公开(公告)号：CN101632974B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200910091298.0

申请日：2009-08-17

Applicant: 清华大学 ,  成都飞机工业(集团)有限责任公司

Inventor： 陈恳 ,  陈雁 ,  宋立滨 ,  杨向东 ,  张传清 ,  邵君奕 ,  陈明启 ,  李金泉 ,  付成龙 ,  吴丹 ,  杨东超 ,  刘莉 ,  路敦民 ,  付铁 ,  刘宗政 ,  曹文敦 ,  徐家球 ,  郑林斌 ,  王力强 ,  颜华

IPC: B05C11/10 ,  B05C21/00

Abstract: 本发明涉及一种无稳压器长尺寸喷涂管道压力稳定装置，该装置包括：涂料容器(12)，以及通过若干涂料软管(11)依次连接的隔膜泵(2)、调压器(6)、喷枪(8)、备压器(10)，隔膜泵(2)输入端以及备压器(10)输出端连接的涂料软管(11)浸入涂料容器(12)内的涂料液面以下，隔膜泵(2)用于驱动涂料经涂料软管(11)进入喷枪(8)，多余涂料经涂料管道流回涂料容器(12)；调压器(6)以及备压器(10)用于设定并维持涂料管道压力。本发明装置结构简单、成本较低、可用于大型喷涂机器人等涂料需长距离输送的场合。

公开(公告)号：CN101628290B

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200910091299.5

申请日：2009-08-17

Applicant: 清华大学 ,  成都飞机工业(集团)有限责任公司

Inventor： 陈雁 ,  杨向东 ,  宋立滨 ,  陈恳 ,  张传清 ,  邵君奕 ,  付成龙 ,  吴丹 ,  杨东超 ,  刘莉 ,  李金泉 ,  付铁 ,  路敦民 ,  陈明启 ,  曹文敦 ,  刘宗政 ,  徐家球 ,  郑林斌 ,  王力强 ,  颜华

IPC: B08B9/032 ,  B08B9/035

Abstract: 本发明涉及一种涂料管道免拆清洗方法，该方法包括步骤：排空涂料管道：将涂料管道入口端置于空气中，打开涂料泵吸取空气，将涂料管道中的剩余物质排出；清洗剂、空气混合清洗：关闭涂料泵，将涂料管道入口端部分浸入涂料容器清洗剂液面以下，出口端放入同一涂料容器中，启动涂料泵同时吸取清洗剂和空气，对涂料管道进行清洗；清洗剂清洗：关闭涂料泵，将涂料管道入口端完全浸入涂料容器清洗剂液面以下，出口端放入另一涂料容器中，启动涂料泵对涂料管道进行清洗；喷枪喷涂清洗：启动喷枪，进行喷枪喷涂清洗。本发明的方法操作简单，成本低，无需特定清洗设备，可广泛应用于大型喷涂系统的快速清洗和维护。

公开(公告)号：CN101964319A

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN201010245272.X

申请日：2010-08-04

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  陈恳 ,  万超 ,  周于 ,  刘志 ,  杨开明 ,  朱煜

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明涉及一种离子注入机晶圆传送系统及其晶圆传送方法。一种离子注入机晶圆传送系统，其包括真空靶室、左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手、左隔离阀门、右隔离阀门、左片库、右片库及离子注入靶台；左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手均固定在真空靶室内；左隔离阀门隔离左片库和真空耙室，右隔离阀门隔离右片库和真空耙室；离子注入靶台位于真空耙室内；左输片机械手的工作位包括左片库和离子注入靶台，中输片机械手的工作位包括左片库、右片库和离子注入靶台，右输片机械手的工作位包括右片库和离子注入靶台。该系统使用了三台机械手来配合传送晶圆，大大提高了晶圆传送的效率。

公开(公告)号：CN101637914A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200910091097.0

申请日：2009-08-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 陈恳 ,  李金泉 ,  杨东超 ,  杨向东 ,  付铁 ,  曹文敦 ,  陈明启 ,  路敦民 ,  张传清 ,  陈雁 ,  邵君奕 ,  刘宗政 ,  吴丹 ,  付成龙 ,  刘莉 ,  徐家球 ,  郑林斌 ,  王力强 ,  颜华

IPC: B25J19/00

Abstract: 本发明公开了一种高刚度多级伸缩机构。该机构包括至少两级伸缩单元，所述伸缩单元设有电机，电机通过连轴器连接丝杠，电机的转动输出通过丝杠和螺母组成的机构转变为直线运动，所述螺母的螺母座连接安装在本级伸缩单元安装立板一侧的导轨滑块和下一级伸缩单元的安装立板，以实现所述伸缩单元的级联。本发明每级伸缩单元均采用两根双滑块滚珠导轨增大承载力，导轨采用壁挂式布局方式，以增大悬臂梁的刚度。此外系统刚度还可通过使用紧固螺钉调节连接螺钉的预紧力得以进一步提高，故该机构能够实现大行程、高刚度的直线伸缩运动。

公开(公告)号：CN101618550A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200910089609.X

申请日：2009-07-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 张传清 ,  陈恳 ,  刘莉 ,  杨向东 ,  陈明启 ,  李金泉 ,  路敦民 ,  陈雁 ,  邵君奕 ,  付成龙 ,  吴丹 ,  杨东超 ,  曹文敦 ,  付铁 ,  刘宗政 ,  徐家球 ,  郑林斌 ,  王力强 ,  颜华

IPC: B25J19/00

Abstract: 本发明公开了一种多级直线伸缩单元运动布线拖链结构，线缆通过在第一级伸缩臂上部总线槽，在第一级伸缩臂前端顺着总线槽到达第一级伸缩臂的下端，然后分成两部分，其中的一部分经第一级线槽到达第一级电机罩与相关电机连接，另一部分经由第二级线槽进入第二级拖链的入口，在第二级拖链的出口处分成两部分，再分成两个分支，分支一到达第二级电机罩与相关电机连接，分支二通过第二级电机罩的后部进入第三级线槽，在第三级线槽的出口处回折180度进入第三级拖链的入口，再经过第三级拖链从出口处到达第三级电机罩与第三级电机相连接。本发明多级直线伸缩单元运动布线拖链结构构思巧妙，结构紧凑，使得布线呈循环状态，线缆运动灵活、安全可靠。