-
公开(公告)号：CN115903376B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202110987312.6
申请日：2021-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域，具体而言，涉及一种光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法。光刻胶，包括有机溶剂、光致酸产生剂及氧化锆纳米颗粒成膜树脂，将丙醇锆与不饱和有机羧酸混合加热制备所述氧化锆纳米颗粒成膜树脂。光致酸产生剂能够引发氧化锆纳米颗粒成膜树脂团聚，且具有式I和/或式II所示结构，其中R1～R8独立地选自‑H、‑CH3、甲氧基、乙氧基或羟基乙氧基。所述光刻胶光刻成型速率快、加工图案的特征尺寸能够达到纳米级。本发明还提供了包括所述光刻胶的光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法。#imgabs0#。
-
公开(公告)号：CN117659420A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211050526.1
申请日：2022-08-29
Applicant: 清华大学 , 北京华睿新能动力科技发展有限公司
Abstract: 本发明涉及一种Zn基有机配位纳米颗粒、光刻胶组合物及其制备方法与应用，该纳米颗粒为金属有机一维重复排列链状结构，结构通式为[ZnX2(CH3COO)Y]n，其中，X选自苯甲酸根或间甲基苯甲酸根，Y选自有机胺类配体，n为聚合度，n大于等于1。以该Zn基有机配位纳米颗粒可以组成光刻胶组合物，并用于中紫外、电子束、极紫外光刻，获得高质量的曝光图案，因此，本发明的Zn基有机配位纳米颗粒具有显著的应用潜力和价值。
-
公开(公告)号：CN117659055A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211043291.3
申请日：2022-08-29
Applicant: 清华大学 , 北京华睿新能动力科技发展有限公司
Abstract: 本发明涉及一种Zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、包含其的光刻胶组合物及其应用。该Zn基有机配位纳米颗粒采用含锌化合物优选醋酸锌、苯甲酸以及含氮有机配体在有机溶剂中混合搅拌后进行后处理得到，另外获得化学通式为[ZnmXn(CH3COO)tYpHq]r的纳米颗粒，其中，X为苯甲酸根，CH3COO表示乙酸根，Y为含氮有机配体，r为聚合度，m、n、p、q、n、r各自独立的选自1～20的任意整数，t选自0～20的任意整数。本发明Zn基有机配位纳米颗粒作为光刻胶成分，可以实现高分辨、高灵敏度、低线条粗糙度等更优异的光刻性能。
-
公开(公告)号：CN115761362B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202211492734.7
申请日：2022-11-25
Applicant: 杭州新中大科技股份有限公司 , 清华大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/82 , G06N3/04 , G06N3/08
Abstract: 本发明实施例公开了一种基于特征融合的施工阶段智能识别模型、方法及装置。其中，施工阶段确定模型的训练方法包括：获取施工现场图像数据集；确定施工现场图像数据集中的各施工现场图像的标注结果以及与各施工现场图像对应的识别结果；识别结果包括：目标种类、位置或者数目；将各标注结果以及各识别结果输入至目标深度学习模型中进行训练，得到施工阶段确定模型。本发明实施例的方案，可以在快速地对施工阶段进行确定的同时，提升了施工阶段智能识别算法的准确率，节约了大量的人力成本以及经济成本。
-
公开(公告)号：CN117311088A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202210701897.5
申请日：2022-06-21
Applicant: 清华大学 , 北京华睿新能动力科技发展有限公司
Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域，具体而言，涉及一种紫外光刻胶、紫外光刻胶图案化的方法及用途。紫外光刻胶包括有机溶剂、光敏剂及氧化锆纳米团簇，所述氧化锆纳米团簇的化学通式为ZrxOy(OH)zLm，其中2≤x≤20，2≤y≤40，0≤z≤40，4≤m≤40，L为含有羧基的有机配体；光敏剂具有如下所示结构： 其中，R1为 *表示连接位点；R2及R3每次出现分别独立地选自‑F、‑Cl、‑Br或‑I。本发明的光敏剂的选择能够大幅降低曝光剂量、提高光刻速度，具有重要的应用价值。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113631026B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202110908192.6
申请日：2021-08-09
Applicant: 恩纳基智能科技无锡有限公司 , 清华大学无锡应用技术研究院
Abstract: 本发明涉及电子元件焊接技术领域，具体涉及一种可循环精简型贴片机，包括：舱体，以及贯穿舱体的传送通道，舱体内设有基板固定器，用于固定传送通道上的PCB板；第一平面坐标滑台，第一平面坐标滑台设置舱体内的传送通道的一侧，第一平面坐标滑台顶部设有旋转座；第一贴片执行器和第二贴片执行器，第一贴片执行器和第二贴片执行器设置在旋转座相对的两侧；第二平面坐标滑台，第二平面坐标滑台设置舱体内的第二平面坐标滑台远离传送通道的一侧，并且第二平面坐标滑台顶部设有送料器。本发明通过旋转座使两套贴片执行器交替工作，相比传统的贴片机省略了单独的元件拾取时间，因此提高了贴片效率。
-
公开(公告)号：CN113186511B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202011419640.8
申请日：2020-12-06
Applicant: 无锡英诺赛思科技有限公司 , 清华大学无锡应用技术研究院 , 江南大学
IPC: C23C16/34 , C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
Abstract: 本发明公开了一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备，具体涉及氮化镓生产技术领域，包括支腿和外壳体，所述外壳体底端的四个拐角处固定连接有支腿，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述外壳体一端四个拐角处的内部设置有卡槽，所述外壳体的一端设置有盖板，所述盖板一端的四个拐角处固定连接有圆块，所述盖板的另一端固定连接有把手，所述外壳体的内壁固定连接有电热丝。本发明通过设置有固定柱、套筒、凸块、轴套、放置板和放置槽，将镓源放进放置槽中，因放置槽设置有若干个，放置板为圆形，可放置多个镓源，利用放置槽中设置有加热片，可对镓源进行加热，在反应结束后，可利用凸块将套接在固定柱上的套筒取下，使其便于拿取更换新的镓源。
-
公开(公告)号：CN113186511A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202011419640.8
申请日：2020-12-06
Applicant: 无锡英诺赛思科技有限公司 , 清华大学无锡应用技术研究院
IPC: C23C16/34 , C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
Abstract: 本发明公开了一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备，具体涉及氮化镓生产技术领域，包括支腿和外壳体，所述外壳体底端的四个拐角处固定连接有支腿，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述外壳体一端四个拐角处的内部设置有卡槽，所述外壳体的一端设置有盖板，所述盖板一端的四个拐角处固定连接有圆块，所述盖板的另一端固定连接有把手，所述外壳体的内壁固定连接有电热丝。本发明通过设置有固定柱、套筒、凸块、轴套、放置板和放置槽，将镓源放进放置槽中，因放置槽设置有若干个，放置板为圆形，可放置多个镓源，利用放置槽中设置有加热片，可对镓源进行加热，在反应结束后，可利用凸块将套接在固定柱上的套筒取下，使其便于拿取更换新的镓源。
-
公开(公告)号：CN111205478B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202010142951.8
申请日：2020-03-04
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种三维共价有机框架化合物，由三蝶烯类六价基团与芘类四价基团通过连接基团连接形成，在所述三维共价有机框架化合物的至少一部分中，每个三蝶烯类六价基团分别与相邻的六个芘类四价基团连接，每个芘类四价基团分别与相邻的四个三蝶烯类六价基团连接，从而构成正六角棱柱状三维拓扑网络结构，所述连接基团中含有动态共价键。本发明提供一种三维共价有机框架化合物的制备方法和应用。
-
公开(公告)号：CN112462572A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011428100.6
申请日：2020-12-09
Applicant: 清华大学 , 北京华睿新能动力科技发展有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光刻胶，包括有机溶剂和钛锆氧化物纳米粒子，所述钛锆氧化物纳米粒子，所述钛锆氧化物纳米粒子的分子通式为TixZryOzLn,其中，x、y、z分别独立地选自1～6中的任意整数，n选自5～30中的任意整数，L为有机物配体，所述有机物配体具有可自由基引发聚合的基团。本发明还公开了一种光刻胶的图案化方法。本发明还公开了一种印刷电路板的方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
75
records
(took 0.021 seconds)
