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公开(公告)号:CN116482937A
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202210044985.2
申请日:2022-01-14
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明是一种基于快速多极子方法的电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积的计算方法,目的是在保证精度的前提下,通过对电子束光刻版图用四叉树进行划分,在保证精度的前提下,将曝光点能量沉积的计算分为远场的近似计算和近场的精确计算,大大减少电子束光刻邻近效应校正中版图能量沉积的计算时间,从而提高电子束光刻邻近效应校正的效率。本发明共分为八个步骤:步骤S1版图网格划分和归一化;步骤S2构造四叉树;步骤S3为每个四叉树节点构造交互列表和邻近列表;步骤S4,节点内源点向节点插值点聚集;步骤S5,同层节点之间插值点转移;步骤S6,父节点插值点向子节点插值点发散;步骤S7,邻近列表计算;步骤S8更新版图曝光剂量。
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公开(公告)号:CN116109715A
公开(公告)日:2023-05-12
申请号:CN202111316982.1
申请日:2021-11-09
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明是一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法,电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法包括:S1归一化版图边界;S2判定每个四叉树网格区域的划分层级;S3版图图案边界对四叉树网格进行剪切;S4邻近效应矫正剂量映射入非均匀四叉树网格;S5将四叉树网格与曝光剂量存入文件。本发明采用了非均匀四叉树网格压缩方法,最大特点是在版图边缘部分网格划分相对密集,在版图的内部网格划分相对稀疏,这种压缩方法完全符合电子束邻近效应矫正的剂量特性,将电子束邻近效应矫正后的剂量映射至该网格,能够极大降低网格数量,从而提高曝光效率。
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公开(公告)号:CN115525861A
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202110715896.1
申请日:2021-06-25
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明属于电子设计自动化领域,公开了一种基于神经网络的多子带玻尔兹曼输运方程的求解方法。本发明首先关于纳米尺度的晶体管电子输运问题建立玻尔兹曼‑薛定谔‑泊松系统;对仿真器件在时间、位置空间和波矢空间上进行网格划分;通过确定性方法自洽求解多子带玻尔兹曼输运方程生成训练数据集;将玻尔兹曼输运方程改写成神经偏微分方程的形式把神经网络嵌入其中,构成神经玻尔兹曼方程;将平衡态电子分布函数与当前电子分布函数之间的差值作为神经网络的输入,输出作为神经玻尔兹曼方程右端散射项的待逼近部分;基于时间序列建模策略训练神经网络,训练好的神经网络可以使神经玻尔兹曼输运方程的解作为电子分布的精确近似解,在确保精度的同时极大提升计算效率。
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公开(公告)号:CN112987514B
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202110400952.2
申请日:2021-04-14
Applicant: 湖南大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明是一种电子束曝光的邻近效应快速矫正方法。电子束曝光的邻近效应快速矫正方法包括:S11设置电子束曝光版图矩阵;S12使用二维快速傅里叶变换方法计算电子束正向曝光模拟的能量沉积;S13计算电子束曝光后的阈值显影图案强度;S14设置收敛精度,计算电子束曝光版图误差函数,判断是否收敛;S15计算电子束曝光剂量因子矩阵向量梯度迭代直至收敛;S16将电子束曝光版图剂量矫正结果转化为可用于曝光的数据类型。本发明实现了任意形状电子束曝光版图的邻近效应矫正计算,具有低误差率、高收敛速度率和高计算效率的特点。
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公开(公告)号:CN110285721A
公开(公告)日:2019-09-27
申请号:CN201910575116.0
申请日:2019-06-28
Applicant: 湖南大学
IPC: F42B4/30
Abstract: 本发明公开了一种自动插引装置,包括引线机构、传送机构、驱动机构、传动机构和自上而下设置的上夹持系统、剪切系统和牵引夹持系统,引线机构位于传送机构的下方,传送机构用于将鞭炮盘传送至预设位置,驱动机构用于驱动传送机构和传动机构,上夹持系统的上夹持橡胶块和剪切系统的刀具分别用于夹持松开引线和剪切引线,且均通过传动机构实现水平往复运动,牵引夹持系统的下夹持橡胶块用于夹持松开引线并通过传动机构实现水平和竖直往复运动。本发明可实现机械自动化功能、结构简单且布局紧凑、运行可靠、安全性高、引线剪切效率和剪断率较高。
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公开(公告)号:CN107671194B
公开(公告)日:2019-02-15
申请号:CN201710842247.1
申请日:2017-09-18
Applicant: 湖南大学
IPC: B21D43/11
Abstract: 本发明涉及一种用于冲压模具的尾料传送装置,包括:电机(1),电机齿轮(2),曲柄齿轮(3),连杆(4),控制滑块(5),导轨(6),机械手(7),传感器(10),其中:电机齿轮(2)和曲柄齿轮(3)组成了减速器系统,减速器系统装配在电机(1)上;曲柄齿轮(3),连杆(4)和控制滑块(5)成了曲柄滑块系统,曲柄滑块系统通过曲柄齿轮(3)与电机齿轮相配合并装配在导轨(6)上。该传送装置在不对原有模具结构进行改动的前提下完成对冲制尾料的利用,增加了材料的利用率,降低了生产成本,节约了能源,减少了材料尤其是贵重材料的浪费。
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公开(公告)号:CN107695191B
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201710961211.5
申请日:2017-10-11
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供了一种多工位级进模具的尾料送料装置,包括上模部分、卸料部分和下模部分,其特征在于:上模结构包括上模座(1)、限位柱(3)、上垫板(4)、第一导柱(5)、凸模(8)、内传力组件(10);卸料部分包括卸料板座(6)、导正钉(7)、小卸料板(9)、内导柱(11)、外传力组件(12);下模部分包括凹模板(13)、下模座(14)、内导柱套(15)、倒置导正钉孔(16)、外导柱套(17);本发明能够实现对剩余尾料的传送和加工利用,在保证条带冲制精度的基础上保证了模具工作过程的可靠、稳定,能广泛应用于各种多工位级进模的剩余尾料的后续加工利用。
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公开(公告)号:CN107661941B
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201710854391.7
申请日:2017-09-20
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供了一种用于多工位级进模冲制长窄形带料的尾料送料系统,其包括运动机构、尾料送料执行机构,运动机构包括第一气缸(1)、第二气缸(2)、第一推杆(3)和第二推杆(4),尾料送料执行机构包括底座(5)、托板(6)、第一连杆(12)、第二连杆(13)、第一销钉(14)、第二销钉(15)、第三销钉(16)和回位弹簧(8)、滑块(9)、第一导正钉(10)、第二导正钉(11)和固定板(17);第一导正钉(10)和第二导正钉(11)安装固定在滑块(9)上;该方案利用简单的机械结构实现对剩余尾料的传送和加工利用,在保证条带冲制精度的基础上保证了模具工作过程的可靠、稳定。
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公开(公告)号:CN107377736B
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201710850655.1
申请日:2017-09-20
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明公开了一种实现无尾料冲制的钩式拉料料带传送装置,包括钩式拉料部分、传感部分和切断部分,钩式拉料部分包括拉料钩(7)、拉丝弹簧(8)、圆柱销(9)、斜楔机构(10)、活动滑块(11)、导轨板(12)、复位拉簧(15)、导轨槽(16);传感部分具体包括电磁阀(1)、上模座附属结构(2)、传感器(3)、拉料钩压头(4)、弹簧(5);切断部分具体包括切断凸模(13)、切断凹模(17),用于完成尾料(6)的切断操作。本发明能够在模具冲制过程中充分利用料带的尾料部分,在保证冲制过程稳定性和可靠性的同时,避免出现材料的浪费,从而在大规模、成批量的零部件生产过程中节约成本。
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公开(公告)号:CN107633132A
公开(公告)日:2018-01-26
申请号:CN201710839583.0
申请日:2017-09-18
Applicant: 湖南大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开一种结构所受空间分布动态载荷的等效识别方法。首先,利用本征正交分解将时间与空间耦合的分布动态载荷分解成一系列时间与空间独立的子载荷;其次,对结构响应进行测量,通过模态变换获取模态响应,并结合正则化方法对模态载荷进行准确稳定识别;再次,对识别的模态载荷进行盲源分离,获取有限个等效集中动态载荷的时间历程,并计算其混叠系数;最后,考虑混叠系数为载荷空间分布函数与结构模态振型的内积,对其进行稀疏分解,识别等效集中载荷的空间位置。本发明为难以测量的空间分布动态载荷提供了一种有效的等效识别方法,所识别的等效集中载荷施加于结构时,能产生与原空间分布动态载荷相同的输出响应。
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