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公开(公告)号：CN109465739A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811537196.2
申请日：2018-12-14
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种半导体晶片光电化学机械抛光加工方法及其加工装置，晶片通过导电胶粘接固定在抛光头上，晶片再其下方通过导电滑环内外圈的导线连接外电源正极。抛光垫粘贴在对电极盘底部，对电极盘固定在抛光盘底部且与抛光盘对应位置加工有通孔，对电极盘通过其上方的导电滑环内外圈导线连接外电源负极。紫外光源发出的紫外光可以透过通孔照射到晶片表面，抛光液也可以喷射入通孔进入晶片与抛光垫的接触区。本发明设计的光电化学机械抛光加工装置可较好地实现本发明中涉及的加工方法，加工装置具有操作简单，实现容易，工艺参数可灵活调节的优点，加工氮化镓晶片的实际加工中可取得去除速率快，加工后表面质量好的效果。
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公开(公告)号：CN109227388A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811096546.6
申请日：2018-09-19
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B53/12
摘要： 本发明公开了一种环抛机盘面修整系统及其工作方法，所述系统包括主电源、工控机、运动控制卡和车刀集成装置；所述工控机的输出端经运动控制卡与车刀集成装置的输入端连接，所述车刀集成装置的输出端与工控机的输入端连接。所述工控机安装盘面修整控制系统。本发明在抛光盘作匀速旋转运动时车刀集成装置作直线插补运动，车刀装置运动简单，在单步修整过程的运动精度可达0.002mm，在抛光盘半径范围的运动精度可达0.01mm。修整过程中车刀集成装置的进给量可由修整前对盘面的测量获得，在测量动作结束后立即进行在位修整，节约抛光盘装卸时间，避免重复装卸对抛光盘安装精度产生的影响，可实现抛光盘的多次可控性修整，提高经济性。
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公开(公告)号：CN106881609B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201710105540.X
申请日：2017-03-01
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明一种薄壁平板磁流变液柔性支撑方法属于薄壁件装夹技术领域，涉及一种薄壁平板磁流变液柔性支撑方法。该方法首先将薄壁平板装夹至阵列式可控励磁夹具上，并对薄壁平板可靠密封；然后，通过抽真空，构建薄壁平板与夹具体间真空负压环境，在设定外压下，实施磁流变液自动灌注；最后，通过多路开关控制位置编码的阵列式励磁单元，磁流变液励磁相变，完成励磁区域固化支撑。该方法中磁流变液励磁工作于挤压模式，弹性模量更高，保证了支撑刚性；磁场控制模块由阵列式励磁单元组成，通过对励磁单元位置编码，可实现单元、分区、整体等多模式励磁要求；可实现薄壁平板的柔性装夹。
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公开(公告)号：CN108637382A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810476986.8
申请日：2018-05-17
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种蜂窝材料大切入角低损伤的加工刀具及加工方法，所述的加工刀具包括有齿刀盘和刀杆部件，有齿刀盘的刀齿具有主切削刃、副切削刃和侧刃。本发明采用圆盘形刀具切削加工蜂窝材料，根据理论计算确定刀具与工件孔格的位置关系，使加工过程中单层孔壁处切入角范围尽可能接近90°≤θ＜165°，有效降低表面毛刺，并利用具有正刃倾角的加工刀具，使切入点位置内移，避免缺陷扩展形成孔壁撕裂，实现蜂窝材料型面、倒角、切边的低损伤加工。本发明的加工刀具可有效切断蜂窝材料面内低刚度的复杂孔壁结构，减少表面毛刺；此外，主切削刃刃倾角有利于切入点位置内移，避免缺陷扩展形成较长孔壁撕裂。
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公开(公告)号：CN108418315A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810186043.1
申请日：2018-03-07
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种非接触式旋转超声加工能量传输及反馈信号采集的装置和方法，所述装置包括固定端和旋转端，旋转端包括旋转端磁芯和旋转端线圈；固定端包括超声能量传输单元和超声反馈信号采集单元；超声能量传输单元包括超声能量传输单元磁路和超声能量传输单元线圈；超声反馈信号采集单元包括超声反馈信号采集单元磁路和超声反馈信号采集单元线圈。本发明将超声能量传输信号与超声反馈信号分离，对旋转端电信号进行采集，可实时反馈并调整超声加工过程中谐振状态及快速响应失谐状态下的谐振跟踪。
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公开(公告)号：CN108393654A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810033354.4
申请日：2018-01-15
申请人： 大连理工大学
CPC分类号： B23P15/00 , B22F3/1055 , B33Y10/00
摘要： 本发明属于制造工艺技术领域，提供一种微细结构的制造方法，将增材制造(3D打印)与精密加工技术相结合，制造具有微细结构的器件，步骤为：(1)制备样件并对需要生成微细结构的表面进行加工；(2)采用3D打印技术将金属粉末打印在第一步切割出的铣削路径上，得到初始状态的微细结构。(3)对3D打印的结构进行加工，获得满足精度要求的微细结构，进一步进行抛光，提高表面质量。本发明可以克服传统MEMS制造工艺和机械加工过程的缺点。提高了加工精度和效率，改善了加工表面质量，而且降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN108356289A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810157260.8
申请日：2018-02-24
申请人： 大连理工大学
CPC分类号： B23B1/00 , B23B5/00 , B23B2270/10
摘要： 本发明公开了一种蜂窝芯凸台结构的超声切削方法，其特征在于具有如下步骤：S1、孔格端面精加工；S2、轮廓成形加工；S3、划切分块加工；S4、蜂窝芯凸台结构外部材料去除加工；S5、蜂窝芯凸台结构阶梯面精加工。本发明改变了传统的蜂窝芯切削加工方式，避免了传统切削带来的加工缺陷，提高了蜂窝芯凸台结构加工质量和加工效率。
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公开(公告)号：CN108161645A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201810010953.4
申请日：2018-01-05
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B13/00 , B24B13/005 , B24B1/00
摘要： 本发明公开了一种低刚度高精度平面镜的工件旋转法磨削装置及方法，所述的装置包括变形量测量装置和超精密磨床，变形量测量装置包括真空泵、多孔陶瓷真空吸盘和轮廓仪。所述的方法包括以下步骤：变形量测量；砂轮主轴倾角大小反求和磨削。由于本发明直接测量低刚度平面镜在真空吸附时产生的变形量，夹持过程简单，无需设计专用夹具，不受工件初始面形差异的影响，通用性好，降低了传统低刚度平面镜加工过程中对夹持方法和专用夹具的设计要求。由于本发明结合基于工件旋转法的磨床主轴相对工件的倾角可调和这种加工原理的优势，进行变形量的抵消，不仅能够实现高精度面形的低刚度平面镜加工，也能够实现对低刚度平面镜加工后面形的预测和控制。
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公开(公告)号：CN107877352A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201710994803.7
申请日：2017-10-23
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B37/00
CPC分类号： B24B37/00
摘要： 本发明公开了半导体晶片光电化学机械抛光装置，包括抛光头，用于与晶片表面相接触并进行加压；抛光液池，用于固定晶片并盛装化学抛光液；第一驱动传动部，连接抛光液池，用于带动抛光液池定轴回转；第二驱动传动部，连接抛光头，用于带动抛光头定轴回转；抛光头位于抛光液池的上方；紫外光源，位于抛光液池的上方，向下辐射晶片；支撑部，用于支撑和固定所述抛光头、抛光液池。本发明采用了紫外光在线辐照晶片表面方式，在抛光过程中始终照射晶片表面，可以高效地氧化改性晶片，再通过抛光垫和磨粒机械性地去除氧化改性层，进而提高整个抛光过程中的去除速率。
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公开(公告)号：CN107796332A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201711001309.2
申请日：2017-10-24
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种从蜂窝芯表面测量数据中识别蜂窝边区域的方法，包括如下步骤：—获得蜂窝芯表面的三维面形数据，—建立蜂窝芯的平面图像，进行蜂窝芯顶点的识别；并将图像缩小一定比例识别顶点；根据测量数据确定角点检测算法的阈值；—对识别的顶点逐个分析，确定以其为端点的蜂窝边；为分析角点建立搜索窗口；判断分析角点的类型；确定分析角点的目标角点；为蜂窝边建立矩形区域。
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