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公开(公告)号：CN1253285C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200410013586.1
申请日：2004-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。
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公开(公告)号：CN118310911A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410449409.5
申请日：2024-04-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种导电滑环多功能真空摩擦磨损实验装置及使用方法，属于摩擦测试技术领域。机架上安装有动力驱动模块，动力驱动模块上安装有摩擦磨损模块，摩擦磨损模块设置在真空腔内，使摩擦磨损模块在模拟真空环境内对滑环转子进行摩擦磨损实验，并在摩擦磨损模块的滑环转子夹具设置温控模块，并为摩擦磨损模块连入润滑调节模块、测量控制模块、信息采集模块。测试中真空腔内温度、气压、通入电流、润滑剂通入时间、刷‑滑环摩擦时间、摩擦角度、接触力和接触角度均可控制调节，实验结束可直接导出对应工况下摩擦系数曲线，满足大部分导电滑环摩擦学实验测试需要，为模拟特殊工况的导电滑环摩擦磨损研究提供更多的基础设备。
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公开(公告)号：CN113406166B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202110672098.5
申请日：2021-06-17
IPC: G01N27/30 , G01N27/416 , G01B7/02
Abstract: 一种基于振动模式的电化学检测装置，涉及一种电化学检测装置。滑槽固定座上竖向滑动安装有滑块并且设有紧固螺栓能够紧固定位，压电促动器竖向固定在滑块上，电容固定器固定在压电促动器底部，调距环与电容固定器下端旋接配合，电容式位移传感器插装在电容固定器内部，锁紧螺钉能够锁紧定位，激振压电陶瓷环固定在调距环底部，柔性铰链夹装固定在上固定环与下固定环之间，边缘固定导电片并连接外接导线，上固定环固定在激振压电陶瓷环底部，定位螺钉安装螺母接头与柔性铰链紧固定位，纳米电极探针固定在螺母接头底部。探针逼近样品表面更加精准安全，并且电容式位移传感器与探针的间距调节方便，保证最佳使用性能。
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公开(公告)号：CN115194955A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210988689.8
申请日：2022-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种碳化硅陶瓷深小孔的超精密加工方法，属于机械加工技术领域，具体包括以下步骤：步骤一、将碳化硅陶瓷块固定在超声辅助磨削机床上；步骤二、在轴向超声振动作用下加工若干个与刀具同直径的深小孔Ⅰ，并留出余量Ⅰ；刀具进给速度为25‑35mm/min，主轴转速为6000‑10000rpm，在入口处降低进给速度至20mm/min，增大主轴转速至10000rpm；步骤三、在出口处降低进给速度至20mm/min，增大主轴转速至10000rpm，并留出余量Ⅱ；步骤四、在轴向超声振动作用下去除余量Ⅰ和余量Ⅱ，刀具进给速度为15‑20mm/min，主轴转速为8000‑10000rpm，获得碳化硅陶瓷深小孔Ⅱ。
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公开(公告)号：CN111595517B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010496833.7
申请日：2020-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/38
Abstract: 本发明公开了一种金刚石微径铣刀动平衡测试与修正系统，所述系统包括微磨削工作台和动平衡测量工作台两部分，其中：所述微磨削工作台包括精密气浮隔振平台、底座、精密运动台、压电陶瓷、电控旋转台、弹簧夹头、CCD相机、CCD安装架、竖直方向一维精密导轨、连接板、二维精密运动平台A、磨削轴安装架、高速磨削主轴、气动夹头A、砂轮磨头、二维精密运动平台B；所述动平衡测量工作台包括光电传感器、工控机、振动传感器、动平衡主轴、气动夹头B和动平衡仪。该系统可以对微铣刀进行动平衡的检测和不平衡量的处理，可以解决金刚石微铣刀在制备或磨损后由于动不平衡量导致微铣削加工过程中精度降低的难题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114034247A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111370970.7
申请日：2021-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于球坐标测量原理的高精度球度仪，属于球度精密测量技术领域。它提供一种检测精度高，检测全面的基于球坐标测量原理的高精度球度仪；该高精度球度仪，包括高精度卧式主轴、非接触式位移传感器及高精度气体静压转台；所述非接触式位移传感器通过夹具一安装在高精度卧式主轴上，所述被测工件通过夹具二安装在高精度气体静压转台上，所述高精度卧式主轴的回转轴和高精度气体静压转台的回转轴相互垂直设置，通过控制着两个相互垂直回转轴的旋转运动可以模拟出球面的成型轨迹，用于完成球面的完整测量。本发明具有更好的精度，无需担心测量角度的问题，能适应全球面检测，可以兼顾直径大小不同的工件。
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公开(公告)号：CN113511627A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110789807.8
申请日：2021-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，在探针尖端加工出凸起阵列；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统中的扫描陶管上，在敲击模式下，探针在扫描陶管驱动下以探针谐振频率沿垂直方向振动敲击样品，使样品发生变形，通过扫描陶管控制探针在X‑Y平面运动，加工出纳米点阵。该方法利用结构化探针加工纳米点阵，一次压痕能够加工出多个纳米点，有效提高了加工效率，克服了相邻压痕挤压作用的影响，而且采用敲击模式实现纳米点的高效加工。
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公开(公告)号：CN113406165A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110672096.6
申请日：2021-06-17
Abstract: 一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法，涉及一种电化学检测系统及检测方法。检测装置固定在Z向位移台上，X‑Y二维气浮平台上固定三维压电位移台，信号发生器控制激振压电陶瓷环的振动，电容式位移传感器测得激振压电陶瓷环的位移变化经电荷放大器处理后传递给锁相放大器，PID控制器将锁相放大器提取的电压幅值信号运算处理后对压电促动器进行控制，压电促动器、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台为上位机提供实时信号，上位机通过UMAC控制器控制Z向位移台、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台。探针以振动模式接近被测样品表面，减小相互作用力不易损坏，Z向闭环反馈功能保证距离恒定，检测更加准确。
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公开(公告)号：CN112296368A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011269485.6
申请日：2020-11-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于压电陶瓷的宏微复合金刚石车刀高度调节刀架，涉及一种车刀刀架。柔性铰链整体为n形结构，两侧设有两个竖向支臂，中间位置顶部设有平板，平板与两个竖向支臂之间通过圆弧形柔性铰链部连接为一体，底板固定在两个竖向支臂底部，压电陶瓷固定在底板上且顶部与平板下表面接触，平板上固定金刚石车刀安装板，支撑板顶部设有水平翼并转动连接调高螺栓，其中一个竖向支臂顶部设有调高螺纹孔，调高螺栓与调高螺纹孔旋接配合，支撑板固定有锁紧T型块和导向块，其中一个竖向支臂设有T型槽和导向槽，支撑板底部固定刀架底座。简单方便，精度较高，有效控制超精密切削中金刚石车刀前刀面的高度调节。
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公开(公告)号：CN110262309B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910368973.3
申请日：2019-05-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042 , B82B3/00 , B82Y40/00 , G01B7/02 , G01B7/28
Abstract: 本发明公开了一种适用于微纳检测加工模块的控制系统及方法，所述系统包括微纳双模检测加工模块、三坐标工作台、PZT驱动器、UMAC、电荷放大器、锁相放大器、XY压电扫描台、路由器、上位机、CCD、XY向位移传感器和Z向位移传感器。本发明选用UMAC作为控制核心，利用其高性能伺服环、可扩展性强、集成度高特点，实现宏‑微联动控制，采用模拟信号方式，保证信号处理、传输的实时性，满足设计需求。本发明通过对电容式位移传感器信号放大、锁相处理，作为闭环控制参考信号，该方式测试结果精确、对测试环境要求较低，可以实现μN级闭环控制。锁相放大器的使用排除了电容式位移传感器测试结果中的噪声信号，利于闭环精确控制。
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