气体传感器
    72.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105074442B

    公开(公告)日:2017-08-25

    申请号:CN201480015719.0

    申请日:2014-01-14

    CPC classification number: G01N25/00 G01N25/18 G01N33/005

    Abstract: 为了防止因在传感器元件上附着了液体的状态下进行启动造成的传感器元件的恶化、故障,并且为了短时间且低消耗功率地去除液体,气体传感器具备:第一发热体、在上述第一发热体的周围比形成上述第一发热体的面积大地形成的第二发热体,通过将上述第一发热体加热到预定的温度来测量气体的量,在该气体传感器中,在上述气体传感器启动时,加热上述第二发热体,在预定期间内限制上述第一发热体的发热量后,使上述第一发热体上升到上述预定的温度。

    热式流量计
    73.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104053972B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201280067577.3

    申请日:2012-01-18

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6842 G01F1/696 G01F5/00 G01F15/00

    Abstract: 本发明提供减少了传感器元件的污损的热式流量计。该热式流量计具有:传感器元件,其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部,并具备形成于上述薄膜部的发热电阻体;用于设置上述传感器元件的支承部件;和副通路,在其中配置上述支承部件的一部分,将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入,该热式流量计具有引导部件,在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时,该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件,使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。

    进气温度传感装置和流量测量装置

    公开(公告)号:CN104884919A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201380067561.7

    申请日:2013-10-25

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种进气温度传感装置,通过将与温度检测元件串联连接的固定电阻集成到集成电路中,而不需要基准电阻和用于将固定电阻与该基准电阻连接的切换开关,从而实现更小型且高精度的进气温度传感装置。该进气温度传感装置包括:电阻值随进气温度变化的温度检测元件(2);与温度检测元件(2)电连接的集成电路(1);集成到集成电路(1)中的与温度检测元件(2)串联连接的电阻元件(3);存储与电阻元件(3)的电阻值对应的修正信息的可写入存储器(7);和修正处理部(6),其基于存储在可写入存储器(7)中的修正信息,对包含在温度检测元件(2)的输出信号中的基于电阻元件(3)的电阻值的误差进行修正。

    热式空气流量传感器
    76.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104508434A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201380040625.4

    申请日:2013-06-28

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6842 G01F1/6845

    Abstract: 提供流量测定精度高的热式空气流量传感器。该热式空气流量传感器具有测定元件,该测定元件包括:半导体衬底;电绝缘体,其包括在上述半导体衬底上沉积薄膜而形成的发热电阻体、测温电阻体和氧化硅膜;和隔膜部,其是将半导体衬底的一部分除去而形成的,在上述隔膜部上形成有上述发热电阻体和上述测温电阻体,薄膜相对于上述测定元件的面积的占有面积的比率为40%~60%。

    热式湿度传感器
    77.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102004125B

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201010258234.8

    申请日:2010-08-18

    CPC classification number: G01N27/18

    Abstract: 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1),在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部),在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且,基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此,缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。

    热式流量传感器
    78.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102620781A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210019301.X

    申请日:2012-01-20

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F1/692 G01F1/698

    Abstract: 提供一种实现稳定的启动特性和传感器元件的劣化抑制,具有还可应对发热体的进一步小型化的发热体温度控制单元的热式流量传感器。具有:半导体基板;在半导体基板设置的空洞部;在半导体基板上以覆盖空洞部的方式设置的绝缘膜;由绝缘膜覆盖空洞部而形成的薄膜区域;在绝缘膜上的薄膜区域设置的发热电阻体;设置在绝缘膜上的薄膜区域上且电阻值根据温度而变化的第1感温电阻体;基于第1感温电阻体温度来控制发热电阻体温度的发热控制单元;设置在发热电阻体的附近且电阻值根据温度而变化的第2感温电阻体;和基于第2感温电阻体温度来检测流体流量的流量检测单元,发热控制单元基于第1感温电阻体的目标温度和保护温度,控制发热电阻体的温度。

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