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公开(公告)号：CN1801612A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200610000366.4
申请日：2006-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
Abstract: 一种兰姆波型高频谐振器。本发明提供一种可以实现高频化、频率温度特性良好、且能够降低制造成本的兰姆波型高频谐振器。兰姆波型高频谐振器(1)在石英基板(10)的一个主面上具有用于激励兰姆波的梳齿状的IDT电极(20)，将IDT电极(20)形成为按照欧拉角表示方式时所述石英基板(10)的切出角度和所述兰姆波的传播方向为(0、θ、0)，把石英基板(10)的厚度t和波长λ的关系设定在利用0＜t/λ≤3表示的范围内，在该范围内设定6个区域，在其中的第1区域中，角度θ被设定在132.8度≤θ≤178度的范围内，t/λ被设定在1.1≤t/λ≤3的范围内。
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公开(公告)号：CN117948956A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311434291.0
申请日：2023-10-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01C19/5656 , B81B7/00 , B81B7/02
Abstract: MEMS器件及惯性计测装置。能够抑制因向探针电极引绕布线导致的传感器特性劣化。MEMS器件(1)包括基板(2)、固定电极部(10、50)、可动体(MB)、固定电极固定部(41)、布线结构体(SA)和第1布线(L1)。固定电极部固定于基板。可动体相对于基板可动。固定电极固定部与固定电极部电连接。布线结构体相对于基板与可动体及固定电极部同层设置。第1布线的一端与固定电极固定部连接。布线结构体至少设在可动体的开口部，第1布线在布线结构体隔着绝缘膜布置，通过可动体的开口部引出到可动体的外部。
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公开(公告)号：CN113325200B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202110215442.8
申请日：2021-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明提供不易破损的物理量传感器、电子设备和移动体。关于物理量传感器，再将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向和第三方向时，具有：基板；以及可动体，与所述基板隔开空隙并在所述第三方向上对置，相对于所述基板在所述第三方向上位移，所述可动体具有：第一区域，具备在所述第三方向贯通并从所述第三方向观察时的开口形状为正方形的多个贯通孔；以及第二区域，不具备贯通孔，将所述贯通孔的一边的长度设为S0，将相邻的所述贯通孔彼此的间隔设为S1时，所述第二区域的所述第一方向的长度和所述第二方向的长度中的至少一方为S0+2×S1以上。
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公开(公告)号：CN113899354B
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202110764282.2
申请日：2021-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
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公开(公告)号：CN110806497B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN201910717650.0
申请日：2019-08-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125 , G01C19/5656 , G01C19/5783
Abstract: 本发明提供了一种物理量传感器、电子设备以及移动体，通过能够确保韧性的突起部，能够抑制可动体和基板的粘附。物理量传感器(1)具备：基板(2)；可动体，以相对于基板(2)对置并能够位移的方式设置，设置有作为贯通孔的第一贯通孔(35a)以及第二贯通孔(35b)；突起部(6a)、(6b)，在基板(2)的可动体(32)侧，与基板(2)构成为一体，突起部(6a)、(6b)在俯视下设置在与贯通孔以及可动体32重合的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112698054B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202011139915.2
申请日：2020-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种物理量传感器、电子设备和移动体，物理量传感器具有：基板；以及可动体，与基板隔开空隙并与第三方向相对，且相对于基板在第三方向上位移。可动体具有：第一部分和第二部分；以及多个贯通孔，配置于第一部分和第二部分，且在第三方向上贯通。并且，在将阻尼作为C、将阻尼的最小值作为Cmin时，在从第三方向的俯视观察下，在与第一部分重叠的第一区域和与第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足C≤1.5×Cmin。
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公开(公告)号：CN115327165A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210946801.1
申请日：2018-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
Abstract: 一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部；第一、第二固定电极，设置于支承基板上，与第一、第二质量部相对；以及突起，设置于设有第一、第二固定电极的区域，从支承基板朝向第一、第二质量部突出，在交叉方向上，当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L，且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1为0.18L以上0.88L以下。
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公开(公告)号：CN109425756B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201810963512.6
申请日：2018-08-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P3/44
Abstract: 本申请提供具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器包括基板、固定于基板的固定部、能够相对于固定部在第一方向上进行位移的可动部、设置于可动部的可动电极部、固定于基板并与可动电极部在所述第一方向上相对配置的固定电极部、以及限制可动部在第一方向上的可动范围的限制部。可动部包括配置于所述第一方向上的一侧的第一外缘部和配置于另一侧的第二外缘部。限制部包括与第一外缘部隔开间隙而配置的第一限制部以及与第二外缘部隔开间隙而配置的第二限制部中至少任一方。
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公开(公告)号：CN114518471A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202111348263.8
申请日：2021-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/14 , G01P15/18
Abstract: 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能够同时实现高灵敏度化和粘着的降低。物理量传感器(1)包含基板(2)和可动体(3)，在可动体的第1质量部(34)的第1面(6)设置有在相邻的区域间设有阶梯差的第1～第n区域。在设第1～第n区域的离旋转轴(AY)远的一侧的端部为第1～第n端部、在可动体绕旋转轴进行了最大移位的状态下通过第1～第n端部中的2个端部且与X轴所成的角最小的假想直线为第1假想直线(VL1)、沿着第1固定电极(24)的主面的直线为第2假想直线(VL2)时，在与基板的第1固定电极的离旋转轴最近和最远的端部相交的第1和第2法线间的区域(RN12)中，第1与第2假想直线不交叉。
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公开(公告)号：CN108169515B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201711258636.6
申请日：2017-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。
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