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公开(公告)号：CN112558293A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011350345.1
申请日：2020-11-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种紧凑型共光路共焦红外双波段光学系统，包括沿光入射方向依次同轴设置的超表面透镜和探测器，超表面透镜由衬底和微纳结构超表面构成，不同的微纳结构具有相同的高度、指向角度和不同的横截面尺寸；各微纳结构的横截面尺寸基于微纳结构的参数空间和电磁波经过各微纳结构后的相位分布确定；相位分布根据超表面透镜的对双波段的消色差成像要求来确定；参数空间通过基于时域有限差分算法的电磁仿真手段对横截面尺寸进行参数扫描来建立。本发明还提供相应的制作方法。本发明的光学系统利用单片超表面透镜实现中波和长波红外双波段同时满足消色差成像要求，从而显著减小光学系统的体积和重量，降低加工成本和装调校准难度。
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公开(公告)号：CN109682711B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201910067922.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：具有观测孔的悬臂梁、主芯片凹槽、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过悬臂梁的谐振用以检测位于悬臂梁上的待测样品的质量变化；通过将主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，以在主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间，并通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现对同一待测样品的形貌变化观测及质量变化检测，以进行直接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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公开(公告)号：CN112408316A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011314162.4
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种双面超表面结构的制备方法，包括：提供呈镜像关系标记的第一光刻板及第二光刻板，且标记具有正反对准、正反偏移误差测量及下一工艺步骤对准的功能；提供衬底，并将呈镜像关系标记的图形分别转移至衬底两面，得到第一衬底样品；筛选出偏移误差在需求范围内的第一衬底样品，得到合格的第一衬底样品；将合格的第一衬底样品放入下一步骤所用光刻设备中，识别合格的第一衬底样品上具有下一工艺步骤对准功能的标记，并将双面超表面结构图形版图分别转移至合格的第一衬底样品的正反两面，得到第二衬底样品并刻蚀得到双面超表面结构。采用本方法能够成功制作出高精度对准的双面超表面结构，从而提高双面超表面结构的性能。
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公开(公告)号：CN111258059A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010069442.7
申请日：2020-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种柔性手机摄像头光学镜片，包括柔性衬底、设于其表面上的微纳结构超表面和设于其后端的偏振片，微纳结构超表面为微纳结构单元的周期性阵列，不同微纳结构单元具有相同的尺寸和不同的指向角度，指向角度根据所需的电磁波通过各微纳结构单元后的相位累积以及相位累积与指向角度的对应关系相应确定。本发明还提供该光学镜片的制作方法。本发明的光学镜片通过将微纳结构超表面与柔性衬底结合，不仅能实现光学聚焦功能，还能弯曲折叠，且展开后不影响其光学性能，解决了手机摄像头传统光学镜片依赖于表面形状的问题，为手机摄像头光学镜片不可折叠的问题提供了一种解决方案，以满足柔性屏手机对可弯曲折叠的手机摄像头光学镜片的需求。
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公开(公告)号：CN111258058A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010069416.4
申请日：2020-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性遥感卫星光学镜片，包括柔性衬底和设于柔性衬底的至少一个表面上的微纳结构超表面，所述微纳结构超表面为微纳结构单元的周期性阵列，不同的微纳结构单元具有相同的高度、相同的指向角度和不同的横截面尺寸，各微纳结构单元的横截面尺寸根据所需的电磁波通过各微纳结构单元后的相位累积以及电磁波通过微纳结构单元的相位累积与微纳结构单元的横截面尺寸的对应关系相应确定。本发明还提供该遥感卫星光学镜片的制作方法。本发明的遥感卫星光学镜片不仅能实现光学聚焦功能，还能折叠运输、使用时展开，以满足遥感卫星光学镜片的大口径和轻量化需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107453052B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201710685056.9
申请日：2017-08-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种电磁吸收超材料，其上表面处于工作环境中，包括周期性谐振单元阵列，所述电磁吸收超材料所述电磁吸收超材料上表面设有一层电介质复合薄膜，该薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加所述电介质复合薄膜的材料选自氧化硅、氮化硅、氧化铝、氟化镁或硅中的至少两种。本发明的电磁吸收超材料通过选取不同种类的介质薄膜，并把他们按照一定比例叠加，可以获得折射率在选取介质中最大与最小折射率之间的介质薄膜，从而实现表面晶格共振的更加灵活和可控的调制；电介质复合薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加，所以几乎可以在任意工作环境下工作，甚至是液态或运动的环境。
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公开(公告)号：CN104977651B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201410129855.4
申请日：2014-04-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 复旦大学
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G02B1/005 , G02B27/0012 , G02B27/1006 , G02B27/126
Abstract: 本发明提供一种超高分辨率光子晶体超棱镜的设计方法，包括以下步骤：S1：选定介质材料，确定光子晶体的结构类型和结构参数；S2：获得光子晶体的等频图，寻找自准直区域；S3：获得所述等频图中各点的群速度分布，寻找低群速度区域；S4：优化光子晶体的结构参数，使光子晶体等频图中的自准直区域与低群速度区域尽可能重合，并把该重合区域定为工作区域；S5：获得等入射角线，并旋转所述光子晶体，使所述等入射角线与所述工作区域相交，并在交点中选取合适的入射角，完成光子晶体超棱镜的设计。当光以上述入射角入射时，光子晶体对光的频率非常敏感，能显著地把不同频率的光分开。本发明的光子晶体超棱镜集成性好，适用范围广，具有重要实用价值。
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公开(公告)号：CN106033153A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510116915.3
申请日：2015-03-17
Applicant: 复旦大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明提供一种基于石墨烯的可调光致透明波导结构，至少包括：石墨烯波导、第一石墨烯带及第二石墨烯带；第一石墨烯带及第二石墨烯带位于石墨烯波导的同一侧，且均平行于石墨烯波导；第一石墨烯带与石墨烯波导具有第一预设间距，第二石墨烯带与石墨烯波导具有第二预设间距。本发明通过采用了石墨烯波导结构，并在所述石墨烯波导同一侧设置具有预设间距的第一石墨烯带及第二石墨烯带，相对于金属结构，其能够通过调整所述第一石墨烯带及所述第二石墨烯带的费米能级动态调制光致透明的频率范围；相对于其他类型的平面结构，本发明的波导结构尺寸更小，更易于制作和集成；同时在本发明的结构中，能够同时实现对称和非对称的光致透明窗口。
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公开(公告)号：CN104977651A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410129855.4
申请日：2014-04-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 复旦大学
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G02B1/005 , G02B27/0012 , G02B27/1006 , G02B27/126
Abstract: 本发明提供一种超高分辨率光子晶体超棱镜的设计方法，包括以下步骤：S1：选定介质材料，确定光子晶体的结构类型和结构参数；S2：获得光子晶体的等频图，寻找自准直区域；S3：获得所述等频图中各点的群速度分布，寻找低群速度区域；S4：优化光子晶体的结构参数，使光子晶体等频图中的自准直区域与低群速度区域尽可能重合，并把该重合区域定为工作区域；S5：获得等入射角线，并旋转所述光子晶体，使所述等入射角线与所述工作区域相交，并在交点中选取合适的入射角，完成光子晶体超棱镜的设计。当光以上述入射角入射时，光子晶体对光的频率非常敏感，能显著地把不同频率的光分开。本发明的光子晶体超棱镜集成性好，适用范围广，具有重要实用价值。
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公开(公告)号：CN102253997B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201110191572.9
申请日：2011-07-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于物联网技术的食品追溯与可查询终端，它包括探测装置、控制装置、显示装置、数据传输装置四个部分组成，探测装置探测出食品蔬菜的标识码，标识码是在蔬菜食品利用物联网技术在生产培育到运输过程中生成的，并且是唯一的，标识码探测到之后通过数据传输装置访问追溯数据源。追溯数据源是在整个流程中通过物联网技术自动采集而获得。控制装置在控制你所关心食品蔬菜的相关显示参数，显示装置用来显示你最终追溯查询的食品蔬菜的相关追溯信息等。
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