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公开(公告)号：CN108226045B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201711316753.3
申请日：2017-12-12
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 气体分析器可以包括：气体室，被配置为接收在其中待分析的气体；辐射源，被配置为将电磁辐射发射到气体室中，该电磁辐射适于选择性地激励在气体室中接收的气体中待检测的特定类型的气体分子；准直器，被配置为对由辐射源发射的电磁辐射进行准直；以及传感器，被配置为检测指示由辐射源发射的电磁辐射与待分析的气体之间的相互作用程度的物理量。
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公开(公告)号：CN108540911B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201810171550.8
申请日：2018-03-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·德厄
Abstract: 公开了电容式MEMS设备、电容式MEMS声换能器、用于形成电容式MEMS设备的方法以及操作电容式MEMS设备的方法。在实施例中，电容式MEMS设备包括：第一电极结构，包括第一导电层；以及第二电极结构，包括第二导电层，其中所述第二导电层至少部分地与第一导电层相对，并且其中第一导电层包括在第二导电层的至少三个部分之间提供电隔离的多分段。
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公开(公告)号：CN108449702B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201810151536.1
申请日：2018-02-14
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·沃瑟 , C·阿伦斯 , A·德厄 , G·梅茨格-布吕克尔 , J·斯特拉塞
IPC: H04R19/04
Abstract: 微型机电麦克风可以包括：参考电极，布置在所述参考电极的第一侧并且能够通过待检测的声音移动的第一膜，以及布置在与参考电极的第一侧相对的所述参考电极的第二侧上并且能够通过待检测的声音移动的第二膜。第一膜和第二膜中的一个的、通过声音相对于参考电极移动的区域，不取决于其相对于参考电极的位置，该区域可以包括平坦部分以及邻近该平坦部分并且在膜的与第一膜和第二膜中另一个的重叠区域中布置的波纹部分。
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公开(公告)号：CN106170119B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201610282799.7
申请日：2016-04-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: 本申请涉及用于MEMS换能器的系统和方法。根据一个实施例，一种微机电系统(MEMS)换能器包括：第一电极；第二电极，固定至第二电极的周界处的锚；以及机械支撑件，与第二电极的周界处的锚分离并且机械连接至第一电极和第二电极。机械支撑件固定至第二电极的一部分，使得在操作期间，在机械结构与第二电极的周界之间发生第二电极的最大偏转。
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公开(公告)号：CN109429158A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811011584.7
申请日：2018-08-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： J·斯特拉塞 , A·德厄 , G·梅茨格-布吕克尔 , J·瓦格纳 , A·沃瑟
Abstract: 双膜MEMS器件的制造方法，具有：在衬底上提供层布置，具有第一膜结构、邻接第一膜结构的牺牲材料层和在牺牲材料层中并与第一膜结构间隔的反电极结构，在牺牲材料层中形成通孔，直到第一膜结构并与反电极结构分离，通过将第一填充材料层施加到通孔的壁区域，在通孔中形成填充材料结构，以在通孔中邻接第一填充材料层获得内部体积区域，在层布置上施加第二膜结构，以密封内部体积区域，反电极结构布置在由牺牲材料填充的位于第一和第二膜结构之间的中间区域中并分别与其间隔，从中间区域中去除牺牲材料以暴露填充材料结构，以在第一和第二膜结构之间获得机械连接元件，其机械耦合到第一和第二膜结构之间并与反电极结构机械解耦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109319727A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810865573.9
申请日：2018-08-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: MEMS传感器包括具有可移动电极和定子电极的MEMS装置，定子电极与可移动电极相对地布置。MEMS传感器包括连接到定子电极的第一偏置电压源，第一偏置电压源被配置为将第一偏置电压施加到定子电极。MEMS传感器还包括通过电容耦合连接到定子电极的共模读出电路，共模读出电路包括第二偏置电压源，第二偏置电压源被选择为将第二偏置电压施加到电容耦合的背离定子电极的一侧。
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公开(公告)号：CN104902400B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201510098315.9
申请日：2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·德厄
Abstract: 本发明的各个实施例涉及用于感测压力波以及环境压力的变化的MEMS传感器结构。该传感器结构包括：第一膜片结构、电极元件、以及布置在电极元件的与第一膜片结构相对之侧的第二膜片结构。传感器结构还可以包括由第一膜片结构和第二膜片结构形成的腔室，其中腔室中的压力低于腔室外的压力。同样地公开了一种用于形成该传感器结构的方法。
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公开(公告)号：CN104902412B
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201510098513.5
申请日：2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: G01L1/14 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01R29/12
Abstract: 公开了一种换能器结构，该换能器结构包括具有开口的载体和悬挂结构，该悬挂结构被装配在载体上并且至少部分地在该载体的开口之上延伸。该换能器结构可进一步包括，将该悬挂结构配置为通过改变悬挂结构和载体之间的距离，在悬挂结构和载体之间提供静电场。可替换地，该悬挂结构可被配置为响应于被提供在悬挂结构的部分和载体之间的静电力，改变悬挂结构和载体之间的距离。
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公开(公告)号：CN108226045A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711316753.3
申请日：2017-12-12
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 气体分析器可以包括：气体室，被配置为接收在其中待分析的气体；辐射源，被配置为将电磁辐射发射到气体室中，该电磁辐射适于选择性地激励在气体室中接收的气体中待检测的特定类型的气体分子；准直器，被配置为对由辐射源发射的电磁辐射进行准直；以及传感器，被配置为检测指示由辐射源发射的电磁辐射与待分析的气体之间的相互作用程度的物理量。
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公开(公告)号：CN107796762A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710761931.7
申请日：2017-08-30
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 提供了一种气体分析仪。气体分析仪可以包括：具有壳体壁的管状壳体，壳体壁沿着管状壳体的轴向方向延伸并且围绕气体腔室，气体腔室被配置为将待分析气体容纳在其中；激发元件，位于管状壳体的第一轴向端部处并且被配置为以时变的方式来选择性地激发被容纳在气体腔室中的气体中的待检测的特定类型的气体分子，从而生成声波；以及传感器，位于管状壳体的第二轴向端部处并且被配置为检测由激发元件生成的声波。
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