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公开(公告)号：CN111812948A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010636098.5
申请日：2020-07-03
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种激光干涉光刻中光束入射角度的调控装置及方法，装置包括：分光棱镜、第一解耦透镜、第一位置检测器和反馈控制系统，其中，分光棱镜位于第一透镜和第二透镜之间；第一解耦透镜位于第一位置检测器与分光棱镜之间，反馈控制系统与第一位置检测器和第一万向反射镜连接；分光棱镜用于对经第一万向反射镜的第一入射光进行反射，第一解耦透镜用于将分光棱镜的第一反射光入射至第一位置检测器，第一位置检测器用于对光束位置进行测量，并将测量结果传输至反馈控制系统，反馈控制系统根据测量结果输出控制指令，调整第一万向反射镜的镜座，从而对曝光光束的入射角度进行调控。本发明可以对光束入射角度进行精确调控。
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公开(公告)号：CN111680436A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010388543.0
申请日：2020-05-09
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06F119/04 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开一种基于主载荷模式的缺口件疲劳寿命预测方法及预测装置，包括：建立缺口件的有限元模型；对缺口件的有限元模型的网格数进行收敛性分析；采用多轴循环计数算法计数所有的反复；通过材料的循环应力应变关系和Neuber法推导出虚拟等效应变与真实等效应力之间的关系；分别将拉伸型和剪切型Shang-Wang多轴疲劳损伤参数替换虚拟等效应变幅来求解临界面上的真实等效应力幅；通过真实等效应力幅和Neuber法则来计算临界面上真实的拉压和剪切等效应变幅，并运用Manson-Coffin方程来分别计算缺口部件的拉压和剪切疲劳寿命；选择拉压和剪切疲劳损伤值中的较大值作为每个计数反复的疲劳损伤，并采用Miner法则来进行疲劳损伤累积并预测疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN111680435A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010387699.7
申请日：2020-05-09
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06F119/04 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开一种缺口件疲劳寿命预测方法及预测装置，涉及多轴疲劳强度理论领域，利用有限元分析软件建立缺口件的有限元模型；对缺口件的有限元模型的网格数进行收敛性分析；通过线弹性理论或者线弹性有限元分析，确定缺口处的虚拟应变历程；确定临界面上的虚拟等效剪切应变幅；使用剪切型Neuber法和材料的循环应力应变关系来确定剪切型虚拟等效应变与真实等效应力关系；通过真实等效应力幅和剪切型Neuber法则来计算真实等效应变幅；通过运用Manson-Coffin方程来计算缺口件的疲劳寿命。本方法可以较好的预测多轴载荷下缺口件的疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN109639197B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201811574277.X
申请日：2018-12-21
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种基于光刻机磁悬浮平面电机运动系统的线圈电流切换算法，首先建立平面电机动子的六自由度受力与线圈电流之间的耦合方程，然后根据平面电机动子在运动过程中，动子线圈是否会离开磁钢阵列正上方，将动子线圈分为切换组和非切换组，再根据线圈离开磁钢阵列的方式，将切换组又分为突变切换组和渐变切换组；对突变切换组采用S函数作为电流切换权重函数，对渐变切换组采用余弦函数作为电流切换权重函数，以所有线圈电流矢量的二范数最小为目标，对力与电流的耦合方程进行求解得到各线圈电流值。本发明能够尽可能地减小平面电机线圈的发热损耗，同时实现动圈式磁悬浮平面电机动子全运动范围内线圈电流的光滑切换。
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公开(公告)号：CN108627099B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201810708633.6
申请日：2018-07-02
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括：单频激光器，用于发出单频激光，所述单频激光可分束为一束参考光和一束测量光；干涉仪镜组和测量光栅，用于将所述参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号；多束光纤束，分别接收所述测量干涉信号和参考干涉信号，每束光纤束中有多根多模光纤，分别接收同一平面上不同位置处的干涉信号。该测量系统具有对环境不敏感、体积小、质量轻、便于布置等优点，采用多个五自由度干涉测量系统布置，利用冗余信息即可实现六自由度的超精密测量，适用于光刻机工件台等六自由度位置和姿态测量的需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110837213A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201911050187.5
申请日：2019-10-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明属于光学仪器仪表技术领域，提供了一种用于激光干涉光刻系统的相位测量装置及其使用方法，包括第一波片、第一偏振分光棱镜、第四波片、后向反射镜、第三波片、反射镜、第二波片、偏振片、第二偏振分光棱镜、第三偏振分光棱镜、第一光电探测器、第二光电探测器和基座；所述第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜、第三偏振分光棱镜、第一光电探测器和第二光电探测器固定在基座上，第一波片、第二波片、第三波片及第四波片分别设置在第一偏振分光棱镜四周，偏振片与第三偏振分光棱镜出射面，后向反射镜在第四波片外侧，反射镜在第三波片外侧，组成相位测量的光路系统。干涉测量信号经解算得到测量光相位，用于变周期的干涉曝光的条纹控制。
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公开(公告)号：CN107560553B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201711013864.7
申请日：2017-10-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 多轴激光位移测量系统中干涉仪的安装偏差标定方法，所述方法是在激光干涉仪位移测量系统中，增加一个或多个冗余干涉仪。然后建立包含激光干涉仪安装偏差的位移解算方程，通过连续测量多个位置点的位移信息，得到冗余测量信息，组合形成的位移解算方程个数等于未知量个数，进而利用此方程组求解得到干涉仪的安装偏差。本发明采用冗余布置激光干涉仪方法，实现其安装偏差自标定。本发明无需借助其他更高精度的位移传感器，可解决工业应用中多轴干涉仪安装偏差难以标定的问题。
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公开(公告)号：CN110132550A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910405697.3
申请日：2019-05-16
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明属于光学计量技术领域，公开了一种平面光栅标定系统，该系统包括光学子系统、机架、第一隔振器、真空吸盘、工件台、第二隔振器和基底；所述光学子系统安装在机架上，机架采用第一隔振器隔振；真空吸盘可转动地安装在工件台上，工件台位于基底上，基底采用第二隔振器隔振。本发明采用光学子系统与工件台独立隔振方式，避免工件台移动时产生的振动传递到光学子系统，消除了因光学子系统振动所产生的误差，提高了平面光栅标定的精度。
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公开(公告)号：CN107482955B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201710750091.4
申请日：2017-08-28
Applicant: 清华大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种串联驱动的平面电机结构及其推力解算方法,涉及磁悬浮平面电机的结构设计。该平面电机包含线圈阵列和磁钢阵列,线圈阵列由若干个完全相同的线圈阵列单元组成，磁钢阵列由若干个完全相同的磁钢阵列单元组成；线圈阵列单元与磁钢阵列单元两者在x方向尺寸相等，在y方向尺寸相等；每个线圈阵列单元内的线圈分别由不同的单相驱动器驱动，不同线圈阵列单元中相对位置相同的线圈串联在同一个驱动器上；该结构既适用于动圈式平面电机结构，也适用于动铁式平面电机结构，对结构进行周期性扩展时只需将增加的线圈串联到相应驱动器上，不增加驱动器数量，具有推力大，可扩展性好；该推力解算方法可对平面电机进行六自由度控制，推力解算计算量小。
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公开(公告)号：CN109357614A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811572535.0
申请日：2018-12-21
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01B7/06
Abstract: 本发明提供了一种光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法，该测量系统包括十二个Z向电涡流传感器，其中的四组为非切换组，两组为切换组，每组设定主传感器和辅传感器；该算法对磁钢表面进行分区；将有效测量动子悬浮高度的四组Z向电涡流传感器等效到第一分区内；若主传感器的靶区与散热孔重合，则选取补偿后的辅传感器读数，否则选取主传感器的读数；将四组传感器组成的信号分别进行低通滤波处理，得到四组动子悬浮高度信号；最后根据动子的不同运动位置，将四组信号取加权平均得到最终的动子质心悬浮高度信号。本发明能够减小传感器切换过程中产生的测量值跳变，实现动子全运动范围内悬浮高度的精确测量。
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