公开(公告)号：CN117162290A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311234550.5

申请日：2023-09-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 温秋玲 ,  王晓光 ,  陈金鸿

IPC: B28D5/00 ,  B23K26/362 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开一种透明硬脆材料表面加工亲水结构的装置及加工方法，包括磁场发生器、能够在激光束的辐照下产生等离子体的靶材和用于发出激光束的激光器组件，激光器组件的出射端和靶材沿激光束发射路径间隔设置在透明硬脆材料样品的两侧，出射端发出激光束的光斑穿过透明硬脆材料样品，并聚焦在靶材靠近透明硬脆材料样品的表面上，靶材和透明硬脆材料样品均位于磁场发生器产生的磁场中，磁场的磁感线垂直于靶材表面，并与激光束同向延伸，加工成本低，操作简单，工艺过程简单，易于实现大规模的应用，保证更高的加工质量和更快的加工速率。

公开(公告)号：CN114083139A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202111675170.6

申请日：2021-12-31

Applicant: 华侨大学

Inventor： 温秋玲 ,  陈金鸿 ,  徐西鹏 ,  姜峰 ,  陆静 ,  崔长彩 ,  黄国钦 ,  黄辉 ,  汪晖

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。

公开(公告)号：CN114083139B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202111675170.6

申请日：2021-12-31

Applicant: 华侨大学

Inventor： 温秋玲 ,  陈金鸿 ,  徐西鹏 ,  姜峰 ,  陆静 ,  崔长彩 ,  黄国钦 ,  黄辉 ,  汪晖

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。

公开(公告)号：CN117817130A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202410137371.8

申请日：2024-01-31

Applicant: 华侨大学

Inventor： 温秋玲 ,  王晓光 ,  陈金鸿 ,  姜峰

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/70 ,  B23K10/00 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明提供了一种透明硬脆材料表面疏水结构的加工方法通过激光光斑聚焦在透明硬脆材料下方的靶材表面，激光烧蚀靶材过程中产生高温高压的等离子体，在横向磁场约束下，等离子体向中心偏转，使得等离子体的体积变小，等离子体的密度和温度增加，因此施加横向磁场后，刻蚀区域周围溅射物的分布范围变小了，刻蚀宽度变窄了，刻蚀深度变深了；通过横向磁场辅助激光诱导等离子体在透明硬脆材料样品表面制作大面积周期性微结构。通过本方法在透明硬脆材料上加工出的微结构表面干净整齐，深宽比高，微结构内部能够存留足够的空气，从而增大了材料的接触角，形成了疏水表面。该方法具有经济效益好，加工效率高、加工质量好、工艺简单、环境友好等优势。