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公开(公告)号：CN114216921A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202110501613.3
申请日：2021-05-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/00
Abstract: 本发明提供催化剂活化能的测试方法，其中，依托集成式自加热谐振悬臂梁获得谐振频率变化量随时间的变化曲线，并转化为谐振频率随温度变化的曲线，以及转换为覆盖度随温度的变化曲线，并在进行一阶微分后，提取极小值时对应的相关参数，而后代入计算公式，即可得到催化剂脱附速率常数及催化剂脱附活化能，从而本发明只需一次程序升温过程就可进行催化剂活化能的测试，且测试结果准确、快速便捷、催化剂样品消耗量少、价格低廉。
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公开(公告)号：CN114184596A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202111499332.5
申请日：2021-12-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种同步热重‑拉曼光谱表征方法，通过具有自加热功能的芯片实时称量升温过程中待测样品的质量变化，得到热重曲线；同时通过显微镜将激光聚焦于待测样品表面，以采集升温过程中待测样品散射的拉曼光谱，实时提取待测样品的结构变化信息。本发明提供的同步热重‑拉曼光谱表征方法，可在热重分析获得待测样品的动力学性质的同时，表征待测样品的结构、物像演变，具有原位、无损、快速、精度高、样品用量少等优势。
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公开(公告)号：CN113884183A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111240609.2
申请日：2021-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/42
Abstract: 本发明提供一种用于透射电镜‑热重关联表征的原位芯片及其制作方法，在主芯片上制作集成加热电阻、增热阻槽和压阻的称重悬臂梁，用以称量悬臂梁上的待测样品的质量变化；在主芯片上制作带有观测孔、主芯片窗口、加热电阻、增热阻槽和压阻的观测悬臂梁以及通过在辅芯片上制作辅芯片窗口，用以观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化；通过TEM样品杆、密封圈、主芯片、辅芯片及气孔的设置，形成密封气体通道，从而本发明可对待测样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，且通过设置的加热电阻可提升对待测样品的加热温度范围，以扩大应用，设置的增热阻槽还可阻断热量向压阻的传递，以在确保对材料加热的同时，降低对压阻的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109682710B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201910067908.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：检测悬臂梁、主芯片凹槽、具有观测孔的观测悬臂梁、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过检测悬臂梁的谐振用以检测位于检测悬臂梁上的待测样品的质量变化；主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间；TEM通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现形貌变化及质量变化的间接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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公开(公告)号：CN111855756A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910350247.9
申请日：2019-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供一种基于Pd-Ag合金纳米晶氢气传感器，包括有金属氧化物敏感材料，所述金属氧化物敏感材料的表面负载有Pd-Ag合金纳米晶颗粒。本发明进一步提供一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器的制备方法及其应用。本发明提供的一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器及其制备方法，能够增强氢气传感器检测氢气的灵敏度，实现协同催化作用，其制备方法简单成熟、易于操作、价格低廉，用途先进、具有现实的应用意义，对易燃易爆气体的检测等有着积极的意义。
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公开(公告)号：CN104897508B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201410081084.6
申请日：2014-03-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明涉及一种功能材料热力学参数的测试方法，为使用谐振式微悬臂梁作为微质量传感器，将功能材料负载于谐振式微悬臂梁的自由端，实时测试功能材料在特定温度下，对不同压力气体的吸附量，得到功能材料的吸附等温线，然后进一步计算所述功能材料的热力学参数，并由得到的热力学参数对所述功能材料进行特性评估；方法先进、具有现实的应用意义，且易于操作、价格低廉的特点。
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公开(公告)号：CN107561201A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201610507286.1
申请日：2016-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法，所述制备方法包括：1）于硅衬底上制作微沟道及微流控端口；2）制作掩膜层保护所述硅衬底上的键合面；3）于所述微沟道内构筑纳米介孔氧化硅；4）将一封装盖板键合于所述硅衬底的键合面上；5）基于所需分离的组分于所述纳米介孔氧化硅表面形成相应的修饰材料。由于纳米介孔氧化硅具有较大的比表面积及孔容，且具有较好的热稳定性及机械强度，本发明将其构筑于硅基微气相色谱柱内，能极大地提高色谱柱的分离效率；纳米介孔氧化硅表面具有高密度的硅羟基（Si-OH），可根据分离对象的不同在其表面进一步构筑具有不同分离功能的单分子层，实现所需的分离效果。
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公开(公告)号：CN102689869B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201110072710.1
申请日：2011-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微梁和敏感微梁，其中，驱动微梁作为驱动电阻，与驱动电源连接，敏感微梁作为敏感压阻，与所述参考电阻区所具有的多个电阻区共同形成电桥；所述驱动微梁与敏感微梁的宽度均远小于主悬臂梁的宽度。该结构工作在平面内谐振模态，通过激励微悬臂梁的平面内谐振模态可减少其在液体环境中工作的阻尼力，提高品质因数，进而改善传感器的检测灵敏度。
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