-
公开(公告)号：CN103811263A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410065214.7
申请日：2014-02-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种等离子体约束装置，包括：约束环，约束环包括多个同心圆环，多个同心圆环之间的缝隙形成约束通道，约束环的高度大于等离子体的平均自由程，约束通道用于抑制等离子体通过；第一约束片，第一约束片设置在约束环的顶部，以封闭约束通道，第一约束片上形成有多个约束通孔；以及第二约束片，第二约束片沿约束环的轴向可旋转地设置在第一约束片之上，第二约束片上形成有多个约束通孔。根据本发明实施例的等离子体约束装置具有结构简单，维修成本低且可以有效抑制等离子体扩散的优点。本发明还提出了一种等离子体处理装置。
-
公开(公告)号：CN103811247A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410053269.6
申请日：2014-02-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种用于等离子体刻蚀的聚焦环，包括绝缘体材料的下环、导体材料的中环以及上环。本发明亦提供一种包括该聚焦环的等离子体刻蚀装置，其中，对聚焦环的加载预设电压，该预设电压为针对不同的等离子体放电模型，获取刻蚀腔室中一个射频周期内的平均电压的近似最大值。在等离子体刻蚀过程中，虽然上环逐渐被腐蚀掉，但由于中环限制了晶圆边缘附近的电场分布，上环高度变化对晶圆边缘的等离子体特性影响较小，尤其是对离子入射角度影响较小，能够保证晶圆边缘的刻蚀剖面的垂直度不发生较大变化。
-
公开(公告)号：CN102096724A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110008592.8
申请日：2011-01-14
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/40
Abstract: 本发明公开一种支持多种通信类型数据采集卡间通信的可组装式电路板，包括DeviceNet组网电路板；电源模块电路板，位于DeviceNet组网电路板的下方，包括第一电源模块和第二电源模块；数字通信端子电路板，位于电源模块电路板的下方，安装有两对数字通信接头；模拟通信端子电路板，位于数字通信端子电路板的下方，安装有两对模拟通信接头，多个电路板通过不同长度的螺柱与不同长度的螺母的配合进行固定。本发明的可组装式电路板可以支持多种通信类型数据采集卡间通信，并且有效降低数据采集卡间通信的线路复杂度及线路连接成本，提高数据采集卡间连接的可靠性。本发明还公开了上述可组装式电路板的制造方法。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101963933A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010295441.0
申请日：2010-09-29
Applicant: 清华大学
IPC: G06F11/22
Abstract: 本发明提出一种仪器测试中适应多通信协议的仪器静态匹配方法，包括以下步骤：生成仪器静态配置文件，其中，仪器静态配置文件以XML文件格式存放且以 作为根节点，仪器静态配置文件包括仪器配置的基本信息、所有针脚的 节点及其子节点信息、指令集的 节点及其子节点信息和状态集的 节点及其子节点信息；和根据仪器静态配置文件对被测仪器的针脚、指令集和状态集进行配置。本发明将仪器测试时使用到的指令集和状态集通过虚拟的针脚概念连接到被测仪器的静态配置中，并据此对被测仪器使用的通信协议及其参数、被测仪器管脚与板卡的连接进行配置。
-
公开(公告)号：CN100570619C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200810104408.8
申请日：2008-04-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种面向产品级仿真的零部件模型降阶方法属于CAD计算机辅助协同产品仿真技术领域，其特征在于，含有以下步骤：用ANSYS软件建立零部件的三维网格模型并计算模态，提取零部件模型的质量矩阵和刚度矩阵，再用Mathematica软件并结合有限元分析中的降阶算法，根据所得到的刚度矩阵、质量矩阵，以及在设定的典型载荷下的结构最大变形时的状态，系统平衡时的状态，把具有n维向量的零部件模型降到m个模态构成的零部件模型。本发明提高了复杂产品的产品级仿真速度，提高了仿真数据的重用度，而且操作简单，易于实现。
-
公开(公告)号：CN101216846A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810055619.7
申请日：2008-01-04
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种网络环境下仿真数据的可视化协同共享方法，属于仿真数据网络通讯用的数据可视化技术领域，其特征在于，在服务器端，建立仿真数据可视化处理模块，为用户提供一个参数提交界面和处理引擎，实现对仿真数据文件按所需参数进行可视化处理，再建立一个仿真数据协同共享模块，为用户提供一个公共虚拟环境，实现异地同步显示；客户端使用通用浏览器提供操作界面，通过参数提交页面把可视化参数送到可视化处理模块中的业务逻辑处理类进行可视化处理，待返回处理结果后，在客户端之间、客户端和服务器之间以端到端模式进行协同显示和评注。本发明填补了网络环境下仿真数据可视化与协同共享的空白。
-
公开(公告)号：CN101118622A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200710099596.5
申请日：2007-05-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 在城市环境下微型飞行器三维轨迹仿真方法，属于微型飞行器三维实时路径导航技术领域。在计算机中，设置以下模块：地图数字化模块，把图形用户界面输入的包括威胁点、建筑物、微型飞行器起飞点和目标点在内的城市环境三维模型、地图参数以及由此构成的候选导航点坐标数字化；航迹规划模块，从地图数字化模块输入上述数据，计算兼顾飞行资源消耗率和生存率的路径总指标，并在考虑障碍物的条件下用网络寻优算法计算最优可行路径，再把转弯处折角平滑化后生成实时飞行轨道；数据采集模块，实时采集航迹规划模块输出的飞行器的位置和姿态坐标值，形成包括直角坐标变量X、Y、Z和俯仰角h、偏航角p和滚转角r在内的姿态坐标值。本发明在节约飞行资源的同时提高了飞行。
-
公开(公告)号：CN1746897A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510086614.7
申请日：2005-10-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于CAD协同产品设计技术领域，其特征在于：在网络环境下，设计者依托装在节点机上的三维VRML模型，以设计者与设计场景交互方式依次按照以下步骤实现无约束协同装配工艺规划：选定无约束仿真装配体模型；确定所选各部件的装配顺序，在时间轴上形成装配顺序关系树；借助于VRML模型的软件包，用一系列关键位置描述同一零部件的运动路线了；形成包括各个部件的关键时间－关键位置列表；把上述列表的逆序分别写入VRML文件中各个部件模型的插补器中，再添加时间传感器，分别依次形成时间传感器和位置传感器之间以及位置传感器和零部件造型节点间的路由，生成仿真画面。本发明显著提高了设计效率。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
68
records
(took 0.019 seconds)
