公开(公告)号：CN103383526B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201310153408.8

申请日：2013-04-27

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  成荣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  田丽 ,  张利 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  赵彦坡 ,  秦慧超 ,  胡清平

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种粗精动叠层工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有精动台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和精动台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用四组，四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块相间布置。第一种电磁力驱动模块的永磁体、轭铁和永磁体骨架及四组第二种电磁力驱动模块的永磁体、永磁体骨架共同组成精动台的动子部分；四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块的线圈和线圈骨架及微动台基座共同组成精动台的定子部分。本发明具有结构更加简单、紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。

公开(公告)号：CN103701403A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310750666.4

申请日：2013-12-31

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  刘召 ,  刘峰 ,  徐登峰 ,  支凡 ,  胡金春 ,  成荣 ,  杨开明 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华

IPC: H02P31/00 ,  H02N15/00

Abstract: 一种多通道线圈电流切换的装置，包含控制模块和多路电子开关，控制模块含有多路输出接口，每路接口连接一个电子开关；电子开关通过输出接口的控制信号做出闭合或者断开动作，实现线圈与驱动器之间的导通或者断路。控制模块具有通讯接口，可以与主机进行通讯，根据控制指令给出多路控制信号，控制相应的线圈通电或者断电，从而实现线圈切换。与现有技术相比，该电流切换的装置能够实现多路线圈的切换，每路电子开关相互独立，能够实现任意规律的线圈电流切换。

公开(公告)号：CN103454864A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310390450.1

申请日：2013-08-30

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  田丽 ,  张利 ,  秦慧超 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  赵彦坡 ,  胡清平

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种粗精动一体的磁浮掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括掩膜台、驱动电机和机架；驱动电机为动铁式磁浮平面电机，驱动电机的永磁体阵列和掩膜台连接在一起，组成了该掩膜台系统的动子部分；驱动电机的线圈阵列和机架连接在一起，组成了该掩膜台系统的定子部分；驱动电机可实现该掩膜台系统的六自由度运动，平面光栅尺则作为该掩膜台系统的测量传感器用于掩膜台的位置反馈测量。粗精动一体磁浮掩膜台在减小了掩模台体积的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。

公开(公告)号：CN103439867A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201310388961.X

申请日：2013-08-30

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

Inventor： 朱煜 ,  刘召 ,  张鸣 ,  成荣 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于光刻机工件台的线缆台，主要应用于半导体光刻机中。该线缆台含有从平面电机引出的线缆束、X方向和Y方向直线导轨滑块机构、X方向直线电机和Y方向驱动装置。Y方向直线导轨滑块机构通过L型连接板与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；线缆束与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；Y方向驱动装置含有微型伺服电机、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构和悬臂支撑杆。本发明的线缆束与平面电机之间没有硬连接，线缆台可自由运动；通过线性光栅尺和光电位置探测器跟随的方式控制线缆台和平面电机动子之间的距离，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，进而降低了线缆束对工作台的响应速度和运动过程中的速度和运动定位精度的影响。

公开(公告)号：CN103186058A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201310048778.5

申请日：2013-02-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  成荣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  刘昊 ,  徐登峰 ,  田丽 ,  张利 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春

IPC: G03F7/20 ,  H02K41/03 ,  G05B19/18

Abstract: 一种具有六自由度粗动台的掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；驱动装置包括两组关于X轴方向对称布置的X方向直线电机和四组同时驱动Y方向和Z方向的两自由度直线电机，实现粗动台的六自由度运动。六自由度粗动台与六自由度精动台配合，在调整掩模台姿态的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。

公开(公告)号：CN103116250A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310048743.1

申请日：2013-02-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  杨开明 ,  成荣 ,  刘召 ,  刘昊 ,  徐登峰 ,  张利 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  胡金春 ,  穆海华 ,  尹文生

IPC: G03F7/20 ,  G01B9/02

Abstract: 带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；该掩膜台系统还包含用于测量精动台台体和测量架之间位置反馈激光干涉仪测量组件，所述的激光干涉仪测量组件由激光光源、光路组件、激光干涉仪和测量架组成，可对该掩膜台系统的运动部分进行实时的六自由度的测量。该掩膜台系统具有结构简单、紧凑，运动部分质量轻从而减小了负载，提高了速度，加速度和控制带宽，配合激光干涉仪测量系统，大大提高了掩膜台系统的运动的精度。

公开(公告)号：CN103105742A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201310048284.7

申请日：2013-02-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  刘昊 ,  张利 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/00 ,  H02K41/02

Abstract: 带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩膜台系统还含有PSD传感器测量系统，该测量系统可测量精动台与粗动台之间相对位置以及测量粗动台与基座之间的相对位置。本发明在调整掩模台姿态的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率，并且测量精度和测量速度也很高，可适应掩模台的高响应速度、高加速度和高运动定位精度。

公开(公告)号：CN102944979A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201210433841.2

申请日：2012-11-02

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  刘召 ,  许玉洁 ,  李玉洁 ,  田丽 ,  张利 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  秦慧超 ,  王平安 ,  尹文生 ,  胡金 ,  穆海华

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个永磁单元由永磁体和轭铁组成，永磁体镶嵌在轭铁中，永磁体骨架与微动台定子固定在一起；支承部分由位于固定部分的正下方的导磁板组成，并与微动台动子连接在一起。本发明所述重力补偿结构具有闭合的磁路，减少了重力补偿结构对周围环境的干扰，并且增加了重力补偿结构与磁浮工件台大行程运动台的halbach磁钢阵列的距离，从而减小了halbach磁钢阵列的磁场对微动台动子的重力补偿效果的影响。

公开(公告)号：CN102880009A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201210324261.X

申请日：2012-09-04

Applicant: 清华大学

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  田丽 ,  张利 ,  秦慧超 ,  王平安 ,  刘召 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  胡金春 ,  尹文生

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种六自由度微动工作台，含有实现微动工作台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用四组，四组第二种电磁力驱动模块与四组第一种电磁力驱动模块相间布置。第一种电磁力驱动模块的永磁体、轭铁和永磁体骨架以及四组第二种电磁力驱动模块的永磁体、永磁体骨架共同组成微动工作台的动子部分；四组第一种电磁力驱动模块和四组第二种电磁力驱动模块的线圈和线圈骨架以及微动台基座共同组成微动工作台的定子部分。本发明与现有技术相比，具有结构更加简单、紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。

公开(公告)号：CN102410337A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201110326617.9

申请日：2011-10-25

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  徐登峰 ,  李强 ,  张鸣 ,  尹文生 ,  杨开明 ,  李玉洁 ,  许岩 ,  田丽 ,  雷忠心 ,  张利

IPC: F16F15/03 ,  F16F15/08

Abstract: 一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构，包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环；其中永磁体垂直方向磁化，且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一个正刚度系统，橡胶片在永磁体斥力的作用下被拉伸构成负刚度系统，二者联合使用构成一个低频隔振机构，单个隔振机构可实现三自由度的低频隔振，三个或四个并联使用可实现六自由度的低频隔振。不需要外界能量输入，更具有在真空中使用的前景。本发明具有结构简单，成本相当低廉，且易于加工制造的特点，可用于光学、声学、生物学、先进制造装备、半导体制造和精密测量等领域。