Al基合金溅射靶
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102102183A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN201010597854.4

    申请日:2010-12-16

    Abstract: 提供一种Al基合金溅射靶,其能够消除在溅射的初期阶段发生的问题(例如飞溅的个数的增加和所形成的薄膜的电阻的上升),可以缩短预溅射时间。本发明涉及一种Al基合金溅射靶,其中,以JIS B0601(2001)所规定的方法测量溅射面的表面粗糙度时,算术平均粗糙度Ra为1.50μm以下,以及最大高度Rz为10μm以下,并且,将从粗糙度曲线的中心线至波峰或波谷的高度超过0.25×Rz的峰值高度分别设为P或Q,跨越基准长度100mm,依次计数P和Q时,P到紧邻其后出现的Q再到紧邻该Q后出现的P之间的间隔L的平均值为0.4mm以上。

    Al基合金溅射靶
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102102183B

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201010597854.4

    申请日:2010-12-16

    Abstract: 提供一种Al基合金溅射靶,其能够消除在溅射的初期阶段发生的问题(例如飞溅的个数的增加和所形成的薄膜的电阻的上升),可以缩短预溅射时间。本发明涉及一种Al基合金溅射靶,其中,以JIS B0601(2001)所规定的方法测量溅射面的表面粗糙度时,算术平均粗糙度Ra为1.50μm以下,以及最大高度Rz为10μm以下,并且,将从粗糙度曲线的中心线至波峰或波谷的高度超过0.25×Rz的峰值高度分别设为P或Q,跨越基准长度100mm,依次计数P和Q时,P到紧邻其后出现的Q再到紧邻该Q后出现的P之间的间隔L的平均值为0.4mm以上。

    Al基合金溅射靶
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102770576A

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201180010694.1

    申请日:2011-02-25

    CPC classification number: C23C14/3414 C22C21/00

    Abstract: 本发明提供一种技术,其在使用Al基合金溅射靶时,即使进行高速成膜也能够抑制飞溅的发生。本发明涉及一种Al基合金溅射靶,其含有Ni和稀土元素,在利用背散射电子衍射像法对上述Al基合金溅射靶的表层部、1/4×t(t:Al基合金溅射靶的厚度)部、1/2×t部的各溅射面的法线方向的结晶方位 、 、 、 及 进行观察时,满足以下要件:(1)在将上述 ±15°、上述 ±15°及上述 ±15°的总面积率设为R(各处的R中,上述表层部为Ra,上述1/4×t部为Rb,上述1/2×t部为Rc)时,R为0.35以上且0.80以下,并且,(2)上述Ra、上述Rb及上述Rc在R平均值[Rave=(Ra+Rb+Rc)/3]的±20%的范围内。

    镁合金及其制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101960032A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980108047.7

    申请日:2009-03-30

    Abstract: 本发明的目的在于提供高温下的强度和延伸率优异,同时高温下的蠕变特性也优异的镁合金及其制造方法。本发明的镁合金通过在对分别含有特定量Y和Sm的镁合金铸造后实施固溶处理后进行热加工,进一步实施时效处理,从而减小组织的平均结晶粒径。而且,本发明通过获得Y和Sm在镁基体中固溶量与结晶粒内的特定大小的析出物个数的平衡,可获得高温下的强度和延伸率优异、同时高温下的蠕变特性优异的镁合金。

    铝合金板
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101918602A

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200980102613.3

    申请日:2009-01-20

    CPC classification number: C22C21/02 C22C21/06 C22F1/05

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种Al-Mg-Si系铝合金板,即使在成形条件更严酷的情况下,也能够再现性良好地防止挤压成形时的皱痕。本发明的铝合金板具有特定的组成,在比较宽范围板宽方向的集合组织中,通过跨越所述板宽方向的平均面积率抑制Goss取向和Cube取向,并且还通过跨越所述板宽方向的平均面积率的最大值和最小值的差来抑制该集合组织中的Goss取向和Cube取向各自的偏差。由此,本发明的铝合金板可抑制具有跨越所述板宽方向的比较大的周期的凹凸的皱痕在板表面的形成。

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