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公开(公告)号：CN113092543B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202110383829.4
申请日：2021-04-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 许鹏程 , 王雪晴 , 李昕欣 , 陈滢 , 胡嘉豪
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供一种气体传感材料及其制备方法和用途，所述气体传感器材料包括金属氧化物气敏材料和负载在所述金属氧化物气敏材料上的分子筛。本发明中的气体传感材料用于形成氟代烷烃气体检测的传感器的灵敏度非常高。
公开(公告)号：CN113092543A
公开(公告)日：2021-07-09
