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公开(公告)号：CN111044180B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN201911274299.9
申请日：2019-12-12
Applicant: 华侨大学
IPC: G01L1/04
Abstract: 本发明提供了一种半导体衬底片连续径向加压装置，其特征在于包括：底座、导轨、刚性支撑件、样件夹持机构、加压刚性件、弹簧和一维位移台；所述导轨设置在底座的上表面，并沿着与底座上表面平行的方向延伸；所述一维位移平台通过弹簧和加压刚性件连接，并带动加压刚性件沿着与底座上表面平行的方向平移；所述刚性支撑件固定在样件夹持机构远离加压刚性件的一侧；衬底片的定位边与底座平行，竖直放置于样件夹持机构，并固定在与底座上表面垂直的平面内。上述装置，通过一维位移平台压缩弹簧，将位移转量换为压力，加压过程柔和且可控性、连续性良好；样品夹持装置可保证加压方向，避免弯曲扭力的产生所导致的衬底片破片。
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公开(公告)号：CN118243274A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410536212.5
申请日：2024-04-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种衬底残余应力的光学无损检测系统及方法，系统包括光源、调制模块、分光镜、样品台、解调模块、图像采集模块；光源、调制模块和分光镜沿着直线A依次布置，分光镜、解调模块和图像采集模块沿着直线B依次布置，直线A垂直于直线B，样品台与分光镜的连线同时垂直于直线A和直线B。测量时，光源发出的激光经过调制模块、分光镜、待测材料和解调模块后到达图像采集模块，被采集形成一系列干涉图像，通过光强信号、光学元器件参数与等倾角和相位差的关系，计算出衬底残余应力的方向和大小。本发明通过垂直入射式反射光弹光路检测系统，改进现有的反射式光弹系统因小角度入射引起的系统误差，实现衬底残余应力的高精度检测。
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公开(公告)号：CN109001228B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201811087515.4
申请日：2018-09-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，定位装置包括针对不同大小衬底的圆环托盘，圆环托盘上带有刻度，实现对不同规格的圆形衬底的定位；圆柱形连接支架用于连接衬底定位装置和背光照明装置，实现对光源的密封；背光照明装置，提供多种形式的光源，同时保证均匀照明；圆环形转接板，实现照明装置和旋转台的固定；旋转台可带动背光照明装置以及衬底定位装置实现回转运动；具有可拆卸功能的底座，用于固定衬底定位装置以及与检测平台的连接。本发明与现有的装置相比，不仅可实现对多种规格的衬底晶片精确定位和回转运动用于全场扫描测试，又可以提供多种均匀照明的背光光源，满足不同缺陷检测时的照明需求。
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公开(公告)号：CN114083139B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111675170.6
申请日：2021-12-31
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。
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公开(公告)号：CN114346320B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210064180.4
申请日：2022-01-20
Applicant: 华侨大学
IPC: B23D57/00
Abstract: 本发明提供一种线切割设备，包括旋转工作台、分别设置在所述旋转工作台两侧且相向布置的牵引组件以及两端分别与各所述牵引组件一对一连接的锯线；所述锯线的一端依次穿过对应的所述牵引组件的所述导向装置和所述张紧装置并卷绕在对应的所述牵引组件的所述收放装置上。通过将导向装置竖直滑动连接在立柱上并将立柱水平滑动连接在滑轨上，同时利用旋转工作台带动工件转动，锯线可以在两个导向装置的带动下改变锯线的切割姿态，形成复杂曲面的加工轨迹，适用于复杂曲面类零部件的加工且设备可灵活搭建、成本相对较低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112361973B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202011296380.X
申请日：2020-11-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，先依据椭偏光谱数据及吸收光谱数据判断金刚石薄膜是单晶金刚石薄膜或多晶金刚石薄膜，再依据光谱数据分别选择不同计算方式以获光学常数和薄膜厚度，一方面不仅能获折射率和薄膜厚度，而且还能获消光系数，另一方面，单晶金刚石薄膜采用Cauchy模型计算以获光学常数和薄膜厚度，多晶金刚石薄膜则选择波段并依据振子模型和评价函数MSE计算以获光学常数和薄膜厚度，因此可检测单晶及多晶金刚石薄膜，能获光学常数折射率、消光系数和厚度，检测精度高、测量时间短。
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公开(公告)号：CN113059251B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202110276710.7
申请日：2021-03-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种制备细直径金刚石串珠的制备方法及涂敷设备，可以实现细直径金刚石串珠生产过程中钎料及金刚石颗粒涂敷的自动化。涂敷设备包括钎料涂敷总成，工位转换总成，金刚石涂敷总成。钎料涂敷总成包括：升降模板机构，圆管基体夹紧旋转机构，钎料定量移动挤出机构；工位转换总成包括工位转换支撑板机构，丝杠滑台模组机构；金刚石涂敷总成包括：震动筛网机构，筛网滑台机构，金刚石回收机构。本发明可生产不同直径的金刚石串珠，外径范围在2mm到10mm之间。本发明的一种制备细直径金刚石串珠的钎料和金刚石颗粒涂敷设备可以大大减少细直径串珠生产过程中的人力和物力，大大节约了生产成本，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN113459706A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110774400.8
申请日：2021-07-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种面向弱刚度石材的多机器人雕刻加工平台，加工转台位于加工机器人和支撑机器人之间；第一刀具库、第二刀具库分别作为加工机器人和支撑机器人的换刀库，位于加工机器人和支撑机器人的侧方；第一刀具库、第二刀具库有多个刀位，以存放不同尺寸和类型的加工刀具；快换装置库位于支撑机器人一侧，包括加工主轴和支撑装置，结合气动快换装置以以将支撑装置安装在支撑机器人的末端执行器上，加工机器人加工弱刚度部位时，支撑工具在对侧进行辅助支撑；通过对石雕模型的加工过程进行受力分析，找到石材易断裂部位，并根据石材背部形状和大小的不同，选取不同大小的支撑装置组合和加工方法，完成弱刚度部位的支撑加工。
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公开(公告)号：CN113070172A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110275203.1
申请日：2021-03-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石绳锯串珠钎料及金刚石自动化涂敷设备。设备包括同步带支撑及旋转总成，钎料涂敷总成，喷胶总成，金刚石涂敷总成；同步带支撑及旋转总成通过可移动的旋转摩擦盘实现基体圆管的旋转，圆管基体通过同步轮同步带机构实现工位的转换；喷胶总成实现对基体圆管的间隔涂胶；钎料涂敷总成通过定量落料机构和振动筛实现对圆管基体进行钎料的间隔涂敷；金刚石涂敷总成实现对涂敷钎料之后的基体圆管进行金刚石涂敷。本发明的自动化涂敷设备通过同步轮同步带机构以及钎料和金刚石涂敷机构实现了对圆管基体钎料和金刚石颗粒涂敷的自动化，节省了劳动力,提高了金刚石绳锯串珠的生产效率。
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公开(公告)号：CN112589654A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011596068.2
申请日：2020-12-29
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了用于石材抛光的机器人抛光系统，包括基座、机器人设备、抛光机构和工作台机构。该机器人设备包括六轴串联机器人和机器人控制系统。该抛光机构包括电机夹持装置、驱动电机、抛光盘和冷却水装置；该驱动电机通过电机夹持装置装接在机械手末端，通过驱动电机带动抛光盘转动；该冷却水装置包括冷却水供应机构和喷水管，该冷却水供应机构和喷水管装接在电机夹持装置。该工作台机构包括圆形转台、转台电机和夹具，该转台电机装接在基座，通过转台电机带动圆形转台转动，该夹具装接在圆形转台上；通过圆形转台带动待抛光工件的转动及驱动电机带动抛光盘的转动以抛光该待抛光工件。它具有如下优点：抛光精度高、效率高。
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