公开(公告)号：CN204359918U

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201420799426.3

申请日：2014-12-18

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 王向鑫 ,  施云波 ,  赵文杰 ,  姜文娟 ,  于洋

IPC: G01R33/04

Abstract: 一种微型化双环形磁通门传感器，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、软磁磁芯、焊盘引脚、光刻胶保护膜，环形磁芯的三条边分别绕制三组相互独立的三维螺线管激励线圈，一共六组激励线圈，在两个环形磁芯相邻且平行的两条边上绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过光刻胶保护膜与磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接焊盘引脚。本实用新型解决了传统磁通门传感器制造稳定性低、重复性差的问题。同时，也解决了微型化磁通门传感器激励线圈匝数少的问题，在有限的范围内，增大了感应线圈的横截面积，提高了微型磁通门传感器性能，全尺寸小于7mm×7mm，制造工艺同时兼容大规模集成电路工艺，可以和接口电路集成制造，在许多新的领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN204359814U

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201420795617.2

申请日：2014-12-17

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 兰云萍 ,  施云波 ,  冯侨华 ,  赵文杰 ,  王欣

IPC: G01P5/10 ,  G01P13/02

Abstract: 一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器，适用于风速和风向测量领域。本实用新型的目的是要解决现有的风速风向传感器受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，8个传感器单元同时对风速风向信息进行测量，可进一步提高测量精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，可使本传感器体积变小、成本降低。

公开(公告)号：CN205506741U

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201620200448.2

申请日：2016-03-16

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  于洋 ,  施云波 ,  于明岩 ,  王欣

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种AlN热隔离双面结构微热板气体传感器，包括AlN陶瓷基片、加热器、加热器焊盘、信号电极、信号电极焊盘、焊盘通孔、梯形热隔离槽、敏感膜，基片正面设置有信号电极、信号电极焊盘、加热器焊盘、敏感膜，信号电极采用叉指电极结构，敏感膜附在信号电极上；基片背面设置有加热器、加热器焊盘、信号电极焊盘，加热器采用蛇形排列结构；基片正面与背面的焊盘通过刻蚀的焊盘通孔相连接；基片中心加热区四周刻蚀有梯形热隔离槽，作用是减少传感器的热量损失。传感器整体尺寸约为3.2mm*3.2mm*0.2mm。本实用新型的气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高等优点，可以作为半导体式Cl2、NO2、CH4等气体传感器。