一种硅-蓝宝石单芯体压差传感器

    公开(公告)号:CN111207879B

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202010041840.8

    申请日:2020-01-15

    IPC分类号: G01L13/02 G01L13/06 G01L19/04

    摘要: 一种硅‑蓝宝石单芯体压差传感器,属于传感器制造技术领域,本发明为解决现有压差传感器不耐高温、固有频率低的问题。包括芯体和柱塞头引压腔结构;芯体包括敏感芯片、感压膜片、上下承压膜片、上下支撑柱和转接环组件;柱塞头引压腔结构包括上盖、连接管、柱塞头接口和下套管;柱塞头引压腔结构密封腔内安装芯体,上盖和连接管内侧密封腔为负压腔,连接管、柱塞头接口和下套管内侧密封腔为正压腔;上承压膜片和下承压膜片分别接收正压腔和负压腔介质压力,将压力信号通过上下支撑柱连接形成的支撑结构传递至感压膜片,感压膜片根据两个压力信号形成的压差信号产生形变,该形变引起敏感芯片电阻阻值变化,作为输出测量值。本发明用于压力检测。

    一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法

    公开(公告)号:CN109682535B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201811592448.1

    申请日:2018-12-25

    IPC分类号: G01L27/00

    摘要: 一种用于传感器加速寿命试验的真空校准装置及方法,它涉及真空压力传感器测量技术领域,它包括真空泵组、真空舱、真空计、集气瓶、减压阀及调节阀;真空舱二和真空舱四之间布置有与二者连通的真空舱三,真空舱一、真空舱二和真空舱三上分别安装有一个真空计;真空舱三与集气瓶连接且二者连接的管路上安装有减压阀、调节阀八和调节阀九;真空泵组与真空舱一之间、真空舱一与真空舱二之间、真空舱二与真空舱三之间、真空舱三与真空舱四之间分别设置有调节阀一、调节阀四、调节阀六和调节阀七。校准方法包括:一、抽真空;二、被测传感器加压循环测试。本发明用以对传感器进行加速寿命试验,能实现提高传感器可靠性和稳定性的目的。

    一种高精度转角传感器及其电阻敏感元件的制备方法

    公开(公告)号:CN112038027A

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN202010910517.X

    申请日:2020-09-02

    摘要: 一种高精度转角传感器及其电阻敏感元件的制备方法,属于传感器制造技术领域,本发明为解决现有电位式转角传感器测量精度低、电阻体材料耐磨性差、电阻膜阻值均匀性差的问题。一种高精度转角传感器,外壳底部和端盖内部分别安装有第一轴承和第二轴承,传动转轴贯穿外壳和端盖中心的通孔,传动转轴上由外壳底部至端盖方向依次套装有第一轴承、绝缘陶瓷、信号引出滑环、电刷和第二轴承,电阻敏感元件烧结在外壳内部,当传动转轴发生转动时,传动转轴带动刚性连接的电刷在电阻敏感元件表面滑动,电刷转动角度与电刷和参考点之间电阻成正比,通过测量电刷和参考点之间电阻的变化获得传动转轴的角度值。本发明用于精密角度测量。

    一种谐振式高灵敏声传感器

    公开(公告)号:CN109839180B

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201910127028.4

    申请日:2019-02-20

    IPC分类号: G01H11/08

    摘要: 一种谐振式高灵敏声传感器,属于声学探测技术领域,为了解决现有的声传感器灵敏度差的问题。本发明的壳体内设有腔体,并且,敏感元件、弹性梁、处理电路和引线均位于腔体内;腔体通过透声通道与外界连通;所述透声通道竖直设置,并且透声通道的底端为与腔体的连通端,透声通道的顶端为声波的接收口;质量块设置在腔体底部;弹性梁通过边缘固支方式固定在质量块与上壳体接触处;敏感元件固定在弹性梁中部;敏感元件通过引线与处理电路的输入端连接;处理电路的输出端与线缆的一端相连;线缆的另一端依次穿过质量块和壳体,并作为该声传感器的输出端。有益效果为灵敏度高,自适应能力强。

    一种温度自补偿式非本征法布里珀罗腔及制作方法

    公开(公告)号:CN111854813A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010734713.6

    申请日:2020-07-27

    IPC分类号: G01D5/353

    摘要: 一种温度自补偿式非本征法布里珀罗腔及制作方法,解决了现有非本征法布里珀罗腔受温度影响的问题,属于光纤传感技术领域。本发明的非本征法布里珀罗腔包括蓝宝石膜片、二氧化硅基座和蓝宝石柱片,蓝宝石膜片位于二氧化硅基座顶部,所述氧化硅基座由二氧化硅侧壁和二氧化硅底座组成;二氧化硅侧壁和二氧化硅底座与蓝宝石膜片构成真空腔,蓝宝石柱片设置在真空腔内,并固定在蓝宝石膜片的底部中心位置。本发明还提供了制作方法。本发明增强了非本征F-P腔的应用温度范围,降低了成本,又让光在F-P腔中传输没有较大传输损耗,增加了F-P腔的使用寿命,适应较宽的温度范围内进行光学信号的温度补偿,大大减小了光学解调部分的工作量。

    一种带有汗液集取结构的贴纸式汗液传感器

    公开(公告)号:CN111568474A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010323806.X

    申请日:2020-04-22

    IPC分类号: A61B10/00 A61B5/00

    摘要: 一种带有汗液集取结构的贴纸式汗液传感器,涉及一种汗液传感器。目的是解决现有汗液传感器存在汗液样品的蒸发和污染的问题。本发明传感器由汗液采集层和防水保护膜层构成,汗液采集层上表面中心的微腔室四周呈辐射状设置有数条与其连通的微流体通道,微流体通道的凹槽底部均与设置有贯通汗液采集层的毛细孔;微腔室中心设置有检测电极,检测电极中工作电极上表面设置有选择性敏感膜。本发明传感器使用时贴于皮肤表面,毛细孔、微流体通道和微腔室利用毛细现象实现对汗液的采集、输送和富集,检测需要样品量少;防水保护膜层可以有效避免汗液样品的蒸发与污染;传感器具有柔性、实时性、可穿戴、易集成、无创检测的优点。

    一种空间场应用温度传感器

    公开(公告)号:CN111351590A

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN202010144831.1

    申请日:2020-03-04

    摘要: 一种空间场应用温度传感器,属于空间场高温温度的测量技术领域,本发明解决了现有温度传感测量发动机进气管道内气体温度时,当被测的发动机气流温度相对较高,易造成传感器损坏或影响传感器的使用寿命的问题。本发明的密封壳包括横向壳体和纵向壳体,横向壳体一端和纵向壳体的一端相互垂直且连通,矩形保护壳体侧面开有进气口,密封壳的纵向壳体内沿长度方向设置有瓷管,横向壳体内沿长度方向设置有绝缘盒体;热电偶丝探测头的连接端穿过纵向壳体的端面,经瓷管延伸至横向壳体的绝缘盒体内与补偿导线的一端连接,在瓷管与纵向壳体的端面之间通过玻璃浆烧结构成密封层。本发明适用于空间温度测量使用。

    用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件

    公开(公告)号:CN110441385A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201910749651.3

    申请日:2019-08-14

    IPC分类号: G01N27/66

    摘要: 用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件,属于传感器制造技术领域,本发明为解决现有光离子化气体传感器体积大、功耗大的问题。本发明包括微型电离室和微型紫外光源;紫外光源腔体键合在电离室腔体的底部,紫外光源腔体的两侧焊接有激发电极,紫外光源腔体内填充有工作气体;激发电极向紫外光源腔体的侧壁施加电压,工作气体在电压的激励下发射真空紫外光;待测气体由进气通孔进入电离室腔体,在真空紫外光的照射发生离子化反应,离子化反应产生的离子和电子在偏置电极形成的电场内定向移动形成离子化电流,离子化电流通过收集电极收集,通过收集电极的引出端反馈至后续检测电路。本发明用于光离子化气体传感器。