公开(公告)号：CN113426500A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110791031.3

申请日：2021-07-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 耿延泉 ,  李子翰 ,  闫永达

IPC: B01L3/00

Abstract: 本发明公开了一种基于纳米波纹结构的纳流控芯片的制备方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、使用AFM在聚碳酸酯薄膜表面进行往复扫描加工，通过控制探针的运动轨迹得到纳米波纹结构；步骤二、以PDMS和固化剂为转印材料，通过PDMS转印得到带有纳米通道阵列的PDMS片；步骤三、采用光刻法在单晶硅基底上加工微通道结构，通过PDMS转印得到带有微通道的PDMS片；步骤四、采用氧等离子体清洗机对带有纳米通道阵列的PDMS片和带有微通道的PDMS片进行键合，得到带有纳米通道阵列的纳流控芯片。本发明的加工方法简单、通道深宽比可控，制备出的带有纳米通道阵列的纳流控芯片具有更高的灵敏。

公开(公告)号：CN113511627A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110789807.8

申请日：2021-07-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 闫永达 ,  李子翰 ,  刘宇 ,  耿延泉 ,  胡振江

IPC: B81C1/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，在探针尖端加工出凸起阵列；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统中的扫描陶管上，在敲击模式下，探针在扫描陶管驱动下以探针谐振频率沿垂直方向振动敲击样品，使样品发生变形，通过扫描陶管控制探针在X‑Y平面运动，加工出纳米点阵。该方法利用结构化探针加工纳米点阵，一次压痕能够加工出多个纳米点，有效提高了加工效率，克服了相邻压痕挤压作用的影响，而且采用敲击模式实现纳米点的高效加工。

公开(公告)号：CN113466208A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110790762.6

申请日：2021-07-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 耿延泉 ,  李子翰 ,  刘宇 ,  闫永达 ,  赵学森

IPC: G01N21/65

Abstract: 本发明公开了一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，使金刚石探针修饰为具有豁口的结构化金刚石探针；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统上，以恒定法向载荷压入样品表面，通过运动平台控制加工轨迹，使结构化探针在标准进给量下多次刻划，加工出纳米结构阵列。本发明采用结构化探针制备基底，一次刻划后能够加工出两路纳米沟槽，相比于单针尖探针，采用结构化探针制备基底的方法效率更高。本发明中探针是利用现有探针加工而成，相比于原有探针具有更小的加工尺寸，在给定载荷下能够加工出更小的纳米结构，且相邻结构间隙更小，拉曼增强效果更好。