公开(公告)号：CN102102183B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201010597854.4

申请日：2010-12-16

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 高木敏晃 ,  松本克史 ,  岩崎祐纪 ,  长尾护 ,  莳野秀忠

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14

Abstract: 提供一种Al基合金溅射靶，其能够消除在溅射的初期阶段发生的问题(例如飞溅的个数的增加和所形成的薄膜的电阻的上升)，可以缩短预溅射时间。本发明涉及一种Al基合金溅射靶，其中，以JIS B0601(2001)所规定的方法测量溅射面的表面粗糙度时，算术平均粗糙度Ra为1.50μm以下，以及最大高度Rz为10μm以下，并且，将从粗糙度曲线的中心线至波峰或波谷的高度超过0.25×Rz的峰值高度分别设为P或Q，跨越基准长度100mm，依次计数P和Q时，P到紧邻其后出现的Q再到紧邻该Q后出现的P之间的间隔L的平均值为0.4mm以上。

公开(公告)号：CN102770237A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201180010400.5

申请日：2011-02-21

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 家口浩 ,  浦塚昭典 ,  吉川一男

IPC: B24B27/06 ,  B24D11/00 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B23D61/185

Abstract: 本发明提供在表面具有有机皮膜的被覆锯丝所使用的基底丝，其能够抑制有机皮膜的剥离。另外，本发明提供有机皮膜的耐剥离性优异的被覆锯丝。在本发明中，在表面具有有机皮膜的被覆锯丝用的基底丝，具有钢丝和形成于钢丝的表面的镀层。

公开(公告)号：CN102762338A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201180010405.8

申请日：2011-02-23

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 吉川一男 ,  浦塚昭典 ,  家口浩 ,  古保里隆 ,  松岛义武

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B23D61/185 ,  B23D65/00

Abstract: 本发明提供一种在钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝切断工件时，加工变质层深度浅，能够得到平滑的表面的切断体的树脂被覆锯丝的设计方法。(1)以规定的硬度的树脂被覆钢丝，(2)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件，(3)调查工件的切断面的加工变质层深度，(4)确认加工变质层深度的合格与否，(5)不合格时，以更硬的树脂被覆钢丝，通过反复进行上述(2)～(4)，以使工件的切断面的加工变质层深度达到合格的方式调节树脂的硬度。

公开(公告)号：CN102569917A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110196725.9

申请日：2011-07-14

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 高桥知二 ,  今北毅 ,  寺泽优一

IPC: H01M10/42

Abstract: 本发明提供一种安全性评价试验装置。本发明的安全性评价试验装置构成为，在对Li离子电池模块(2)进行安全性评价试验时产生的包含爆炸性成分的气体等与从气体供给机构(10)等和辅助气体供给机构(30)等分别供给的空气一起通过配管(40)排出，因此，产生的包含爆炸性成分的气体等不会对下一次的试验造成坏影响。

公开(公告)号：CN102245345A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980150398.4

申请日：2009-12-16

Applicant: 株式会社钢臂功科研 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 木内清 ,  井冈郁夫 ,  加藤千明 ,  丸山信俊 ,  塚谷一郎 ,  田边诚 ,  中山准平

IPC: B23K35/30 ,  B23K9/00 ,  B23K9/04 ,  B23K9/23 ,  B23K31/00 ,  B23K103/04

CPC classification number: B23K35/3053 ,  B23K9/04 ,  B23K9/23 ,  B23K31/12 ,  C21D9/50 ,  C21D9/505 ,  C21D2211/001 ,  C21D2251/04 ,  C22C38/001 ,  C22C38/004 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/50 ,  C22C38/54 ,  F16J12/00

Abstract: 一种焊接材料，是奥氏体系焊接材料，其含有C：0.01wt％以下、Si：0.5wt％以下、Mn：0.5wt％以下、P：0.005wt％以下、S：0.005wt％以下、Ni：15～40wt％、Cr：20～30wt％、N：0.01wt％以下、O：0.01wt％以下，余量是Fe和不可避免的杂质，并且，所述焊接材料中作为所述不可避免的杂质含有的B为3wtppm以下，并且所述焊接材料中的所述C、P、S、N和O的含量合计为0.02wt％以下。

公开(公告)号：CN101691656B

公开(公告)日：2011-11-02

申请号：CN200910132938.8

申请日：2009-03-31

Applicant: 株式会社钢臂功科研 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 高木胜寿 ,  岩崎祐纪 ,  得平雅也 ,  后藤裕史

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/00 ,  C22C21/12 ,  C22F1/04 ,  C22F1/057

CPC classification number: C23C14/3414

Abstract: 本发明提供一种能减少使用含有Ni、La以及Cu的Al-Ni-La-Cu系Al-基合金溅射靶成膜时产生的飞溅的技术。含有Ni、La以及Cu的Al-Ni-La-Cu系Al-基合金溅射靶中，使用扫描型电子显微镜(2000倍)观察垂直于所述溅射靶的平面的截面的1/4t～3/4t(t为厚度)的部位时，(1)关于以Al和Ni为主体的Al-Ni系金属间化合物，平均粒径为0.3μm～3μm的Al-Ni系金属间化合物的总面积相对于Al-Ni系金属间化合物的全部面积以面积率计为≥70％，(2)关于以Al、La和Cu为主体的Al-La-Cu系金属间化合物，平均粒径为0.2μm～2μm的Al-La-Cu系金属间化合物的总面积相对于Al-La-Cu系金属间化合物的全部面积以面积率计为≥70％。

公开(公告)号：CN100523279C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200610009203.2

申请日：2006-02-15

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 钉宫敏洋 ,  高木胜寿 ,  松崎均 ,  喜多下幸太郎 ,  米田阳一郎

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C22C1/0416 ,  B22F2003/248 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  C22C21/00 ,  C23C14/3414 ,  B22F9/082 ,  B22F3/1208 ,  B22F3/15 ,  B22F3/17 ,  B22F3/18 ,  B22F3/24 ,  B22F2201/02

Abstract: 本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)，并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al-Ni-稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。

公开(公告)号：CN101435068A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200810188508.3

申请日：2004-03-22

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 松村仁实 ,  米田阳一郎

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34

CPC classification number: B23K20/22 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414

Abstract: 一种由相同材料制成的金属薄片的对接制成的溅射靶被提供，其中连接部分中的金属间化合物具有的平均颗粒直径是非连接部分中的金属间化合物平均颗粒直径的60％至130％。在溅射靶中，连接部分中的金属间化合物的平均颗粒直径与非连接部分中的近似相同。

公开(公告)号：CN1280446C

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200410044707.9

申请日：2004-05-17

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 高木胜寿 ,  中井淳一 ,  田内裕基 ,  佐藤俊树 ,  松崎均 ,  藤井秀夫

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C5/06 ,  C22C12/00

CPC classification number: C22C5/06 ,  C23C14/3414

Abstract: 一种Ag-Bi基合金溅射靶以及该溅射靶的制备方法，其特征在于，溅射靶的析出Bi强度为0.01原子%-1或以下，其是根据下式，基于X-射线衍射的分析结果计算出来的。析出Bi强度＝[IBi(102)/(IAg(111)+IAg(200)+IAg(220)+IAg(311))]/[Bi]该溅射靶的Bi固溶于Ag中。根据本发明，在使用该溅射靶形成薄膜时，可以抑制其薄膜之中Bi含量相对于溅射靶Bi含量的显著降低。

公开(公告)号：CN1763241A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200510114034.4

申请日：2005-10-19

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 茂山和基 ,  森元荣一

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/3435 ,  C23C14/3407

Abstract: 一种溅射靶用背衬板包含在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为23.0×10－6/℃或以下的铝合金。这种背衬板防止了和靶结合时出现的翘曲，减小了Al－Nd合金薄膜的膜沉积(溅射)时出现的应力，省去了翘曲的矫平处理，减小了安置在靶和背衬板之间的硬钎料的破裂，从而能够长期进行稳定的膜沉积操作。