微型光热驱动的控制装置
    71.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201191326Y

    公开(公告)日:2009-02-04

    申请号:CN200820082778.1

    申请日:2008-01-24

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种微型光热驱动的控制装置。采用激光束照射金属或聚乙烯材料的浅表面产生热区温度分布,使金属或聚乙烯材料产生伸缩,控制激光参数,直接实现对光热驱动机构的驱动。它具有激光控制器,激光束与微型驱动机构的对准定位装置以及光热驱动机构的静态和动态监控装置。本实用新型的优点是提出一种直接用激光实现机构驱动的新方法,驱动源与驱动机构相互独立,不需导线连接,易于微驱动机构的微小化和集成,调节激光控制器,可输出不同占空比、不同频率、不同功率的激光,从而无线控制驱动器产生不同频率的振动和输出不同大小的驱动力或偏转量,整个过程可通过显微监控系统实时在线观察研究,在方法和技术上均是对微型驱动技术的拓展。

    液相原子力显微镜探头
    72.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2624354Y

    公开(公告)日:2004-07-07

    申请号:CN03230892.2

    申请日:2003-04-28

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G01Q30/14

    Abstract: 本实用新型公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统,以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本实用新型液相原子力显微镜探头结构简洁,技术条件易于实现,广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品,既可以在空气中测量,又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。

    一种基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置

    公开(公告)号:CN204740365U

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201520491191.6

    申请日:2015-07-09

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置。装置包括白光光源、第一准直透镜、偏振片、玻璃基底、圆柱阵列、第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪;在玻璃基底上设有圆柱阵列,在玻璃基底下方顺次设有偏振片、第一准直透镜、白光光源,在玻璃基底上方顺次设有第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪。利用单圆柱内形成的局域表面等离子共振效应使得入射光在某一波长处的吸收增强,透射光在对应波长处的透射率受到抑制,从而实现颜色调制。本实用新型具有结构简单,尺寸小易于集成,耐高温辐射,对入射光偏振无关和角度不敏感等优点,在未来的集成数字式显示、投影、成像设备和生物医学检测设备中有良好的应用前景。

    一种普适高精度微结构制备系统

    公开(公告)号:CN204496160U

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201520085074.X

    申请日:2015-02-06

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种普适高精度微结构制备系统及应用方法。本系统采用独特的气体循环系统和散热系统,结合加热系统、位移系统和监控系统,对样品表面进行高精度微结构制备。编制程序由电脑控制压电陶瓷伸缩的位移系统,精度高;监控系统可对加工过程中的各参数进行全程监控;惰性气体循环系统保证了加工过程中样品表面不易被氧化,大幅度提高样品的制备质量;水冷散热系统使得样品的加工可以在高温下进行,从而提高了样品材料选择的普适性。本系统具有成本低,效率高,速度快,精度高和普适性强等优点,在微结构制备领域具有很大的推广和应用前景。

    一种超高分辨率的光学显微成像装置

    公开(公告)号:CN202008549U

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN201020573152.8

    申请日:2010-10-22

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种超高分辨率的光学显微成像装置。采用窄带滤光、环形孔径及暗视场照明相结合的特种照明及显微成像方法,同时设计了不同数值孔径、透过率和滤色特性的环形透光孔径,实现对微纳米尺寸物质的超高分辨率和高对比度的显微成像。它具有LED照明光源、挡光板、环形透光孔、聚光镜、样品台、遮光圆片及显微物镜组成的高分辨率光学显微系统和CCD图像传感器、图像采集卡及计算机组成的显微图像采集、处理系统。本实用新型的优点是既保持常规光学显微镜的实时、直接、无扫描的成像观测方式,同时具有出色的分辨率和图像对比度。

    双元原子力显微镜检测头
    76.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2617004Y

    公开(公告)日:2004-05-19

    申请号:CN03230939.2

    申请日:2003-04-29

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G01Q70/06 G01Q20/02

    Abstract: 本实用新型公开了一种双元原子力显微镜检测头。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本实用新型的双元原子力显微镜检测头可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响,最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品,双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。

    一种快速批量判断块体镁合金力学性能的装置

    公开(公告)号:CN210322580U

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201920833520.9

    申请日:2019-06-04

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开一种快速批量判断块体镁合金力学性能的装置,所述装置包括万能拉伸试验机,压头和模具,所述压头位于模具上方;所述模具包括样品槽、支撑辊、摄像机、支撑辊槽和有机玻璃板搁置台;所述样品槽位于所述支撑辊上,所述支撑辊位于支撑辊槽上,所述有机玻璃板搁置台位于模具下方,所述摄像机位于有机玻璃板搁置台下方。该装置根据录像结果可以知道镁合金样品断裂的先后顺序,进而快速判断所测试的镁合金的抗弯能力。该装置能够一次性快速批量判断块体镁合金的力学性能,装置简单实用,并且效率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    基于相变作用力的金属微驱动器及驱动装置

    公开(公告)号:CN203006933U

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201320012152.4

    申请日:2013-01-10

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器及驱动装置。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器,利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温,微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变,气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化,从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本实用新型原理巧妙,能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能,实现远程非接触式控制,可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。

    一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置

    公开(公告)号:CN202853573U

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201220305479.6

    申请日:2012-06-25

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块,光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块,第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁,支撑横梁下端设有Z向移动轨道,在Z向移动轨道上设有L型固定块,在L型固定块上设有光纤光谱仪探头横梁,在光纤光谱仪探头横梁上设有光纤光谱仪探头,在光纤光谱仪探头右侧设有光学显微镜,光学平台上从下到上顺次设有X、Y步进电控平移台、样品台、待测样品。本实用新型可以实时在线无损地获得光学薄膜样品不同位置的厚度信息。

    一种金属光热驱动微开关
    80.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201966133U

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN201120018370.X

    申请日:2011-01-20

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种金属光热驱动微开关。本实用新型采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关,采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源,将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上,利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变,从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本实用新型的优点是采用LIGA技术制备,微开关精度高,可进行批量生产;可以利用激光直接对微开关进行非接触控制;微开关导电性良好,可直接应用于电路。

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