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公开(公告)号：CN115206756A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210842745.7
申请日：2022-07-18
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01J37/244
Abstract: 本发明涉及多束电子束束斑测量技术领域，提供了一种多束电子束束斑的测量装置及方法，该装置包括真空腔室以及形成于真空腔室内的多束电子束，至少包括：刀口件，可移动的设置在真空腔室内，且位于多束电子束的照射路径上，刀口件上具有适于电子束通过的刀口，刀口件能够在移动过程中对多束电子束中的至少部分电子束进行遮挡；电子束收集结构，位于真空腔室内，且位于刀口件的下游，适于收集从刀口射出的电子束，并将其转化为电信号；数据处理模块，与电子束收集结构信号连接，适于接收电信号，并根据电信号获取各个电子束的束斑分布与束斑大小。该测量装置，可以获取各个电子束的束斑分布与束斑大小，满足观察和测量的需求。
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公开(公告)号：CN115166810A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210786535.0
申请日：2022-07-04
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明涉及电子束测量技术领域，具体涉及一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。一种电子束参数测量装置，包括：微器件阵列结构多层板，所述多层板上设有多个阵列分布的法拉第杯组件，每个所述法拉第杯组件包括同轴设置的至少两个法拉第杯，至少两个所述法拉第杯贯通设置，电子束经上层所述法拉第杯射入下层所述法拉第杯中，获取每层所述法拉第杯的电子束束流大小，以得到所述电子束的相应参数。本发明提供了一种可快速测量的电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。
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公开(公告)号：CN114063139A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111393838.8
申请日：2021-11-23
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开了一种数字多道脉冲幅度分析装置，分别包括：信号调理模块、数模转换芯片、FPGA数字处理模块、存储器、多核DSP芯片、电源模块、时钟模块和显示模块。将现有技术中前置放大器和数模转换芯片采样之间的模拟电路的脉冲处理功能使用FPGA数字处理模块和多核DSP芯片实现，通过第一预设算法、第二预设算法处理。该第一预设算法以及第二预设算法的具体过程是前置放大器输出的信号经过简单的主放大电路之后直接被数模转换芯片采样，然后在多核DSP芯片中实现阈值定位、脉冲计数或堆积判别、峰值提取、脉冲计数，进而可以使得本发明实施例中的数字多道脉冲幅度分析装置体积较小，结构简单，方便调试修改参数。
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公开(公告)号：CN111308542B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202010127806.2
申请日：2020-02-28
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明公开了一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法，测量装置包括荷电控制电子枪、精密位移台、法拉第杯、皮安表、计算机。基于法拉第杯小孔扫描进行测量，获得束斑直径大小、束斑分布特性图、电子束发散角等电子束束斑性能的重要参数，以实现对电子束束斑全面、准确、深入地分析，进而能够准确判断电子枪产生的电子束是否满足使用要求，并对电子枪的结构设计优化和安装调试起到指导作用。
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公开(公告)号：CN110161317A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201810141610.1
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明公开了一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置，该装置包括：二次电子测量模块包括电子枪和收集极，所述电子枪设于所述收集极的正上方，且所述电子枪和所述收集极的中心轴线处于同一直线上；样品台模块，其设有样平台，所述样平台的底面设有沿X、Y、Z轴三个方向的滑动轨道；电晕充电模块包括高压电极和电晕针，所述高压电极与所述电晕针连接；表面电位测量模块，其包括高压接口和静电探头，所述静电探头和所述高压接口连接；真空/高气压系统，其包括外腔体、气体接口、真空接口、气瓶和真空泵，所述气体接口和所述真空接口均设于所述外腔体壁上且与所述外腔体连通，所述气瓶和所述气体接口连接，所述真空泵与所述真空接口连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109994244A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910343210.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开一种多层膜X射线波带片的制备方法，通过将多个第一金属载网对齐叠放，夹紧固定，且第一金属载网之间利用一定厚度的垫片进行隔离；然后将多层膜细丝置于各第一金属金属载网的设定位置处并用胶固定，使细丝与各第一金属载网保持垂直；再利用聚焦离子束将每个第一金属载网上的细丝切割抛光成设定厚度的薄片，最后撤去垫片，分离得到第二金属载网，去除粘连的多余细丝，各第二金属载网上固定一个设定厚度的波带片，从而得到多个波带片，本发明省去聚焦离子束和微机械手转移固定波带片的过程，实现了波带片的批量化制备。
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公开(公告)号：CN109211101A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811181722.6
申请日：2018-10-11
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01B7/312
Abstract: 本发明公开了一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置。电子束对中检测管，包括：绝缘件、输出电极以及检测感应片；绝缘件与输出电极采用钎焊方式焊接在一起；多个检测感应片围成一个中空结构；绝缘件包裹于所述中空结构的上部；中空结构置于电子束管内；输出电极与检测感应片一一对应；输出电极沿着绝缘件的内壁穿出，与外部的电信号检测装置相连接；电子束管内的电子束与感应片相接触时产生电信号，电信号通过输出电极传输至电信号检测装置，若电信号检测装置接收到电信号时，则电子束未处于合轴状态，对电子束进行对中校正调试。采用本发明所提供的电子束对中检测管以及电子束对中检测装置能够降低电子束对中校正调试难度，缩短调试时间。
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公开(公告)号：CN107227442A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710311739.8
申请日：2017-05-05
Applicant: 中国科学院电工研究所
CPC classification number: C23C14/18 , C23C16/06 , G01N23/046 , H01J35/08
Abstract: 本发明提出一种镶嵌式结构的钨‑金刚石透射靶材及其制备方法。该钨‑金刚石透射靶材利用氦离子显微镜，尤其是利用氦离子显微镜超高精度的多功能的加工能力，首先在几百微米厚度的金刚石片上进行打孔，孔的直径为几个微米，深度为几个微米，然后在这些小孔里面进行钨的沉积，从而制备出散热性、高质量的镶嵌式结构的钨‑金刚石透射靶材。该靶材在真空条件下一次性成型，不易受污染，并具有X射线出射率大、散热性好、寿命长等优点。该制备方法具有精度高、易控制、工艺简单等优点。
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公开(公告)号：CN104112373B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201310133337.5
申请日：2013-04-17
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本申请公开了一种盲用电子书，包括：显示装置、阀门层、电流变液腔体、驱动控制装置、回收开启装置和开关装置。应用本发明实施例提供的盲用电子书，在需要消除电流变液沉积时打开电流变液回收通道，使得电流变液在电流变液腔体、电流变液点位控制阀门组、开关装置和电流变液回收通道之间流动，解决了电流变液的沉降问题，避免了电流变液中颗粒的沉积，提高了电流变液阀门的可靠性，进而使得盲用电子书能够达到商品化阶段。
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