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公开(公告)号：CN111490160B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202010322444.2
申请日：2020-04-24
Applicant: 合肥工业大学 , 复旦大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开一种微型电容器及其制备工艺方法，一种微型电容器包括在基底上卷曲成多圈筒状的本体；本体自外向内依次包括第一保护层、应力层、应变导电层及第二保护层；应力层用于使本体卷曲，应变导电层为具有相变性质的良导体材料制成的交指结构的电极，相邻两圈之间交叠的电极形成电容。另一种微型电容器，包括在基底上卷曲成多圈筒状的本体；本体自外向内依次包括第一保护层、应变层、应力层、导电层及第二保护层；应力层用于使本体卷曲，应变层由具有相变性质的氧化物制成，导电层为交指结构的电极，相邻两圈之间交叠的电极形成电容。该微型电容器具有较大的电容值可调范围，使其可以在射频电容器和微型超级电容器之间转换，且具有较小的尺寸。
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公开(公告)号：CN113907831A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111120525.5
申请日：2021-09-24
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种基于记忆合金的螺旋微机器人，该螺旋微机器人包括头部以及与头部相连的螺旋尾部，头部由磁性材料制备而成，螺旋尾部由形状记忆合金制备而成。与现有技术相比，本发明中，螺旋微机器人可以在磁性头部和螺旋尾部的协同下以开瓶器型方式无疆推进，并且在自驱动过程中，预先设计的记忆合金螺旋尾部实时响应热激励而发生目标变形行为。本发明利用自驱动微机器人变形为功能单元的策略实现了血管内的微创治疗，制备和驱动成本低，过程可控，生物相容，在血管治疗领域有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN112480309A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011346654.1
申请日：2020-11-25
Applicant: 复旦大学
IPC: C08F220/20 , C08F220/54 , C08F222/14 , C08F220/06 , C08F220/58 , C08F2/48 , C08F2/44 , C08J3/075 , C08K5/23 , C08L33/14 , C08L33/24
Abstract: 本发明属于机器人技术领域，具体为一种可变形智能水凝胶机器人及其制备方法。本发明提供的可变形智能水凝胶机器人由甲基丙烯酸羟乙酯和含有刺激响应官能团的单体通过光引发聚合而成的刺激响应智能水凝胶构成的。该刺激响应智能水凝胶释放到水的表面，由于吸水过程可以产生表面张力梯度，使其实现自主游动。并且用该刺激响应智能水凝胶制造成的游动软机器人可以在不同的外界刺激下进行形状改变，由于变形可以改变运动模式和轨迹。本发明可以制成各种形状的在水面自主运动的游动机器人，并且可以通过形状改变使其具有出色的运动灵活性和对复杂环境的相容性，在医疗和环境保护方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN108051422B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201711164525.9
申请日：2017-11-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种痕量炸药和毒品探测器及其使用方法。其包括微型真空泵、真空盒、加热台、激光拉曼光谱仪和气体传感器；气体传感器由基片和基片上的纳米金属颗粒修饰的自卷曲微米管组成；纳米金属颗粒修饰的自卷曲微米管是首先利用真空镀膜设备制备多层薄膜，然后在合适的温度下退火自卷曲形成。使用探测器进行痕量炸药和毒品探测时，气体传感器置于真空盒加热台上；微型真空泵对真空盒抽气，吸入炸药、毒品等环境中的痕量气态分子，利用激光拉曼光谱仪探测气态分子特征拉曼峰，实现对炸药、毒品等的探测；其后，通过加热抽真空，排除残留气体，循环测量或闲置备用。本发明的探测装置精巧、超高灵敏，尤其适用于反恐、侦察等公共安全领域。
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公开(公告)号：CN105758800B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201610128635.9
申请日：2016-03-07
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器及其制备方法。本发明制备方法包括：在干净基片上光刻图形；沉积具有内应力的金属薄膜和氢气体积膨胀效应的金属薄膜；选择性腐蚀薄膜与基片间的牺牲层得到卷曲薄膜。本发明的光学氢气检测器利用通入氢气后薄膜卷曲的曲率半径增加或由卷曲形态转变为平展状态引起肉眼可见的颜色变化，实现对氢气的检测功能。本发明在检测过程中没有电流传输，更加安全，能够不附加能源及设备对氢气进行实时监测并将结果直观反映出来；制备方法较为简单，可适用于工业生产中，具有实际应用意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108831952A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810641931.8
申请日：2018-06-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/11 , H01L31/112 , H01L31/18 , B82Y15/00
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域，具体为一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、制备方法和应用。本发明采用先器件、后转移的制备方法，将按照标准半导体工艺制备的单晶硅纳米薄膜电子器件/阵列整体转移到带有瞬态功能层的聚酰亚胺薄膜柔性衬底上面。本发明制备方法具有与当前IC工艺兼容、结构规模可任意调整、适合工业化放大生产的优势。本发明通过栅极调控沟道能带，该器件光电流与暗电流比值可以超过106。通过制备过程中添加PAMS功能层，实现加热触发器件自损毁的瞬态过程。本发明为大批量获取高灵敏柔性光电探测器，及适应高温环境的瞬态器件、在芯片上集成电路保护、信息安全、传感/控制系统等领域奠定了基础。
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公开(公告)号：CN104538490B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410763321.7
申请日：2014-12-14
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于半导体薄膜的高灵敏度光电探测器件及其制备方法。制备方法包括：在衬底上制备有机物牺牲层、半导体薄膜功能层，并且通过沉积参数的控制，使薄膜弯曲成管道结构；在管道结构上制备金属电极。将该结构置于光学辐射环境中，由于管状结构光学微腔中存在着谐振模式，可以显著增强半导体薄膜的光学吸收，从而得到高灵敏度的光电探测器件。该探测器件无角度依赖，灵敏度高，制备方便，在光电转换，夜视成像，环境监测，太空探测等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN102431966B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201110443627.0
申请日：2011-12-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种管状多孔微米马达及其制备方法和应用。本发明多孔微米马达的制备步骤为：阳极氧化制备表面具有纳米孔阵列的氧化铝膜；在阳极氧化铝膜上沉积具有预应力梯度多层薄膜；对多层薄膜进行图形化处理；选择性地腐蚀多层薄膜下的多孔阳极氧化铝，多层薄膜自卷曲成为管壁具有纳米孔洞的微米管；将多孔微米管转移到溶液中，成为微米马达；这种特殊结构的多孔微米马达具有大的表面积、更高的催化效率以及更快的运动速度；利用磁场可以对微米马达的运动方向进行控制以用于微纳级别物体的输运。这种高速运动微米马达在药物输运、生物探测和分离、单细胞分析等方面具有巨大的应用前景。
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公开(公告)号：CN102660763B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201210136973.9
申请日：2012-05-07
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明属于光催化技术领域，具体为一种高催化性质TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法及应用。其步骤为：先清洗Ti片表面；再用阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列薄膜；然后将TiO2纳米管阵列薄膜置于氧化铝坩埚中；然后将氧化铝坩埚中放入管式炉中，通入适当的气氛，同时在气氛中掺入水蒸汽得到混合气体，进行热处理；冷却后取出，即得。本发明工艺简单，制备温度低，所得TiO2纳米管阵列薄膜具备比纯气体气氛退火的样品具有更好的锐钛矿结晶性，及更高的光催化降解能力，为二氧化钛纳米管阵列薄膜的应用开辟了新的前景。
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公开(公告)号：CN103774088A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410049433.6
申请日：2014-02-13
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种SERS探针分子自收集微管及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力的不同材料的薄膜层；其中沉积的薄膜层材料或可提供较好的SERS特性，或可催化分解H2O2生成氧气；选择性地除去在薄膜层和衬底之间的牺牲层，释放薄膜并卷曲成为微管；将微管浸没在含有适量偶联剂的溶液中若干时间，在微管外表面形成自组装单层膜，最终得到SERS探针分子自收集微管。该器件可用于溶液中探针分子的收集与检测。探针分子的SERS信号由拉曼光谱仪测量获得。
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