公开(公告)号：CN110100317A

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201680090730.2

申请日：2016-12-13

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 三田怜 ,  桥上洋 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/18

Abstract: 提供一种背面接触型太阳能电池单元，其在第一导电型的半导体基板的作为非受光面的背面上形成有扩散第二导电型的杂质的杂质扩散层，所述背面接触型太阳能电池单元设置有与所述杂质扩散层连接的电极，其中杂质扩散层中杂质的表面浓度为5×1017原子/cm3以上且5×1019原子/cm3以下，杂质扩散层中杂质的扩散深度为从所述基板背面的表面起1μm以上且2.9μm以下。由于该构造，可以提供能够以低成本且利用简便的方法制造的高效背面接触型太阳能电池单元。

公开(公告)号：CN110050352A

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201680090581.X

申请日：2016-11-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 桥上洋 ,  植栗丰敬 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/321 ,  H01L31/068 ,  H01L31/028 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/02 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明是一种太阳能电池的制造方法，其具有下列步骤：于半导体基板的第1主表面形成第1电极的步骤，及以覆盖前述第1电极的至少一部分的方式涂布绝缘膜前驱物的步骤，及使前述绝缘膜前驱物暂硬化的步骤，及于至少前述绝缘膜前驱物上，以与前述第1电极电绝缘的方式涂布导电性糊料的步骤，及使前述导电性糊料硬化来作为第2电极的步骤，以及使前述绝缘膜前驱物正式硬化来作为绝缘膜的步骤，将前述导电性糊料以与前述第1电极电绝缘的方式进行涂布的步骤在使前述绝缘膜前驱物暂硬化的步骤之后进行，使前述导电性糊料硬化来作为第2电极的步骤的至少一部分与使前述绝缘膜前驱物正式硬化来作为绝缘膜的步骤的至少一部分同时进行。由此，可提供生产性高、且具有高光电转换特性的太阳能电池的制造方法。

公开(公告)号：CN109891599A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201680090321.2

申请日：2016-10-25

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 渡部武纪 ,  森山隼 ,  桥上洋 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/068

Abstract: 本发明是一种太阳能电池，在有第一导电型的半导体基板的第一主表面，具有有前述第一导电型的基极层，及邻接在前述基极层、有与前述第一导电型相反的导电型即第二导电型的射极层，且具有与前述基极层电性地连接的基极电极、及与前述射极层电性地连接的射极电极的太阳能电池，其特征在于，在前述第一主表面上，具有接在前述基极层及前述射极层的介电体膜；具有被配置成覆盖前述射极电极，而且位于前述介电体膜上、至少在前述基极层上有间隙的第一绝缘膜；具有至少位于前述第一绝缘膜上的基极用汇流条电极；前述第一绝缘膜的间隙的距离为40μm以上(W+110)μm以下(但是，W为间隙方向的基极层的宽幅)。由此，可以抑制绝缘材料的消耗，而且使基极用汇流条电极与基极电极的电性接触保持良好，同时可以使基极用汇流条电极与射极领域因接触所造成的并联电阻降低轻微，且使太阳能电池特性提升。

公开(公告)号：CN106796964B

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201580044524.3

申请日：2015-06-12

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0256 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/068 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明是一种太阳能电池，其具有掺杂有镓且形成有pn结的硅基板，所述太阳能电池的特征在于，在所述硅基板的主表面中的至少具有p型区域的第一主表面设置有热氧化硅膜，并且所述硅基板进一步掺杂有硼。由此，本发明提供一种太阳能电池及太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池具有作为基板表面钝化膜的热氧化硅膜，并且能够抑制光劣化，同时具有高转换效率。

公开(公告)号：CN107078178A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580060359.0

申请日：2015-10-13

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 大塚宽之 ,  渡部武纪

IPC: H01L31/068 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种太阳能电池，其具备P型硅基板，所述P型硅基板以一个主表面为受光面并以另一个主表面为背面，在所述背面上具备电介质膜，并且，所述P型硅基板在所述受光面的至少一部分具有N型导电型层，所述太阳能电池的特征在于，所述P型硅基板为掺有镓的硅基板，在所述P型硅基板的所述背面含有扩散的第III族元素。由此，本发明提供一种太阳能电池及其制造方法，所述太阳能电池具备掺镓基板且转换效率优异。

公开(公告)号：CN106463549A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580030808.7

申请日：2015-04-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 远洞阳子 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0224 ,  H01L21/28 ,  H01L31/068

CPC classification number: H01L31/022458 ,  H01L21/28 ,  H01L31/0201 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/068 ,  Y02E10/50

Abstract: 一种太阳能电池，其在基板的与受光面相反的面上，形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，所述太阳能电池具备：第1电极部、第2电极部、第1电极线部、第2电极线部、第1电极母线部及第2电极母线部；在第2电极部与第1电极母线部交叉的区域，以覆盖第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，在第1电极部与第2电极母线部交叉的区域，以覆盖第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜，在第1绝缘膜的正下方，线状地连续形成第2电极部，在第2绝缘膜的正下方，线状地连续形成第1电极部。由此，提供一种配线电阻低、转换效率高的背面电极型太阳能电池及能够以低成本制造这种背面电极型太阳能电池的太阳能电池的制造方法。

公开(公告)号：CN104521003B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201380042132.4

申请日：2013-07-30

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 高桥光人 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/068 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/02168 ,  C23C16/452 ,  C23C16/50 ,  C23C16/52 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种生产率良好地形成钝化效果优良的由氮化硅构成的反射防止膜的太阳能电池的制造方法，其特征在于，使用具备成膜室(101)、具有使氨气激发的激发部(111a、112a)和对激发了的氨气导入硅烷气体而活性化的活性化反应部(111b、112b)的等离子体室(111、112)、以及针对每个等离子体室(111、112)调整氨气和硅烷气体的流量比的流量控制器(113)的远程等离子体CVD装置(100)，在成膜室(101)中输送半导体基板(102)的同时，通过来自第一等离子体室(111)的等离子体流，在半导体基板(102)上形成第一氮化硅膜，接着通过来自导入了流量比与第一等离子体室(111)不同的氨气和硅烷气体的第二等离子体室(112)的等离子体流，形成组成与第一氮化硅膜不同的第二氮化硅膜。

公开(公告)号：CN105934828A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201480074059.3

申请日：2014-12-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 三田怜 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/068

CPC classification number: H01L31/022441 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/068 ,  Y02E10/547

Abstract: 为了提供一种具有低成本、高可靠性和高转换效率的太阳能电池单元。一种太阳能电池单元的制造方法，其中：第二导电型层和防反射膜通过层叠于第一导电型半导体基板上形成；将含有导电性颗粒和玻璃粉的导电性糊剂涂布至所述防反射膜的规定位置；和通过将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板烧结形成电极；所述电极贯通所述防反射膜并且电连接至所述第二导电型层。在所述烧结之后即刻而不是回复至室温，将已涂布有所述导电性糊剂的半导体基板连续地加热处理。

公开(公告)号：CN103348489B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201180066540.4

申请日：2011-12-21

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 三田怜 ,  远洞阳子 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0224

CPC classification number: H01L31/18 ,  B41P2215/50 ,  H01L31/022425 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供了太阳能电池元件的制造方法，其可谋求提高在丝网印刷工序中形成的集电极的膜厚，且降低其电阻值，并对转换效率的提高做出贡献。当通过导电性糊的丝网印刷形成太阳能电池元件的集电极时，多次重复该丝网印刷处理。此时，使第二次以后的丝网印刷时的刮涂速度等于或高于第一次丝网印刷时的刮涂速度。在第一次印刷的集电极上重叠进行第二次以后的丝网印刷，因此，刮涂速度越快，糊和基底的印刷板脱离越好，糊的涂布量增大，所形成的集电极的膜厚变厚。

公开(公告)号：CN103026480B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201180036171.4

申请日：2011-06-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 三田怜 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L21/67 ,  F27B9/24 ,  H01L21/677 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/18 ,  F27B9/243 ,  F27B17/00 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/1864 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 公开了一种燃烧炉，用于烧制太阳能电池元件的电极，所述燃烧炉设置有：传送部件，其传送有导电膏涂于其上的衬底；加热区，其加热衬底并且烧制导电膏；以及冷却区，其冷却热衬底。该燃烧炉还设置有用于加热传送部件的加热装置。具体地，在使用线材型燃烧炉烧制导电膏时，由于线材是在基本等于加热区周围温度的温度上被烧制的，因此抑制了由于导电膏金属成分的沉积材料引起的电极损坏，所述沉积材料被沉积在线材上，以及所述线材型燃烧炉可以被连续使用。