膜层包括第一氮化铝膜层及第二氮化铝膜层,所述第一氮化铝膜层及所述第二氮化铝膜层依次形成于所述铝基底上,所述第一氮化铝膜层为由铝基底的表面经过氮化处理而形成的膜层。该柔性氮化铝薄膜中的氮化铝膜层与基底之间的结合力较强。
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公开(公告)号:CN109103147B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201810779413.2
申请日:2018-07-16
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种柔性封装架构、该柔性封装架构的制作方法及具有该柔性封装架构的可穿戴设备,该柔性封装架构包括柔性基板、功能元器件、连接线路、功能绝缘层及封装层,所述功能元器件布设于所述柔性基板上,所述连接线路通过导电油墨制作而成,并连接于各所述功能元器件之间,所述功能绝缘层覆盖于所述连接线路上,所述封装层封装所述柔性基板、所述功能元器件、所述连接线路及所述功能绝缘层。该柔性封装架构能够具有较好地柔性、可靠性强且制作成本较低。
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公开(公告)号:CN110767447B
公开(公告)日:2021-12-14
申请号:CN201810829735.3
申请日:2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括:提供一柔性金属衬底;以钛金属作为靶材,采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上沉积形成二氧化钛预制层,其中所述磁过滤多弧离子镀方法中的工作气氛为氩气和氧气的混合气体;对沉积有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理,得到柔性储能薄膜。所述柔性储能薄膜包括柔性金属衬底以及形成于所述柔性金属衬底上的二氧化钛层。通过该制备方法不仅实现了储能薄膜的柔性化,同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度,可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号:CN110760801B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201810848153.X
申请日:2018-07-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及储能陶瓷薄膜及其制备方法,所述储能陶瓷薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、合金层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜;其中,所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同,所述合金层为第一金属与第二金属所形成的合金层。本发明的储能陶瓷薄膜可在降低金属衬底的表面粗糙度的同时保证结合力,从而可以同时提高储能陶瓷薄膜的储能性能和可靠性。
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