公开(公告)号：CN1816733A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200480018993.X

申请日：2004-06-18

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  杉山一彦 ,  宇野富雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  中村修 ,  土肥亮介 ,  松本笃谘

IPC: G01F1/42 ,  G01F1/50 ,  G01F7/00

CPC classification number: G01F1/50 ,  G01F1/42 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明的课题在于使差压式流量计的构造简化而实现制造成本的降低，并且能够在100％～1％的较广的流量范围内实时地且以在线状态进行误差(E)为(1％SP)以下的高精度的流量计测。为此，在包括孔口测流计、孔口测流计上游侧的压力(P1)的检测器、孔口测流计下游侧的流体压力(P2)的检测器、孔口测流计上游侧的流体温度(T)的检测器、利用来自上述各检测器的检测压力(P1、P2)及检测温度(T)运算流过孔口测流计的流体流量(Q)的控制运算电路的差压式流量计中，根据(其中，C1为比例常数，m和n为常数)来运算前述流体流量(Q)。

公开(公告)号：CN1809737A

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：CN200480017295.8

申请日：2004-06-10

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  杉山一彦 ,  日野昭一 ,  高桥荣治 ,  三枝慎 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  上野山丰己 ,  杉田胜幸

IPC: G01L19/02 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L19/02 ,  G01L9/065 ,  G01L19/0023 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正，能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说，作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器，将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出，并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构，在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值，进而在所述时效零点漂移修正机构的动作条件判定机构中对压力传感器的动作条件进行判定，当所述传感器输出电压大于设定值且压力传感器的动作条件处于预先设定的动作条件下时，通过D/A转换器将与所述传感器的输出电压大小相等而极性相反的零点修正用电压输入给所述放大器的补偿端子，将压力传感器的时效零点漂移消除。

公开(公告)号：CN1227572C

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN99800859.1

申请日：1999-05-27

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  加贺爪哲 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  吉川和博 ,  出田英二 ,  土肥亮介 ,  宇野富雄 ,  山路道雄

IPC: G05D7/06 ,  F16K31/12

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761

Abstract: 一种具备压力式流量控制装置的气体供给设备更其在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下，一边进行气体的流量控制，一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体。该压力式流量控制装置包括：从气体供给源接受气体的控制阀，设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀，设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器，设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔，在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc＝KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。

公开(公告)号：CN1149342C

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN98801149.2

申请日：1998-08-13

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘 ,  东京电子株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  加贺爪哲 ,  杉山一彦 ,  深田収 ,  尾泽进 ,  佐藤义浩 ,  土肥亮介 ,  宇野富雄 ,  西野功二 ,  福田浩幸 ,  池田信一 ,  山路道雄

IPC: F15D1/08 ,  B23P15/16

CPC classification number: G01F1/40 ,  G05D7/0186

Abstract: 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔，节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2，该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中，将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状；并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4，该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。

公开(公告)号：CN1272186A

公开(公告)日：2000-11-01

申请号：CN99800859.1

申请日：1999-05-27

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  加贺爪哲 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  吉川和博 ,  出田英二 ,  土肥亮介 ,  宇野富雄 ,  山路道雄

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761

Abstract: 使半导体制造装置等所使用的具备压力式流量控制装置的气体供给设备更小型化而降低制造成本,同时改善过度流量特性,防止气体供给开始时的气体的过调节现象的发生,提高流量控制精度与设备可靠性,由此,减少半导体制品质量的不均一,同时提高半导体制品的制造效率。具体地讲,是在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下,一边进行气体的流量控制,一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体,在上述具备压力式流量控制装置的气体供给设备上,气体供给设备的构成包括:从气体供给源接受气体的控制阀,设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀,设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器,设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔,在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc=KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。

公开(公告)号：CN113646620A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202080023287.3

申请日：2020-03-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  田中一辉 ,  泷本昌彦 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/59

Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；以及连接电气单元(20)和流体单元(10)的光纤(11、12)，构成为通过用光检测器(24)检测出从光源(22)入射到测定单元并从测定单元出射的光而对测定单元内的流体的浓度进行测定，在电气单元(20)中，与光纤(11、12)连接的光连接部(32、34)和光源(22)或者光检测器(24)一体地设置。

公开(公告)号：CN113632038A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202080024764.8

申请日：2020-04-16

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  井手口圭佑 ,  小川慎也 ,  杉田胜幸 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  伊藤祐之

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种流量控制装置(10)，其具备：控制阀(11)；节流部(12)，其设置于控制阀(11)的下游侧；上游压力传感器(13)，其测定控制阀(11)与节流部(12)之间的压力(P1)；差压传感器(20)，其测定节流部(12)的上游侧与下游侧的差压(ΔP)；以及运算控制电路(16)，其与控制阀(11)、上游压力传感器(13)以及差压传感器(20)连接。

公开(公告)号：CN113508287A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202080018145.8

申请日：2020-03-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  长谷川惠一 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01N21/03 ,  G01N21/33 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中流动的气体的浓度的运算控制电路(46)，用于使来自光源的光入射到流路的透光性的入射窗(26、23)以及用于使通过了流路的光出射的透光性的出射窗(28、23)中的至少任意一个相对于合流块体(14)密封固定。

公开(公告)号：CN108780332B

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN201780004964.5

申请日：2017-02-23

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平井畅 ,  森崎和之 ,  平田薰 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06 ,  F16K7/14

Abstract: 本发明所涉及的流量控制装置具有：控制阀；设置于所述控制阀的下游侧的第一流路；第二流路；和设置于所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。

公开(公告)号：CN109478074B

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN201780015751.2

申请日：2017-07-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  池田信一 ,  西野功二

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器，流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。