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公开(公告)号：CN110441115B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201910857821.X
申请日：2019-09-09
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明公开了一种多层膜X射线波带片的制备方法，具体方法为：将丝状样品垂直固定于样品托侧面；运用FIB切割，只切割丝状样品的多层膜，垂直从上向下将可见部分多层膜切成指定厚度；将样品切割部分用液态胶浸润；通过旋转将未切割的多层膜部分朝上，并将切割好的位置用液态胶接触固定一铜箔，再运用FIB将保留的多层膜两边的多层膜以及中心丝完全切断；利用机械手进行上述步骤切割好的波带片转移；运用FIB沉积技术固定波带片于载网的特定位置；切除机械手，对波带片进行抛光，获得所需制备的波带片；本发明可以实现超薄波带片的制备，可以保护波带片的多层膜，因为有液态胶的保护所以加强了超薄波带片的自支撑能力。
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公开(公告)号：CN110060793B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201910367350.4
申请日：2019-05-05
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G21K1/06
Abstract: 本发明公开一种X射线波带片的制备方法，包括：将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝固定于铜皮上，所述细丝的侧表面与所述铜皮接触；将所述铜皮固定于衬底上；将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片；切割所述薄片的与衬底接触的部分，使所述薄片完全脱离所述衬底；将所述薄片移动并固定到金属载网上；将所述金属载网上的薄片抛光成所需厚度。本发明能够确保波带片牢固固定于金属载网上，可以有效防止波带片从金属载网上脱落。
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公开(公告)号：CN110047609B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201910135951.2
申请日：2019-02-25
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开了一种X射线波带片的封装方法及系统。该方法包括：根据设计的波带片高度，采用聚焦离子束将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝切割并抛光成预设高度的薄片，得到待封装的波带片；采用微操作臂将所述待封装的波带片移动到金属载网上；将所述待封装的波带片固定在所述金属载网上；将带有所述待封装的波带片的金属载网固定在螺纹底座内，完成封装。本发明能够将波带片封装成可宏观移动的毫米级部件，不仅能够有效保护波带片，还能够便于对波带片进行操作。
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公开(公告)号：CN110441115A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910857821.X
申请日：2019-09-09
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明公开了一种多层膜X射线波带片的制备方法，具体方法为：将丝状样品垂直固定于样品托侧面；运用FIB切割，只切割丝状样品的多层膜，垂直从上向下将可见部分多层膜切成指定厚度；将样品切割部分用液态胶浸润；通过旋转将未切割的多层膜部分朝上，并将切割好的位置用液态胶接触固定一铜箔，再运用FIB将保留的多层膜两边的多层膜以及中心丝完全切断；利用机械手进行上述步骤切割好的波带片转移；运用FIB沉积技术固定波带片于载网的特定位置；切除机械手，对波带片进行抛光，获得所需制备的波带片；本发明可以实现超薄波带片的制备，可以保护波带片的多层膜，因为有液态胶的保护所以加强了超薄波带片的自支撑能力。
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公开(公告)号：CN111575678A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010433801.2
申请日：2020-05-21
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: C23C16/455 , C23C16/06 , C23C16/34 , C23C16/40 , G21K1/06
Abstract: 本发明提供了一种X射线多层膜反射镜的制备方法，属于多层膜反射镜技术领域。本发明首先根据X射线的波长和入射角，确定X射线多层膜的周期厚度；然后确定多层膜的厚度和周期数；再利用原子层沉积法在基底表面交替沉积制备X射线多层膜反射镜。本发明制备的X射线多层膜的周期厚度小，可制备适用于波长更短的X射线多层膜反射镜；此外，制备的多层膜的粗糙度小(≤基底的粗糙度)，膜间的界面清晰，多层膜反射镜的反射率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109994244B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201910343210.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开一种多层膜X射线波带片的制备方法，通过将多个第一金属载网对齐叠放，夹紧固定，且第一金属载网之间利用一定厚度的垫片进行隔离；然后将多层膜细丝置于各第一金属金属载网的设定位置处并用胶固定，使细丝与各第一金属载网保持垂直；再利用聚焦离子束将每个第一金属载网上的细丝切割抛光成设定厚度的薄片，最后撤去垫片，分离得到第二金属载网，去除粘连的多余细丝，各第二金属载网上固定一个设定厚度的波带片，从而得到多个波带片，本发明省去聚焦离子束和微机械手转移固定波带片的过程，实现了波带片的批量化制备。
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公开(公告)号：CN110060793A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910367350.4
申请日：2019-05-05
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G21K1/06
Abstract: 本发明公开一种X射线波带片的制备方法，包括：将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝固定于铜皮上，所述细丝的侧表面与所述铜皮接触；将所述铜皮固定于衬底上；将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片；切割所述薄片的与衬底接触的部分，使所述薄片完全脱离所述衬底；将所述薄片移动并固定到金属载网上；将所述金属载网上的薄片抛光成所需厚度。本发明能够确保波带片牢固固定于金属载网上，可以有效防止波带片从金属载网上脱落。
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公开(公告)号：CN110047609A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910135951.2
申请日：2019-02-25
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开了一种X射线波带片的封装方法及系统。该方法包括：根据设计的波带片高度，采用聚焦离子束将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝切割并抛光成预设高度的薄片，得到待封装的波带片；采用微操作臂将所述待封装的波带片移动到金属载网上；将所述待封装的波带片固定在所述金属载网上；将带有所述待封装的波带片的金属载网固定在螺纹底座内，完成封装。本发明能够将波带片封装成可宏观移动的毫米级部件，不仅能够有效保护波带片，还能够便于对波带片进行操作。
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公开(公告)号：CN109994244A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910343210.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开一种多层膜X射线波带片的制备方法，通过将多个第一金属载网对齐叠放，夹紧固定，且第一金属载网之间利用一定厚度的垫片进行隔离；然后将多层膜细丝置于各第一金属金属载网的设定位置处并用胶固定，使细丝与各第一金属载网保持垂直；再利用聚焦离子束将每个第一金属载网上的细丝切割抛光成设定厚度的薄片，最后撤去垫片，分离得到第二金属载网，去除粘连的多余细丝，各第二金属载网上固定一个设定厚度的波带片，从而得到多个波带片，本发明省去聚焦离子束和微机械手转移固定波带片的过程，实现了波带片的批量化制备。
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